电阻元件及其制造方法
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1467757A

    公开(公告)日:2004-01-14

    申请号:CN03136282.6

    申请日:2003-05-20

    Abstract: 本发明涉及一种在基板上形成电阻器及电极的电阻元件,该电阻器由电阻率不同的多个电阻层组成,并进而提供一种电阻率大的电阻层形成在上层侧的电阻元件及其制造方法。此外,本发明还涉及在基板上形成有机膜,在有机膜上形成电阻器及电极的电阻元件,并进而提供一种抗氧化层介于在该有机膜和电阻器之间,同时电阻率大的电阻层形成在上层侧的电阻元件及其制造方法。这样,能够抑制在制造工序中产生的电阻值变动。

    玻璃衬底和使用了该玻璃衬底的静电电容式压力传感器

    公开(公告)号:CN1715850A

    公开(公告)日:2006-01-04

    申请号:CN200510081076.2

    申请日:2005-06-29

    Abstract: 本发明提供一种能够正确检测压力变化的静电电容式压力传感器用的玻璃衬底。玻璃衬底(11)具有相互对置的一对主面(11a、11b)。在玻璃衬底(11)中埋设由硅构成的岛状体(12a、12b)。岛状体(12a、12b)分别在玻璃衬底(11)的两个主面上露出。在玻璃衬底(11)的主面(11a)上,与岛状体(12a)的一方的露出部分电连接地形成了电极(13a),与岛状体(12b)的一方的露出部分电连接地形成了电极(13b)。在玻璃衬底(11)的主面(11b)上,与岛状体(12a)的另一方的露出部分电连接地形成着电极(14)。在玻璃衬底(11)的主面(11b)上接合具有压敏膜片(15a)的硅衬底(15)。

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