公开(公告)号：CN1715850A

公开(公告)日：2006-01-04

申请号：CN200510081076.2

申请日：2005-06-29

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 田村学 ,  畑内隆史 ,  副岛和博 ,  高桥幸一 ,  阿部宗光 ,  村田真司

IPC: G01L1/14 ,  G01L19/00

Abstract: 本发明提供一种能够正确检测压力变化的静电电容式压力传感器用的玻璃衬底。玻璃衬底(11)具有相互对置的一对主面(11a、11b)。在玻璃衬底(11)中埋设由硅构成的岛状体(12a、12b)。岛状体(12a、12b)分别在玻璃衬底(11)的两个主面上露出。在玻璃衬底(11)的主面(11a)上，与岛状体(12a)的一方的露出部分电连接地形成了电极(13a)，与岛状体(12b)的一方的露出部分电连接地形成了电极(13b)。在玻璃衬底(11)的主面(11b)上，与岛状体(12a)的另一方的露出部分电连接地形成着电极(14)。在玻璃衬底(11)的主面(11b)上接合具有压敏膜片(15a)的硅衬底(15)。

公开(公告)号：CN101189110B

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN200680019633.0

申请日：2006-05-30

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 阿部宗光 ,  高村章三 ,  清水悟 ,  筱原英司

IPC: B29C33/38 ,  B29C33/42 ,  B29L11/00

CPC classification number: B29C33/3878 ,  B29C33/424

Abstract: 利用光刻法对基体(11)进行图案形成，制作第一原版。接着，转写第一原版的图案(11a)，制作第二原版(12)。接着，对第二原版(12)实施机械加工，制作模具。然后，转写第二原版(12)的图案(12b)，制作第三原版(13)，将该第三原版(13)作为模具。由此，提供一种能够容易形成特殊形状，例如具有高纵横比部分的形状的模具的制造方法及利用该模具得到的成型品。

公开(公告)号：CN100510667C

公开(公告)日：2009-07-08

申请号：CN200510081076.2

申请日：2005-06-29

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 田村学 ,  畑内隆史 ,  副岛和博 ,  高桥幸一 ,  阿部宗光 ,  村田真司

IPC: G01L1/14 ,  G01L19/00

Abstract: 本发明提供一种能够正确检测压力变化的静电电容式压力传感器用的玻璃衬底。玻璃衬底(11)具有相互对置的一对主面(11a、11b)。在玻璃衬底(11)中埋设由硅构成的岛状体(12a、12b)。岛状体(12a、12b)分别在玻璃衬底(11)的两个主面上露出。在玻璃衬底(11)的主面(11a)上，与岛状体(12a)的一方的露出部分电连接地形成了电极(13a)，与岛状体(12b)的一方的露出部分电连接地形成了电极(13b)。在玻璃衬底(11)的主面(11b)上，与岛状体(12a)的另一方的露出部分电连接地形成着电极(14)。在玻璃衬底(11)的主面(11b)上接合具有压敏膜片(15a)的硅衬底(15)。

公开(公告)号：CN101189110A

公开(公告)日：2008-05-28

申请号：CN200680019633.0

申请日：2006-05-30

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 阿部宗光 ,  高村章三 ,  清水悟 ,  筱原英司

IPC: B29C33/38 ,  B29L11/00 ,  B29C33/42

CPC classification number: B29C33/3878 ,  B29C33/424

Abstract: 利用光刻法对基体(11)进行图案形成，制作第一原版。接着，转写第一原版的图案(11a)，制作第二原版(12)。接着，对第二原版(12)实施机械加工，制作模具。然后，转写第二原版(12)的图案(12b)，制作第三原版(13)，将该第三原版(13)作为模具。由此，提供一种能够容易形成特殊形状，例如具有高形状比部分的形状的模具的制造方法及利用该模具得到的成型品。