玻璃衬底和使用了该玻璃衬底的静电电容式压力传感器

    公开(公告)号:CN100510667C

    公开(公告)日:2009-07-08

    申请号:CN200510081076.2

    申请日:2005-06-29

    Abstract: 本发明提供一种能够正确检测压力变化的静电电容式压力传感器用的玻璃衬底。玻璃衬底(11)具有相互对置的一对主面(11a、11b)。在玻璃衬底(11)中埋设由硅构成的岛状体(12a、12b)。岛状体(12a、12b)分别在玻璃衬底(11)的两个主面上露出。在玻璃衬底(11)的主面(11a)上,与岛状体(12a)的一方的露出部分电连接地形成了电极(13a),与岛状体(12b)的一方的露出部分电连接地形成了电极(13b)。在玻璃衬底(11)的主面(11b)上,与岛状体(12a)的另一方的露出部分电连接地形成着电极(14)。在玻璃衬底(11)的主面(11b)上接合具有压敏膜片(15a)的硅衬底(15)。

    玻璃衬底和使用了该玻璃衬底的静电电容式压力传感器

    公开(公告)号:CN1715850A

    公开(公告)日:2006-01-04

    申请号:CN200510081076.2

    申请日:2005-06-29

    Abstract: 本发明提供一种能够正确检测压力变化的静电电容式压力传感器用的玻璃衬底。玻璃衬底(11)具有相互对置的一对主面(11a、11b)。在玻璃衬底(11)中埋设由硅构成的岛状体(12a、12b)。岛状体(12a、12b)分别在玻璃衬底(11)的两个主面上露出。在玻璃衬底(11)的主面(11a)上,与岛状体(12a)的一方的露出部分电连接地形成了电极(13a),与岛状体(12b)的一方的露出部分电连接地形成了电极(13b)。在玻璃衬底(11)的主面(11b)上,与岛状体(12a)的另一方的露出部分电连接地形成着电极(14)。在玻璃衬底(11)的主面(11b)上接合具有压敏膜片(15a)的硅衬底(15)。

    金属薄带的制造装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN1240686A

    公开(公告)日:2000-01-12

    申请号:CN99108005.X

    申请日:1999-06-04

    Abstract: 金属薄带制造装置及其制造方法,该装置具有:冷却滚子;熔融金属喷嘴;覆盖冷却滚子外圆周的至少一部分和至少是熔融金属喷嘴的喷出部分前端,防止由于冷却滚子旋转而卷入大气的大气遮断装置。在该大气遮断装置上设有滚子上方大气遮断板。熔融金属喷出部分的前端,贯通该滚子上方大气遮断板上的喷嘴安装孔,与冷却滚子的冷却表面相对配置。

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