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公开(公告)号：CN103529505B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201310529145.6
申请日：2013-10-30
Applicant: 清华大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明涉及一种基于毛细力辅助注模技术制作云纹光栅的方法，属于云纹光栅的制作技术领域，包括：对试件的表面进行抛光；超声洗清洗试件，去除试件表面油污；将具有云纹光栅结构的软模板的表面与试件抛光的表面接触，保证两表面接触充分；在软模板上的云纹光栅结构与试件抛光表面形成的空腔开口侧滴入胶水，该空腔内壁与胶水间的毛细力辅助胶水填充空腔，完成注模；根据胶水的性质，采用相应条件使胶水固化；将软模板与试件分离，此时胶水固结在试件表面；利用胶水作为掩膜刻蚀试件，除去胶水后在试件表面形成云纹光栅；或在试件表面镀膜，除去胶水后在试件表面形成云纹光栅。该方法加工效率高，面积大，工艺简单。适合制作不同测试环境的光栅。
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公开(公告)号：CN102944976B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201210435146.X
申请日：2012-11-02
Applicant: 清华大学
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提出一种紫外纳米压印系统，本发明涉及特征尺寸为纳米级高分辨率图形的制作装置，属纳米加工技术领域。本发明由压印系统箱体和真空泵组成，其中压印系统箱体包括自动压力控制器、自动真空度控制器、自动曝光时间控制器和真空工作室。该系统通过自适应定位装置和精确控制压印环境、压印载荷、曝光时间来实现高精度、高效率的紫外纳米压印制造，具有结构紧凑、自动化程度高、使用方便的优点。
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公开(公告)号：CN102914273B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201210413986.6
申请日：2012-10-25
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/16
Abstract: 本发明提出一种多功能云纹干涉及制栅系统，属于光测力学、变形检测技术领域，该系统包括激光器、分光耦合器、干涉光路系统、图像采集系统、加载及六维调节装置以及带有观察窗的高温炉。本发明通过更换不同角度的楔形反射镜和场镜，来实现常温、高温条件下对试件u、v两个位移场的高精度实时测量和高质量光栅的制作，本发明具有结构紧凑、光路简单、使用方便、多灵敏度、可制作单向光栅或正交光栅等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103149614A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201310070717.9
申请日：2013-03-06
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种高温光栅的制作及转移方法，属于光测力学技术领域。本发明的技术特点是通过全息光栅制作、电铸、压印、镀膜和转移的方法在试样表面制作高温光栅，只需制作全息光栅模板，即可在试样表面制作出高温光栅，无需对试件表面进行精细抛光处理，因此操作简单、容易实现；有效克服了现有技术中直接在试样表面制作高温光栅所带来的光路复杂、难调节、高温光栅制作成本高和刻蚀难以控制等不足和缺陷。
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公开(公告)号：CN102914273A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210413986.6
申请日：2012-10-25
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/16
Abstract: 本发明提出一种多功能云纹干涉及制栅系统，属于光测力学、变形检测技术领域，该系统包括激光器、分光耦合器、干涉光路系统、图像采集系统、加载及六维调节装置以及带有观察窗的高温炉。本发明通过更换不同角度的楔形反射镜和场镜，来实现常温、高温条件下对试件u、v两个位移场的高精度实时测量和高质量光栅的制作，本发明具有结构紧凑、光路简单、使用方便、多灵敏度、可制作单向光栅或正交光栅等优点。
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公开(公告)号：CN104613890A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201510067386.2
申请日：2015-02-09
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/16
Abstract: 本发明公开了一种光栅应变测量装置，所述光栅应变测量装置包括：自由度可调底座、Z向导轨、X向导轨、光阑、光屏、光源、半透半反镜、反射镜架、第一反射镜至第四反射镜和相机。光阑设在Z向导轨上，光屏沿Z向可移动地设在Z向导轨上，光源设在X向导轨上，反射镜架设在Z向导轨上。半透半反镜设在X向导轨上，反射到试件上的测量光线在试件的表面上发生反射和衍射，标定光线经光阑透射到光屏上。第一反射镜和第二反射镜可调节地设在反射镜架上。第三反射镜可调节地设在X向导轨上，通过第三反射镜反射到试件上的测量光线在试件的表面上发生反射，第四反射镜可调节地设在反射镜架上。所述光栅应变测量装置具有测量精度高等优点。
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公开(公告)号：CN103149614B
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201310070717.9
申请日：2013-03-06
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种高温光栅的制作及转移方法，属于光测力学技术领域。本发明的技术特点是通过全息光栅制作、电铸、压印、镀膜和转移的方法在试样表面制作高温光栅，只需制作全息光栅模板，即可在试样表面制作出高温光栅，无需对试件表面进行精细抛光处理，因此操作简单、容易实现；有效克服了现有技术中直接在试样表面制作高温光栅所带来的光路复杂、难调节、高温光栅制作成本高和刻蚀难以控制等不足和缺陷。
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公开(公告)号：CN103076645A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201310025945.4
申请日：2013-01-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种贴片式云纹光栅的制作方法，包括：步骤1：清洁基底的表面并将所述基底可分离地固定在载板上；步骤2：将紫外固化胶均匀涂覆在所述基底上；步骤3：将模板置于所述紫外固化胶上并利用紫外纳米压印机进行压印；步骤4：压印完成且所述紫外固化胶固化后，将所述模板从所述紫外固化胶上脱除且所述基体与固化后的所述紫外固化胶可分离；步骤5：在固化后的所述紫外固化胶上镀功能膜；步骤6：在所述功能膜上可分离地覆盖保护膜。根据本发明实施例的贴片式云纹光栅的制作方法，可制作不同频率、不同截面形状、适用不同服役环境的高精度正交或单向光栅。
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