三维测量装置
    13.
    发明公开
    三维测量装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN113295110A

    公开(公告)日:2021-08-24

    申请号:CN202110187715.2

    申请日:2021-02-18

    Abstract: 三维测量装置(101)具备:一个或多个光源部(102),其对被测量物(SA)照射具有规定图案的测量光(105);一个或多个摄像部(103),其对被照射了测量光(105)的被测量物(SA)进行摄像;测量部(104),其基于摄像部(103)的摄像结果测量被测量物(SA)的三维形状,光源部(102)由M点振荡的S-iPMSEL(1)构成。

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