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公开(公告)号：CN112260659B
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202011152721.6
申请日：2020-10-26
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明涉及体声波谐振器技术，具体涉及一种高Q值薄膜体声波谐振器及其制备方法，该薄膜体声波谐振器包括衬底，还包括位于衬底上部的多个支撑柱，位于多个支撑柱上部的压电叠层区域，该压电叠层区域通过多个支撑柱支撑于空气中，压电叠层区域包括上电极、压电层和底电极。该谐振器通过支撑柱使谐振器的工作区域处于开放的空气域中，减少了谐振区域与衬底的接触面积，使谐振器的边界变形更加自由，通过支撑柱可以使顶电极和底电极边界处于开放的空气域中更好地反射声波，有效减少声波的泄露，提高谐振器的Q值。
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公开(公告)号：CN110412994B
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN201910670560.0
申请日：2019-07-24
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种微型水下机器人运载水听器自主编队系统及控制方法，该系统包括：一个或多个基站，用于作为位置基准，并在基站上设置超声波发射器；多个作为阵列队长的微型水下机器人运载水听器，简称队长，并在队长上设置超声波发射器和超声波接收器；多个作为阵列队员的微型水下机器人运载水听器，简称队员，并在队员上设置超声波接收器；利用微型水下机器人运载水听器，通过设置特定频率间隔，发射或接收不同的超声波频率信号以实现自主编队，形成阵列。本发明能实现微型水下机器人运载水听器自主编队，有助于提高规模化管理效率和实现功能多样化，解决传统固定式水听器阵列自由度低的缺点。
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公开(公告)号：CN112994647A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202110160241.2
申请日：2021-02-05
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明属于谐振器技术领域，公开了一种环电极结构的超高频谐振器。该谐振器结构包括压电层和环电极，每个环电极以环状围绕在压电层四周，多个环电极沿着压电材料长度方向分布，且施加正负交替的电压激励。该结构能够在压电层中激发横向电场，从而激发横向剪切模式体声波，实现超高谐振频率下的高有效机电耦合系数，满足射频通信领域高频率大带宽的要求。
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公开(公告)号：CN112968685A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202110160231.9
申请日：2021-02-05
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种带有沟槽结构的体声波谐振器，具体指一种带有阵列式沟槽结构，高谐振频率的体声波谐振器结构。该谐振器结构包括底电极、压电层、压电层中的沟槽结构和顶电极。该结构能够减小谐振器中压电层的等效厚度，有效地提高谐振器的谐振频率，能满足5G/6G通讯的实际需求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112886940A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202110040803.X
申请日：2021-01-13
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明提出了一种易于集成的FBAR滤波器，包括：多个布拉格反射层结构的支撑脚、第一谐振器、第二谐振器；所述的第一谐振器、第二谐振器之间共用多个布拉格反射层结构的支撑脚；第一谐振器由质量负载、第一上电极、第一压电层、第一下电极依次沉积构成；第二谐振器由第二上电极、第二压电层、第二下电极依次沉积构成。FBAR谐振器通过支撑脚联接形成滤波器，谐振器可通过在上电极上部施加质量负载调频，以形成滤波器通带。FBAR谐振器通过横向分布的布拉格反射层相间结构的支撑脚联接，能够提高FBAR谐振器的机械品质因数，也可使谐振器排布方式多样化，可以为横向排布方式或纵向叠加方式，提高滤波器的集成度，减小加工成本。
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公开(公告)号：CN112816109A
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202011633610.7
申请日：2020-12-31
Applicant: 武汉大学
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明公开了一种射频压力传感器，包括带有空腔的衬底，沉积在衬底上表面的布拉格反射栅层结构以及形成在反射栅层结构上的压电堆叠结构。布拉格反射栅层结构从下至上依次为低声阻抗层和高声阻抗层的交替叠加；压电堆叠结构从下至上依次为底电极、压电层及顶电极。当压力作用于传感器时，由于空腔的存在，压电堆叠结构、反射栅层结构及空腔上衬底薄层在压力的作用下发生相应形变，引起谐振频率的偏移，最终测量出压力的变化。通过设置的反射栅层结构和空腔上的衬底层，可以增加传感器的稳定性；传感器可承受更大的压力，即可测量压力范围更大，应用范围更广。同时，SiO2薄膜层可以减少谐振器的温漂问题，进一步增大传感器的稳定性与准确性。
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公开(公告)号：CN112653413A
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN202011486926.8
申请日：2020-12-16
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明涉及超高频体声波谐振器有效机电耦合系数调节技术，具体涉及调节超高频体声波谐振器有效机电耦合系数的系统及方法。该系统包括正、负电极、压电层、空腔及衬底，正电极、负电极依次交替排列，且均置于压电层之上，压电层置于衬底之上；正、负电极之间设置至少一根悬浮电极。在正负电极中添加极性相反的电压，正负电极间会激发横向电场，在横向电场的作用下悬浮电极的表面会产生感应电荷，悬浮电极与正负电极间形成新的电场，削弱了原横向电场的强度，从而减小压电层中的压电效应，最终改变谐振器的有效机电耦合系数。通过调节悬浮电极的厚度、宽度、数量或者材料属性可以实现对谐振器的机电耦合系数的调节，使其应用于窄带滤波器成为可能。
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公开(公告)号：CN112564666A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN202011409732.8
申请日：2020-12-03
Applicant: 武汉大学
IPC: H03H9/02
Abstract: 本发明涉及谐振器技术领域，具体涉及一种中空型超高频谐振器，包括衬底、压电层和电极，压电层置于衬底之上；压电层的上表面部分或全部刻蚀形成环形压电层，第一、第二电极沉积在压电层上。该超高频谐振器的压电层上部或全部被刻蚀去一部分，成为环形压电层，使得在压电层中的应力得到释放，也使得电极的相对金属率得到提高，使压电层的压电性能得到更好的表现，使得压电层产生更强的耦合效应，从而使得谐振器的机电耦合系数增加，并能去除阻抗曲线中部分杂波。
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公开(公告)号：CN112350681A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN202011134557.6
申请日：2020-10-21
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明涉及谐振器技术，具体涉及一种频率可调的薄膜体声波谐振器，自下而上包括衬底、声反射结构、种子层、下电极层、压电薄膜层、上电极层，其中上电极层为条形环绕结构。上电极层的条形环绕结构其宽度、长度、环绕间距、环绕次数均可调整。该薄膜体声波谐振器通过将上电极层设置成条形环绕结构，改变条形环绕结构的长度、宽度、环绕间距、环绕次数，从而改变谐振器的工作频率，并且能够在不改变各层材料厚度的条件下调节薄膜体声波谐振器的谐振频率，实现在一片晶圆上制造不同工作频率的谐振器。
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