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公开(公告)号：CN115046934B
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202210712285.6
申请日：2022-06-22
Applicant: 武汉大学
Abstract: 公开了一种用于先进纳米半导体技术节点的多过程、实时测量系统，通过光路转换模块，改变光路方向，使同一光源发输出的光线通过光路转换模块后进入散射测量光路或者椭偏测量光路。既能够实时在线测量不同工序下的待测样品，同时可以灵活切换不同的测量模式。充分利用散射测量或者椭偏测量技术的特性，从而实现单波长、多角度和多波长、单角度测量结果之间的切换，使得测量结果多样化。将多种检测方法有机的结合起来，为先进纳米半导体技术节点的检测方案提供一站式解决方案。
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公开(公告)号：CN107529625A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201710936470.2
申请日：2017-10-10
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种用于实时观测微纳瞬变现象的连续/突发双模超快成像方法，具体为提供一种光路转换模块，改变激光方向，将同一超快脉冲激光器输出的飞秒激光通过光路转换模块后进入连续成像或者突发成像进行成像处理。在观测同一微纳瞬变现象时，既能够连续地捕捉到微纳环境下快速动态特性，又能够在实验的重要时刻获得数帧时间分辨能力达到飞秒量级的成像。
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公开(公告)号：CN118668293B
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202410712478.0
申请日：2024-06-04
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种集成原位测量的分子束外延薄膜生长系统，属于半导体薄膜测量技术领域，所述生长系统包括，真空反应腔室，设置有安装口且底端部分或全部由透光材料构成，用于提供反应环境，安装口用于安装炉源；样品台，设置于真空反应腔室内；第一驱动组件，设置于真空反应腔室外且通过连杆与样品台连接，用于驱动样品台和调节样品台的位置；宽光谱监测装置，设置于真空反应腔室的底部，包括第二驱动组件和监测组件；第二驱动组件带动的监测组件与第一驱动组件驱动的样品台上的样品保持同步运动，获取薄膜生长的信息。本发明可实现半导体薄膜厚度非接触式、原位在线监测，在不影响薄膜生长的情况下得到精确的薄膜厚度数据。
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公开(公告)号：CN117968539A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410073966.1
申请日：2024-01-18
Applicant: 武汉大学
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明属于彩色共聚焦传感器测量技术领域，公开了一种薄膜厚度共聚焦测量方法及系统。本发明利用激光发生单元中的光源发出多波长的光束作为入射光，入射光经第一光纤传输至光纤耦合器，并经第三光纤出射，出射后的入射光经扫描单元后扫描聚焦到待测样品上，利用扫描单元对待测样品进行横向扫描，利用载物台实现待测样品的纵向扫描；入射光经待测样品折射后聚焦到反射镜上，经反射镜后形成的反射光依次经过待测样品、扫描单元后，通过第三光纤到达光纤耦合器，然后经第二光纤传输至光谱仪，利用光谱仪得到待测样品对应的测量信息。本发明提供的新的扫描方式和新的薄膜测量光路能够有效改善薄膜厚度测量的范围、精度和效率。
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公开(公告)号：CN117968526A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410075359.9
申请日：2024-01-18
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明属于纳米半导体关键尺寸测量技术领域，公开了一种半导体测量模块、半导体测量系统及方法。半导体测量模块包括红外测温仪、彩色共聚焦传感器和移动组件；移动组件用于承载测试样品并带动测试样品移动，测试样品为纳米半导体；红外测温仪用于在测试样品移动至其下方时对测试样品的表面温度进行测量得到温度信息；彩色共聚焦传感器用于在测试样品移动至其下方时对测试样品的表面形貌进行测量得到形貌信息。本发明还利用数据处理单元根据温度信息和形貌信息修正热膨胀造成的样品表面形貌误差，得到修正后的测量信息。本发明既能实时在线测量半导体表面的温度，又能修正热膨胀误差测量准确测量半导体表面形貌，使得测量结果多样化、精准化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107600373A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201710792752.X
申请日：2017-09-05
Applicant: 武汉大学
CPC classification number: Y02T10/7005 , Y02T10/7088
Abstract: 本发明公开了一种微型仿生水下机器人自主导航返程充电方法及系统，具体为超声波发射模块向四周发射超声波，机器人身上两个超声波接收器接收。当两个超声波接收器同时接收到超声信号时，表示鱼体是朝着超声源游动；当两个超声波接收器接收到超声信号有一个时间差，微处理器控制机器人转向，直到能同时接收到超声信号为止；当机器人和充电基站的相对位置达到无线充电要求时，基站中的电磁铁通电，感应磁铁通电将鱼体固定进行补偿，并且防止水流影响充电效果。整个方法及充电装置简单实用，定位方便准确，解决的微型仿生水下机器人水下定位充电难的问题。
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公开(公告)号：CN118758875B
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202410712484.6
申请日：2024-06-04
Applicant: 武汉大学
IPC: G01N21/25 , G06N3/0442 , G06N3/084 , G06N3/0985 , H01L21/66 , C30B23/00 , G01N21/21 , G01D21/02
Abstract: 本发明公开了一种分子束外延半导体薄膜生长均匀性原位监测方法及系统，方法包括，获取不同分子束外延生长状态下制备的半导体薄膜的光谱信息和反映半导体薄膜生长均匀性的表征数据，并构建数据库；根据数据库训练得到半导体薄膜生长均匀性识别模型；获取样品表面外延生长的半导体薄膜的实时光谱信息，结合半导体薄膜生长均匀性识别模型，得到分子束外延半导体薄膜生长情况。本发明结合原位监测的薄膜光谱信息结合人工智能算法能够实现半导体薄膜掺杂浓度非接触式、原位在线监测。本发明能够实时采集薄膜的光学特性数据，快速处理大量复杂的光学数据，自动提取特征并进行模式识别高效处理和分析能力，实现对薄膜均匀性的高效实时监测。
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公开(公告)号：CN117804340A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311864144.7
申请日：2023-12-28
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种提高复杂晶体管结构测量精度和测量效率的方法和装置，所述方法包括，计算模拟出晶体管的宽波段穆勒矩阵光谱和近场电场的关系；根据晶体管的属性以及宽波段穆勒矩阵光谱和近场电场的关系，确定灵敏度高的窄波段；获取晶体管在灵敏度高的窄波段穆勒矩阵光谱数据，对所述数据进行训练得到测量模型；根据所述测量模型对待测晶体管的结构进行预测。本发明通过计算得到灵敏度高的窄波段，并替换宽光谱，便于实现，同时灵敏度高的窄波段的光谱在结合深度学习测量过程中可以比利用宽光谱节省测量时间，从而提高生产效率。此外，本发明能够减少宽光谱测量系统中的光学元件引起的色散误差，从而提高高密度集成的可靠性以及测量精度。
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公开(公告)号：CN117516370A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311304244.4
申请日：2023-10-08
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种共聚焦测量装置、应用其的流水线及产品尺寸测量方法，既能实时测量流水线上各个产品的尺寸检测产品生产良率，同时也能防止因产品在流水线上位置未摆正而影响测量结果。所述装置(101)包括：共聚焦传感器(104)，其被配置为对产品尺寸进行测量；图像识别传感器(103)，其被配置为测量产品在水平位置的倾斜方向和角度；以及红外测距传感器(102)，其被配置为测量产品在竖直方向的倾斜角度，利用产品在水平位置的倾斜方向和角度以及竖直方向的倾斜角度对共聚焦传感器测量的产品尺寸进行补正得到产品的真实尺寸。
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公开(公告)号：CN107632402B
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201710936452.4
申请日：2017-10-10
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种用于实时观测微纳瞬变现象的连续/突发/相差三模超快显微成像方法，具体为提供一种光路转换模块，改变激光方向，将同一超快脉冲激光器输出的飞秒激光通过光路转换模块后进入连续成像或者突发成像进行成像处理。在观测同一微纳瞬变现象时，既能够连续地捕捉到微纳环境下快速动态特性，又能够在实验的重要时刻获得数帧时间分辨能力达到飞秒量级的成像。增加相位检测模块，在同一个瞬变现象中，既能够观测到样品的透明部分，又能够观测到样品的不透明部分。
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