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公开(公告)号：CN119767227A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411779139.0
申请日：2024-12-05
IPC: H04R17/02
Abstract: 本发明提出了一种组合梁麦克风，属于压电式麦克风领域，包括衬底上表面开设有圆形的凹槽且内部开设有空腔，空腔位于凹槽正下方；中心振膜设置在凹槽内并位于凹槽的圆心位置；过渡梁环绕中心振膜间隔设置并连接在中心振膜上，相邻过渡梁之间留有第一空隙；固支梁环绕中心振膜间隔设置，固支梁沿凹槽径向的两端分别连接在凹槽内壁及过渡梁上；悬臂梁设置在相邻固支梁之间并连接在过渡梁上，悬臂梁与凹槽内壁及固支梁之间留有第二空隙。本发明通过改变麦克风内梁的结构形式，增加固支梁数目和梁之间的组合形式，增大高应力集中区域面积，结合中心振膜、过渡梁、固支梁和悬臂梁的合理布局，使应力分布更均匀，提高振膜面积的有效利用率。
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公开(公告)号：CN119745692A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411859858.3
申请日：2024-12-17
Abstract: 本发明提出了一种基于微机械超声换能器的超声针灸装置及其使用方法，属于超声针灸领域，贴片通过贴附区粘附在人体表面并使阵列区覆盖住穴位，阵列区内布设有若干压电单元，压电单元将电能转换为声能；若干压电单元分为至少两组，控制部向若干压电单元输电并调整施加在各压电单元上的激励电压的大小与时延，并基于相控聚焦理论模拟针灸时针刺深度及入针角度以及入针强度的变化。本发明的针灸装置通过识别机构拍摄使用者的照片并进行数据分析从而定位使用者的穴位位置与深度，同时采用相控方法控制压电单元阵列发射的超声波实现聚焦焦点的变化，从而实现精准刺激与定位，通过利用压电单元探测被刺激部位的肌肉变化和血液流速变化，从而对识别机构定位的穴位位置进行校准。
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公开(公告)号：CN114859575B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202210313290.X
申请日：2022-03-28
Applicant: 武汉大学
IPC: G02F1/01
Abstract: 本发明属于光通信技术领域，公开了一种基于逆压电效应的可调制微环光通信滤波器，包括波导、微环谐振器和电极夹层单元，电极夹层单元包括一个或多个电极夹层；波导布置于微环谐振器的侧边区域内，微环谐振器与波导之间发生侧向倏逝波耦合，使微环谐振器内产生光场谐振；电极夹层与微环谐振器紧密贴合，电极夹层基于逆压电效应改变微环谐振器的形状尺寸或微环谐振器的有效折射率，以调控微环谐振器内光场的谐振状态。本发明能够在增大调制范围和调节精度的同时降低损耗与串扰，满足低功率需求。
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公开(公告)号：CN118509752A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410024141.0
申请日：2024-01-05
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种具有扰流板的压电麦克风及其制作方法，所述压电麦克风包括，外壳、与所述外壳围合形成容置腔的基板以及设置于所述容置腔内的MEMS芯片；所述外壳上开设有与所述容置腔相通的声孔；所述MEMS芯片包括固定柱和振膜，所述振膜是由所述固定柱支撑在所述基板上的压电悬臂梁，所述压电悬臂梁设置多个，相邻压电悬臂梁之间存在间隙；所述声孔内还设置有与所述间隙匹配的扰流板部件，工作时声波通过所述扰流板部件分散至所述间隙两边的压电悬臂梁上。本发明在封装外壳的通风孔上增加了一个扰流板结构，可以将损失的声波利用起来，将声波分散至间隙两边的悬臂振膜上，使振膜位移增大，也使麦克风接受到的声压级增大，从而提高麦克风的灵敏度。
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公开(公告)号：CN118237978A
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202410401577.7
申请日：2024-04-03
Applicant: 武汉大学
IPC: B23Q17/09
Abstract: 本申请提供了刀具应力温度检测装置及其制备方法，装置包括声表面波器件以及多层关键膜层，声表面波器件包括基底、压电薄膜以及叉指电极；多层关键膜层包括绝缘层以及隔热层，所述绝缘层包括上层绝缘层和下层绝缘层，所述下层绝缘层、所述压电薄膜、所述叉指电极、所述上层绝缘层以及所述隔热层自所述基底上方依次逐层沉积设置。本申请通过多个关键膜层对声表面波器件提供有效的保护并对外界环境起到一定的隔绝作用，具有倾斜c轴取向的压电薄膜在电信号的激励下可以产生两种模式，从而实现对刀具温度和应力的在线监测，结构简单，适配于各种数控机床上的刀具的在线检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117978121A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410069576.7
申请日：2024-01-17
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种高Q值兰姆波谐振器及其制作方法，所述谐振器包括自下而上依次布置的带有凹槽的衬底、功能性材料层、压电材料层以及电极结构，其特征在于，所述功能性材料层围绕衬底的凹槽设置；所述压电材料层具有凸起，所述压电材料层与所述衬底的凹槽形成空腔，空腔上部的压电材料层带有通孔将所述空腔与外界环境相通。本发明的谐振器的压电材料层具有凸起，可以增大谐振器边界处的声阻抗差异，有助于增加声波的反射效率，减小能量损失，从而提高谐振器整体的Q值；将压电材料直接沉积在衬底上存在较大的空间传输损耗，功能性材料层存在大量缺陷，可以有效捕获自由载流子，进而提升谐振器的Q值。
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公开(公告)号：CN115296637A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210865391.8
申请日：2022-07-21
Applicant: 武汉大学
IPC: H03H9/02
Abstract: 本申请公开了基于声子晶体衬底的横向激励体声波谐振器。该横向激励体声波谐振器包括压电层、声子晶体衬底和叉指电极；其中所述压电层沉积在声子晶体衬底上，所述压电层上表面沉积叉指电极；所述声子晶体衬底包括衬底基体和声子散射体，所述声子散射体在衬底基体中周期性排列。所引入的声子晶体衬底可以完全阻绝在衬底方向上的振动能量泄露，从而使得本发明所述横向激励体声波谐振器在达到与传统横向激励体声波谐振器相同导纳性能与品质因数的情况下获得更好的机械可靠性与散热性能。
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公开(公告)号：CN115268123A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210890019.2
申请日：2022-07-27
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明涉及一种电调光波导相位调制器及相位调制方法，上述相位调制器包括：基底、缓冲介质层、光学波导组件和压电组件，缓冲介质层沉积于基底上，光学波导组件沉积于缓冲介质层上，压电组件沉积于光学波导组件上，压电组件由外向内依次包括外电极、压电材料层和内电极，缓冲介质层由绝缘介质或导电介质制成。本发明中将压电组件与光学波导组件相结合，并可采用直流电压偏置的方式给压电层施加电压，从而通过逆压电效应产生应力并作用于光波导组件上，使其折射率发生改变，从而达到调制传播光相位的目的；本发明中可同时利用电光效应与应力光学效应进一步提升调制带宽与调制效率。
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公开(公告)号：CN114222231A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202111505684.7
申请日：2021-12-10
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种基于固支梁结构的双晶压电式MEMS麦克风，包括具有空腔的基底；正对空腔设置的压电振膜，压电振膜采用多根固支梁结合的结构，即梁的两端均固定在衬底上，梁的中心均处于同一位置；正对压电振膜设置的接收膜，接收膜与压电振膜之间采用介质层连接；固支梁型压电振膜将电极划分为四个区域，采用有序的电连接方式，将各固支梁串联起来；电极分为顶部电极、中部电极和底部电极，顶部电极和底部电极均只有一层，中部电极由两层电极组成。本发明采用了接收膜的结构以解决固支梁结构之间的大间隙所带来的低频响应问题，并且采用特殊的中部电极设计，极大地提高了双晶压电式MEMS麦克风的输出灵敏度。
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