公开(公告)号：CN116848856A

公开(公告)日：2023-10-03

申请号：CN202280015769.3

申请日：2022-03-08

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 酒井峰一 ,  马渡和明

IPC: H04R17/02

Abstract: 压电元件具备：支承体(10)；以及振动部(20)，被配置在支承体(10)上，具有被支承体(10)支承的支承区域(21a)和多个振动区域(22)，该多个振动区域(22)其一端部(221)侧被支承区域(21a)支承并且其与一端部(221)相反侧的另一端部(222)侧从支承体(10)悬浮。并且，多个振动区域(22)具有：被作为压力检测部(220a)的振动区域(22)，一端部(221)侧的质量被设为比另一端部(222)侧的质量重，输出基于压电膜的电荷得到的第1检测信号；以及被作为加速度检测部(220b)的振动区域(22)，另一端部(222)侧的质量被设为比一端部(221)侧的质量重，输出基于压电膜(30)的电荷得到的第2检测信号。

公开(公告)号：CN116507896A

公开(公告)日：2023-07-28

申请号：CN202180069780.3

申请日：2021-10-29

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 城森知也 ,  阿部竜一郎 ,  小林太辅 ,  樋口贵史 ,  早川裕 ,  酒井峰一 ,  马渡和明 ,  小山友二 ,  田中昌明

IPC: G01L9/00

Abstract: 多个振动区域(22)为，振动区域(22)彼此之间通过狭缝(41)分离，狭缝(41)以构成使宽度从振动区域(22)中的与支承体(10)侧相反的一侧的一面(22a)侧向与该一面(22a)相反的一侧的另一面(22b)侧而变窄的锥部(42)的状态形成。电极膜(60)在对一面(22a)而言的法线方向上配置于比狭缝(41)靠内侧的位置，振动区域(22)中的构成锥部(42)的侧面(22c)和与一面(22a)平行的面(22b、Sv)所成的角度(θ1)为39°～81°。

公开(公告)号：CN106662444B

公开(公告)日：2019-10-11

申请号：CN201580031569.7

申请日：2015-06-11

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 酒井峰一 ,  城森知也

IPC: G01C19/5656 ,  H01L41/113

Abstract: 一种角速度传感器，经由具有第1梁构成部件和第2梁构成部件的多个梁部将振动体支承于外周部，在将基板的面方向中的一方向设为第1方向、将基板的面方向之中的与第1方向正交的方向设为第2方向时，第1梁构成部件至少能够在第1方向上位移，第2梁构成部件与第1梁构成部件连结，至少能够在第2方向上位移，多个梁部中的至少一部分中，将第1梁构成部件和所述第2梁构成部件之中的外周部侧的梁构成部件相互一体化。

公开(公告)号：CN106233090A

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN201580020476.4

申请日：2015-04-17

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 酒井峰一 ,  吉田直记 ,  杉本圭正

IPC: G01C19/5628 ,  G01C19/5614 ,  H01L41/04 ,  H01L41/047 ,  H01L41/113

CPC classification number: G01C19/5614 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5628 ,  G01C19/5642 ,  H01L41/042 ,  H01L41/047 ,  H01L41/1132 ,  H03H9/21

Abstract: 一种角速度传感器，具有：具有第1面(20a)以及与第1面相反侧的第2面(20b)的第1衬底向上振动的驱动片(24、25、114)的振动体(22)、配置于第1衬底的第1面侧的第2衬底(50)、形成于第2衬底侧的部分的第1驱动片控制电极(34a、35a)、形成于第2衬底中的与驱动片的可变位区域相对置的部分且在与第1驱动片控制电极之间构成电容(CV1、CV2)的第1驱动片辅助电极(52、53)、以及对第1驱动片辅助电极施加电压的第1驱动片控制电路(100a、100b)，第1驱动片控制电路基于在第1驱动片控制电极与第1驱动片辅助电极之间构成的电容，调整对第1驱动片辅助电极施加的电压，以使第1驱动片控制电极与第1驱动片辅助电极之间的距离固定。(20)、形成于第1衬底且具有在第1衬底的平面方

公开(公告)号：CN100419430C

公开(公告)日：2008-09-17

申请号：CN200510129561.2

申请日：2005-12-06

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 服部孝司 ,  米山孝夫 ,  阿部竜一郎 ,  酒井峰一 ,  山内重德

IPC: G01P1/02

Abstract: 本发明公开了一种传感器装置，包括：在一个表面上具有可移动部分(20)的传感器芯片(100)、与传感器芯片的可移动部分相对而层叠在传感器芯片上的电路芯片(200)、位于传感器芯片和电路芯片之间的凸块(80)。在该传感器芯片中，传感器芯片和电路芯片通过凸块电连接，且传感器芯片的可移动部分通过凸块与电路芯片隔开一定间隙。因此，可以有效防止两个芯片之间的电连接部的寄生电容由于冲击而变化。例如，传感器芯片可用作角速度传感器装置，其具有作为可移动部分的振动器。

公开(公告)号：CN116784020A

公开(公告)日：2023-09-19

申请号：CN202280012733.X

申请日：2022-02-01

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 酒井峰一 ,  马渡和明 ,  小山友二 ,  田中昌明 ,  城森知也 ,  清水悠平

IPC: H10N30/30

Abstract: 压电元件包括：支承体(10)；以及振动部(20)，其配置在支承体(10)上，设为包括压电膜(50)和与压电膜(50)连接来取出因压电膜(50)发生变形而产生的电荷的电极膜(60)的结构，振动部(20)具有由支承体(10)支承的支承区域(21a)和与支承区域(21a)相连且从支承体(10)悬浮的振动区域(22)，基于电荷来输出压力检测信号。并且，在振动区域(22)从支承区域(21a)侧朝向振动区域(22)的中心部(C)形成有多个狭缝，并且振动区域(22)成为相对于支承区域(21a)而被两端支承的状态。

公开(公告)号：CN106415204B

公开(公告)日：2019-07-16

申请号：CN201580031212.9

申请日：2015-06-02

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 城森知也 ,  酒井峰一

IPC: G01C19/574 ,  B81B3/00 ,  H01L41/113

Abstract: 振动型角速度传感器，在将固定部(20)与可动部(30)以及梁部(40)进行连结的部分具备防振弹簧构造(25)。通过这样的构造，例如在由外部冲击等引起的共振频率比驱动振动、检测振动的共振频率(驱动频率、检测频率)小的无用振动模式时，与梁部相比主要防振弹簧构造进行变形，能够抑制梁部的变形。而且，当在为框体构造的可动部以及梁部的中心支撑部配置防振弹簧构造时，与将检测梁直接固定于固定部的情况相比，通过防振弹簧构造位移使检测梁与防振弹簧构造的连结场所的位移变大。因此，能够在角速度施加时通过振动检测部基于检测梁的更大的变形进行角速度检测，能够进一步提高检测精度。

公开(公告)号：CN106233090B

公开(公告)日：2019-05-17

申请号：CN201580020476.4

申请日：2015-04-17

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 酒井峰一 ,  吉田直记 ,  杉本圭正

IPC: G01C19/5628 ,  G01C19/5614 ,  H01L41/04 ,  H01L41/047 ,  H01L41/113

Abstract: 一种角速度传感器，具有：具有第1面(20a)以及与第1面相反侧的第2面(20b)的第1衬底(20)、形成于第1衬底且具有在第1衬底的平面方向上振动的驱动片(24、25、114)的振动体(22)、配置于第1衬底的第1面侧的第2衬底(50)、形成于第2衬底侧的部分的第1驱动片控制电极(34a、35a)、形成于第2衬底中的与驱动片的可变位区域相对置的部分且在与第1驱动片控制电极之间构成电容(CV1、CV2)的第1驱动片辅助电极(52、53)、以及对第1驱动片辅助电极施加电压的第1驱动片控制电路(100a、100b)，第1驱动片控制电路基于在第1驱动片控制电极与第1驱动片辅助电极之间构成的电容，调整对第1驱动片辅助电极施加的电压，以使第1驱动片控制电极与第1驱动片辅助电极之间的距离固定。

公开(公告)号：CN100403552C

公开(公告)日：2008-07-16

申请号：CN03153017.6

申请日：2003-08-07

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 酒井峰一

IPC: H01L29/84 ,  G01P15/125

CPC classification number: B81B3/0072 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/0136 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0814

Abstract: 一种容性动量传感器，包括衬底(1)、平衡块(11)、可移动电极(10a、10b)、固定器(17a、17b)、弹簧(12)、以及应变缓冲器(13)。平衡块(11)通过动量而位移。可移动电极(10a、10b)与平衡块(11)结合在一起。固定器(14)固定到衬底(1)上以将平衡块(11)和可移动电极(10a、10b)悬挂在衬底(1)的上方。固定电极(17a、17b)面对可移动电极(10a、10b)设置。由响应动量产生的可移动电极(10a、10b)的位移作为电极(10a、10b、17a、17b)之间的电容变化而被检测。弹簧(12)设置在固定器(14)和平衡块(11)之间并响应动量而弹性变形，以便可移动电极(10a、10b)移动对应该动量的距离。应变缓冲器(13)位于固定器(14)和弹簧(12)之间，以便减少在衬底(1)上产生的应变对弹簧(12)的影响。

公开(公告)号：CN1249404C

公开(公告)日：2006-04-05

申请号：CN03103740.2

申请日：2003-02-18

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 酒井峰一

IPC: G01D5/241

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P2015/0814

Abstract: 在电容式动态量传感器中，在垂直于预定变形方向的方向延伸的横梁部分(22)中的横梁的宽度(B)与设置在可移动电极(24)和固定电极(32，42)之间在预定变形方向上的缝隙(D)基本上一致。因此，防止了制造误差对该电容式动态量传感器的灵敏度的影响。例如，由于将该横梁的宽度和该缝隙设计成长度一致，允许有±2.5%的制造容限误差。