公开(公告)号：CN100419430C

公开(公告)日：2008-09-17

申请号：CN200510129561.2

申请日：2005-12-06

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 服部孝司 ,  米山孝夫 ,  阿部竜一郎 ,  酒井峰一 ,  山内重德

IPC: G01P1/02

Abstract: 本发明公开了一种传感器装置，包括：在一个表面上具有可移动部分(20)的传感器芯片(100)、与传感器芯片的可移动部分相对而层叠在传感器芯片上的电路芯片(200)、位于传感器芯片和电路芯片之间的凸块(80)。在该传感器芯片中，传感器芯片和电路芯片通过凸块电连接，且传感器芯片的可移动部分通过凸块与电路芯片隔开一定间隙。因此，可以有效防止两个芯片之间的电连接部的寄生电容由于冲击而变化。例如，传感器芯片可用作角速度传感器装置，其具有作为可移动部分的振动器。

公开(公告)号：CN1786717A

公开(公告)日：2006-06-14

申请号：CN200510129561.2

申请日：2005-12-06

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 服部孝司 ,  米山孝夫 ,  阿部竜一郎 ,  酒井峰一 ,  山内重德

IPC: G01P1/02

Abstract: 本发明公开了一种传感器装置，包括：在一个表面上具有可移动部分(20)的传感器芯片(100)、与传感器芯片的可移动部分相对而层叠在传感器芯片上的电路芯片(200)、位于传感器芯片和电路芯片之间的凸块(80)。在该传感器芯片中，传感器芯片和电路芯片通过凸块电连接，且传感器芯片的可移动部分通过凸块与电路芯片隔开一定间隙。因此，可以有效防止两个芯片之间的电连接部的寄生电容由于冲击而变化。例如，传感器芯片可用作角速度传感器装置，其具有作为可移动部分的振动器。

公开(公告)号：CN1661332A

公开(公告)日：2005-08-31

申请号：CN200510065506.1

申请日：2005-02-25

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 惠岛贵志 ,  牧野泰明 ,  山内重德

IPC: G01D5/14 ,  G01D5/241 ,  G01C1/00

CPC classification number: G01D5/2412

Abstract: 一种包括可变电容器和C－V转换电路的旋转角度传感器，其中，将被测物体紧固于该可变电容器的轴上，设置该可移动电极的平面形状，以使电极的重叠部分的面积相对于该可移动电极的旋转角度的变化而线性地变化，该C－V转换电路的电压信号与该可变电容器相对于固定电容器的静电电容的变化相对应，因此，可以使该C－V转换电路的电压信号(检测信号)相对于被测物体的旋转角度的宽泛变化(0°至270°)而线性地变化。