公开(公告)号：CN116507896A

公开(公告)日：2023-07-28

申请号：CN202180069780.3

申请日：2021-10-29

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 城森知也 ,  阿部竜一郎 ,  小林太辅 ,  樋口贵史 ,  早川裕 ,  酒井峰一 ,  马渡和明 ,  小山友二 ,  田中昌明

IPC: G01L9/00

Abstract: 多个振动区域(22)为，振动区域(22)彼此之间通过狭缝(41)分离，狭缝(41)以构成使宽度从振动区域(22)中的与支承体(10)侧相反的一侧的一面(22a)侧向与该一面(22a)相反的一侧的另一面(22b)侧而变窄的锥部(42)的状态形成。电极膜(60)在对一面(22a)而言的法线方向上配置于比狭缝(41)靠内侧的位置，振动区域(22)中的构成锥部(42)的侧面(22c)和与一面(22a)平行的面(22b、Sv)所成的角度(θ1)为39°～81°。

公开(公告)号：CN100419430C

公开(公告)日：2008-09-17

申请号：CN200510129561.2

申请日：2005-12-06

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 服部孝司 ,  米山孝夫 ,  阿部竜一郎 ,  酒井峰一 ,  山内重德

IPC: G01P1/02

Abstract: 本发明公开了一种传感器装置，包括：在一个表面上具有可移动部分(20)的传感器芯片(100)、与传感器芯片的可移动部分相对而层叠在传感器芯片上的电路芯片(200)、位于传感器芯片和电路芯片之间的凸块(80)。在该传感器芯片中，传感器芯片和电路芯片通过凸块电连接，且传感器芯片的可移动部分通过凸块与电路芯片隔开一定间隙。因此，可以有效防止两个芯片之间的电连接部的寄生电容由于冲击而变化。例如，传感器芯片可用作角速度传感器装置，其具有作为可移动部分的振动器。

公开(公告)号：CN117222301A

公开(公告)日：2023-12-12

申请号：CN202310646405.1

申请日：2023-06-02

Applicant: 株式会社电装 ,  丰田自动车株式会社 ,  未来瞻科技株式会社

Inventor： 勅使河原明彦 ,  山田英雄 ,  阿部竜一郎 ,  木岛健治 ,  榎本哲也

IPC: H10N30/50 ,  H10N30/853 ,  H10N30/00 ,  H10N30/05

Abstract: 本发明提供一种压电膜层叠体，其具备SiN膜(14)和ScAlN膜(15)。SiN膜(14)具有衬底表面(14a)。ScAlN膜(15)与衬底表面(14a)相接地配置。衬底表面(14a)的表面粗糙度按算术平均粗糙度的值计为0.5nm以下。

公开(公告)号：CN1786717A

公开(公告)日：2006-06-14

申请号：CN200510129561.2

申请日：2005-12-06

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 服部孝司 ,  米山孝夫 ,  阿部竜一郎 ,  酒井峰一 ,  山内重德

IPC: G01P1/02

Abstract: 本发明公开了一种传感器装置，包括：在一个表面上具有可移动部分(20)的传感器芯片(100)、与传感器芯片的可移动部分相对而层叠在传感器芯片上的电路芯片(200)、位于传感器芯片和电路芯片之间的凸块(80)。在该传感器芯片中，传感器芯片和电路芯片通过凸块电连接，且传感器芯片的可移动部分通过凸块与电路芯片隔开一定间隙。因此，可以有效防止两个芯片之间的电连接部的寄生电容由于冲击而变化。例如，传感器芯片可用作角速度传感器装置，其具有作为可移动部分的振动器。