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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106233090A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201580020476.4
申请日：2015-04-17
Applicant: 株式会社电装
IPC: G01C19/5628 , G01C19/5614 , H01L41/04 , H01L41/047 , H01L41/113
CPC classification number: G01C19/5614 , G01C19/5607 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , G01C19/5642 , H01L41/042 , H01L41/047 , H01L41/1132 , H03H9/21
Abstract: 一种角速度传感器，具有：具有第1面(20a)以及与第1面相反侧的第2面(20b)的第1衬底向上振动的驱动片(24、25、114)的振动体(22)、配置于第1衬底的第1面侧的第2衬底(50)、形成于第2衬底侧的部分的第1驱动片控制电极(34a、35a)、形成于第2衬底中的与驱动片的可变位区域相对置的部分且在与第1驱动片控制电极之间构成电容(CV1、CV2)的第1驱动片辅助电极(52、53)、以及对第1驱动片辅助电极施加电压的第1驱动片控制电路(100a、100b)，第1驱动片控制电路基于在第1驱动片控制电极与第1驱动片辅助电极之间构成的电容，调整对第1驱动片辅助电极施加的电压，以使第1驱动片控制电极与第1驱动片辅助电极之间的距离固定。(20)、形成于第1衬底且具有在第1衬底的平面方
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公开(公告)号：CN106233090B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201580020476.4
申请日：2015-04-17
Applicant: 株式会社电装
IPC: G01C19/5628 , G01C19/5614 , H01L41/04 , H01L41/047 , H01L41/113
Abstract: 一种角速度传感器，具有：具有第1面(20a)以及与第1面相反侧的第2面(20b)的第1衬底(20)、形成于第1衬底且具有在第1衬底的平面方向上振动的驱动片(24、25、114)的振动体(22)、配置于第1衬底的第1面侧的第2衬底(50)、形成于第2衬底侧的部分的第1驱动片控制电极(34a、35a)、形成于第2衬底中的与驱动片的可变位区域相对置的部分且在与第1驱动片控制电极之间构成电容(CV1、CV2)的第1驱动片辅助电极(52、53)、以及对第1驱动片辅助电极施加电压的第1驱动片控制电路(100a、100b)，第1驱动片控制电路基于在第1驱动片控制电极与第1驱动片辅助电极之间构成的电容，调整对第1驱动片辅助电极施加的电压，以使第1驱动片控制电极与第1驱动片辅助电极之间的距离固定。
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公开(公告)号：CN107873083A
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201680006300.8
申请日：2016-01-07
Applicant: 株式会社电装
Inventor： 杉本圭正
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 加速度传感器具有半导体基板(14)、第1方向用可动电极(24、25)、第2方向用可动电极(26、27)、第1方向用固定电极(32、42)、第2方向用固定电极(52、62)、以及支承构件(21、22、23a、23b、28)。加速度传感器检测半导体基板的面方向的第1方向和第2方向的加速度。对于第1方向用可动电极和第1方向用固定电极来说，施加了第2方向的加速度而第1方向用可动电极进行了位移时的第1方向用可动电极与第1方向用固定电极的相对的部分的长度的增减、同第1方向用可动电极与第1方向用固定电极之间的间隔的增减一致。
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公开(公告)号：CN107873083B
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201680006300.8
申请日：2016-01-07
Applicant: 株式会社电装
Inventor： 杉本圭正
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 加速度传感器具有半导体基板(14)、第1方向用可动电极(24、25)、第2方向用可动电极(26、27)、第1方向用固定电极(32、42)、第2方向用固定电极(52、62)、以及支承构件(21、22、23a、23b、28)。加速度传感器检测半导体基板的面方向的第1方向和第2方向的加速度。对于第1方向用可动电极和第1方向用固定电极来说，施加了第2方向的加速度而第1方向用可动电极进行了位移时的第1方向用可动电极与第1方向用固定电极的相对的部分的长度的增减、同第1方向用可动电极与第1方向用固定电极之间的间隔的增减一致。
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公开(公告)号：CN106662601A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201580030809.1
申请日：2015-06-11
Applicant: 株式会社电装
IPC: G01P15/08 , B81B3/00 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , G01P15/125 , H01L41/053 , H01L41/113 , H01L41/311 , H01L41/313
Abstract: 在形成有凹部(13、14)的收容部(11)的该凹部(13、14)的底面，经由第1连接部件(51)配置电路基板(40)。并且，在电路基板(40)之上经由第2连接部件(52)层叠加速度传感器(20)。由此，在角速度传感器(30)与加速度传感器(20)之间，配置防振部(53、55、318)、第1连接部件(51)和第2连接部件(52、54)这3个以上的作为弹簧发挥功能的部分。因此，能够抑制角速度传感器(30)中的振动体(312)的振动向加速度传感器(20)的传递，能够抑制加速度传感器(20)的检测精度下降。
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