-
公开(公告)号：CN1896697A
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200610105437.7
申请日：2006-07-05
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01F1/6845 , G01F1/692 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 实现一种成本不上升，可以降低对隔膜上的电阻体的应力传递，并抑制灵敏度、响应性等特性变化的气体流量计测装置。在隔膜(10)的周围的基板上形成有固定电阻(3、4)和测温电阻体(5)。这些电阻体通过端子(12～24)连接于外部。在隔膜(10)的周围以长度(Xd2)形成有“コ”字状的槽(11)，以便缓和从配置有端子(12～24)的部分向隔膜(10)的应力传递。槽(11)由横槽(11a)和两个纵槽(11b、11c)形成。检测元件(1)的形成有端子(12～24)的区域和形成有隔膜(10)的区域被横槽(11a)划分，形成有端子(12～24)的区域成为固定部。固定部的底部被胶粘剂固定于基板，欲向形成有隔膜(10)的区域传递的安装应力被应力缓和槽(11a)吸收。
-
公开(公告)号：CN1834592A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：CN200610005918.0
申请日：2006-01-19
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01C9/00 , G01F1/6845 , G01F1/69 , G01P15/008
Abstract: 一种物理量传感器，将与所定方向(例如最大应力的外加方向)的应力(σ)平行的方向定义为横向、垂直的方向定义为纵向后，所述流量传感器的电阻器(7a、7b、8a、8b)，就具有横向电阻成分(Rl)和纵向电阻成分(Rt)。加给基板的应力σ加给横向的电阻成分Rl时的压电电阻系数πl，和应力σ加给纵向的电阻成分(Rt)时的压电电阻系数(πt)之比，是πl∶πl＝－n∶1(n为整数)时，将纵向的电阻成分(Rt)和横向的电阻成分Rl的电阻比，设定成与压电电阻系数πl与πt之比的绝对值大致相等。在确保强度的可靠性的同时，降低应力引起的电阻变化，提供高精度的物理量传感器。
-
公开(公告)号：CN100497912C
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200510087591.1
申请日：2005-07-28
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车技术有限公司
CPC classification number: G01F1/699 , G01F1/6842 , G01F1/692
Abstract: 一种流量传感器，是在单晶硅基板上形成薄膜部并在该薄膜部上形成多晶硅的感应电阻器的流量传感器；通常，在薄膜部变化时，电阻值发生变化。因该电阻值变化会导致流量传感器的输出异常。尤其是由于输出异常容易发生在低流量区域，所以作为降低燃料消耗的目的，在发动机进行低怠速化时，上述输出异常就成为问题。因此，为了解决上述的问题，本发明通过将形成在薄膜部的温感电阻器的图案的长方向和短方向的关系设成最佳的构成，使得即使薄膜部变形而导致温感电阻器的电阻值发生变化，流量传感器的输出也难以变化。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100437043C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200610005918.0
申请日：2006-01-19
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01C9/00 , G01F1/6845 , G01F1/69 , G01P15/008
Abstract: 一种物理量传感器，将与所定方向(例如最大应力的外加方向)的应力(σ)平行的方向定义为横向、垂直的方向定义为纵向后，所述流量传感器的电阻器(7a、7b、8a、8b)，就具有横向电阻成分(R1)和纵向电阻成分(Rt)。加给基板的应力σ加给横向的电阻成分R1时的压电电阻系数π1，和应力σ加给纵向的电阻成分(Rt)时的压电电阻系数(πt)之比，是π1∶πt＝-n∶1(n为整数)时，将纵向的电阻成分(Rt)和横向的电阻成分R1的电阻比，设定成与压电电阻系数π1与πt之比的绝对值大致相等。在确保强度的可靠性的同时，降低应力引起的电阻变化，提供高精度的物理量传感器。
-
公开(公告)号：CN1892188A
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：CN200610100749.9
申请日：2006-07-04
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01F1/68
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/6845 , G01F1/698
Abstract: 实现一种不会使电路或者传感器的构造复杂化，且可以减轻发热电阻体的污损，减少因老化而导致的测定误差的热式流量测量装置。薄壁部(7)形成于半导体基板(2)上，在该薄壁部(7)配置有发热电阻体(10)、和感温电阻体(13)的一部分。感温电阻体(13)是在电桥电路中位于与发热电阻体(10)对角的位置的电阻，并被配置于接受发热电阻体(10)的热影响的位置。由此可以使发热电阻体(10)的加热温度具有流量依存性，可以使因老化而导致的测定误差减少。
-
公开(公告)号：CN1879010A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200380110717.1
申请日：2003-11-20
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车技术有限公司
CPC classification number: G01F1/6965 , G01F1/6845
Abstract: 实现一种温度特性好、提高了测量精度的热式空气流量计。热式空气流量计具有：温度传感器(16)，其设置于空气流量计的壳体(23)内；运算器(17)，其利用该温度传感器(16)修正来自于测定元件(1)的流量检测电压；加热温度控制机构(6b)，其在进行发热电阻(5)的温度控制的温度控制电路中，使发热电阻(5)的相对于空气温度的上升温度因空气温度而变化。可以同时地修正因整体温度变化与吸气通路壁面温度变化而产生的热式空气流量计的流量检测误差，从而可以实现测定精度好的热式空气流量计。
-
公开(公告)号：CN1755332A
公开(公告)日：2006-04-05
申请号：CN200510087591.1
申请日：2005-07-28
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车技术有限公司
CPC classification number: G01F1/699 , G01F1/6842 , G01F1/692
Abstract: 一种流量传感器，是在单晶硅基板上形成薄膜部并在该薄膜部上形成多晶硅的感应电阻器的流量传感器；通常，在薄膜部变化时，电阻值发生变化。因该电阻值变化会导致流量传感器的输出异常。尤其是由于输出异常容易发生在低流量区域，所以作为降低燃料消耗的目的，在发动机进行低怠速化时，上述输出异常就成为问题。因此，为了解决上述的问题，本发明通过将形成在薄膜部的温感电阻器的图案的长方向和短方向的关系设成最佳的构成，使得即使薄膜部变形而导致温感电阻器的电阻值发生变化，流量传感器的输出也难以变化。
-
公开(公告)号：CN1573301A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410045806.9
申请日：2004-05-20
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车技术有限公司
IPC: G01F1/68
CPC classification number: G01F7/00 , G01F1/684 , G01F1/692 , G01F1/6986
Abstract: 一种热式空气流量计，在平板状基板(硅基板)(1)上形成的矩形状空间的热绝缘区域(2)的绝缘膜(6)上形成发热电阻体(4)，在发热电阻体(4)的上游侧与下游侧形成两个测温电阻体。矩形状空间的热绝缘区域(2)具有与空气流轴线平行的边的长度比与空气流轴线垂直的边的长度要长的结构。利用本发明，提供能够提高空气流量测定的灵敏度、减低发热体的消耗电力、同时扩大测定范围的热式空气流量计。
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
18
records
(took 0.044 seconds)
