半导体发光元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1649180A

    公开(公告)日:2005-08-03

    申请号:CN200510004500.3

    申请日:2005-01-24

    Inventor: 油利正昭

    CPC classification number: H01L33/16 H01L33/22

    Abstract: 本发明提供一种半导体发光元件及其制造方法。在蓝宝石基板(1)上依次形成n型GaN层(2)、InGaN多量子阱活性层(3)、p型AlGaN电子势垒层(4)、p型AlGaN/GaN应变超晶格层(5)以及p型GaN接触层(6)。通过以在p型GaN接触层(6)的光取出部上具备开口的方式形成p侧欧姆电极(7)。在p型GaN接触层(6)的光取出部,通过使用甲醇、氟酸、以及过氧水的混合溶液的湿式蚀刻,而形成多孔结构(9)。因此,这种半导体发光元件,无需使用微细光刻技术或者干式蚀刻技术,而光取出效率高且放射图案良好。

    半导体发光元件,其制造方法及安装方法

    公开(公告)号:CN100431179C

    公开(公告)日:2008-11-05

    申请号:CN03148730.0

    申请日:2003-06-24

    Abstract: 本发明公开了一种半导体发光元件、其制造方法及安装方法,目的在于:使由化合物半导体特别是GaN系半导体制成的半导体发光元件的散热性良好,增大它的静电耐压,提高它的发光效率,减少它的串联电阻。发光二极管元件(10)中有包含导电型各不相同的至少两层半导体层的元件构成体(11),在该元件构成体(11)上形成有由ITO制成的透光性p侧电极(15),在该p侧电极(15)上的一部分区域形成有焊接垫(16)。在元件构成体(11)的与p侧电极15相反一侧的那个面上形成有由Ti/Au制成的n侧电极(17),还形成有以n侧电极(17)的Au层为底层、厚度约50μm、利用镀金法制成的金属膜(18)。

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