公开(公告)号：CN105439083A

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201510788271.2

申请日：2015-11-17

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 巢炎 ,  姚安琦 ,  焦晓东 ,  吴立群 ,  刘先欢 ,  王盛

IPC: B81C1/00 ,  B82Y40/00 ,  H01L31/0236

CPC classification number: Y02E10/50 ,  B81C1/00539 ,  B82Y40/00 ,  H01L31/02363

Abstract: 本发明公开了一种基于超声驻波场制备硅微纳结构阵列的方法，按如下步骤：(1)、配比腐蚀液：腐蚀液由HF溶液、H2O2溶液和AgNO3溶液均匀混配而成；(2)、将步骤(1)的腐蚀液放入反应釜中，反应釜置于超声发生器形成的超声驻波场中，开启超声波电源，形成超声驻波场；(3)、将清洗后的单晶硅硅片放入反应釜中，腐蚀时间30-60min后，得到单晶硅微纳结构阵列。本发明将超声驻波场与传统的金属辅助化学腐蚀法结合，使反应过程中的金属催化剂颗粒在超声驻波场声辐射力的作用下积聚在超声驻波点，使金属催化剂颗粒呈线性阵列分布在单晶硅表面，随着腐蚀反应的进行，单晶硅表面会形成规则的微纳结构阵列。

公开(公告)号：CN205930836U

公开(公告)日：2017-02-08

申请号：CN201620861881.0

申请日：2016-08-10

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 王洪成 ,  吴立群 ,  张俐楠 ,  程驰 ,  郭亚杰 ,  刘先欢 ,  郭佳伟 ,  赵苗苗 ,  郑伟

IPC: B62B5/02 ,  B62D55/08

Abstract: 本实用新型公开了一种履带式爬楼搬运小车稳定行走机构，其主动轮、前从动轮和后从动轮的回转中心构成三角状且中从动轮回转中心位于前从动轮与后从动轮回转中心的连线上；主动轮、前从动轮、中从动轮、后从动轮缠绕履带；中固定杆上下两端分别转动配合主动轮、中从动轮；上伸缩杆的两端分别转动配合主动轮、前从动轮；上固定杆的两端分别转动配合主动轮、后从动轮；下伸缩杆的两端分别转动配合前从动轮、中从动轮；下固定杆的两端分别转动配合后从动轮、中从动轮。本实用新型通过调节前从动轮高度使履带前后两部分相对转动并形成一定角度，可消除履带行走机构在爬楼开始时履带与楼梯的冲击，提高爬楼搬运小车行走机构运动的稳定性和安全性。

公开(公告)号：CN206293412U

公开(公告)日：2017-06-30

申请号：CN201621177329.6

申请日：2016-10-27

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 巢炎 ,  刘先欢 ,  姚安琦 ,  王志权

IPC: H01L21/67

Abstract: 本实用新型属于硅表面加工技术领域，具体涉及一种制备可控硅表面纳米结构的电磁耦合装置。本实用新型电磁耦合装置包括：反应釜、电源；反应釜包括筒状的衔铁，衔铁的上口、下口分别由顶盖、底盖封住，衔铁的内壁安装有对称的两石墨电极，两侧石墨电极的相对面相平行；衔铁外壁缠绕有漆包线绕线组；衔铁内安装托架，托架用于安放硅片，硅片处于两石墨电极之间且与两石墨电极的相对面相平行，硅片将反应釜分隔成两个腔室；电源的一正负极分别与两石墨电极板电连接，电源的另一正负极还与漆包线绕线组两端电连接。本实用新型制备可控硅表面纳米结构的电磁耦合装置具有操作简单、智能化程度高、生产效率高等特点，适合大规模产业化应用。