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公开(公告)号:CN117836923A
公开(公告)日:2024-04-05
申请号:CN202280040528.4
申请日:2022-06-02
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
Inventor: 丹治彦 , 艾藢许·阿修可·巴瓦尼 , 赛门·贾帕连
IPC: H01L21/68
Abstract: 运送系统(100)具备机器人(10)、传感器(对准传感器24、突出检测传感器31)、以及控制器(19)。机器人(10)具有手部(13),该手部(13)支撑芯片(1)且运送至对准装置(20)。传感器在机器人(10)将芯片(1)递交给对准装置(20)之前,在手部(13)支撑芯片(1)的状态下检测芯片(1)的位置。控制器(19)根据传感器的检测值判定芯片(1)的位置偏移。
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公开(公告)号:CN117795656A
公开(公告)日:2024-03-29
申请号:CN202280043607.0
申请日:2022-06-02
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
Inventor: 丹治彦 , 艾藢许·阿修可·巴瓦尼 , 陈甘源 , 赛门·贾帕连
IPC: H01L21/68
Abstract: 对准装置(1)具备电动机(12)、旋转装置(11)、控制装置(13)以及传感器(14)。电动机(12)产生旋转驱动力。旋转装置(11)通过电动机(12)产生的旋转驱动力,在支撑芯片(30)的状态下旋转。控制装置(13)控制旋转装置(11)的旋转,进行将芯片(30)的旋转相位调整为预定值的处理。传感器(14)朝芯片(30)的边缘照射多个不同行进方向的光,且通过接收光以检测芯片(30)边缘的缺陷。
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公开(公告)号:CN111683767B
公开(公告)日:2022-01-14
申请号:CN201980011320.8
申请日:2019-02-01
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 本发明提供相邻面相互之间能保持垂直关系的壳体的制作方法。壳体的制作方法具备:对应于具有以主表面形成的角为90度的形式连接的两个板部的第一零件,向具有第一模及第二模的第一模具的内部的空腔注入熔液,仅以第一模及第二模中的一个模使两个板部的两个主表面成型,从而形成第一零件的第一零件形成步骤;和对应于具有以主表面形成的角为90度的形式连接的两个板部的第二零件,向具有第三模及第四模的第二模具的内部的空腔注入熔液,仅以第三模及所述第四模中的一个模使两个板部的两个主表面成型,从而形成第二零件的第二零件形成步骤。
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公开(公告)号:CN113474987A
公开(公告)日:2021-10-01
申请号:CN202080016724.9
申请日:2020-03-10
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 一种电动马达用的控制装置、具备该控制装置的机器人以及电动马达的控制方法,控制装置用于对旋转轴可因外力的影响而旋转的电动马达的动作进行控制,其特征在于,在检测到逆变器电路的电力供给用的输入端子间的电压值为对电动马达进行伺服控制所需的规定电压值以上时,通过逆变器电路对电动马达进行伺服控制,并且在检测到逆变器电路的电力供给用的输入端子间的电压值小于规定电压值时,通过在逆变器电路内形成短路电路,使能耗制动作用于电动马达。
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公开(公告)号:CN109791908A
公开(公告)日:2019-05-21
申请号:CN201780059358.3
申请日:2017-09-26
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/22 , B25J13/08 , G05B19/42
Abstract: 一种机器人的控制装置,具备:影像数据获取部,其获取由相机拍摄到的、配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及手的基板载置部的影像数据;虚拟基板信息生成部,其在影像数据中生成虚拟配置在基板载置部上的虚拟基板的信息;距离信息算出部,其基于影像数据计算出从基板载置部至教示用基板为止的距离信息;动作控制部,其基于从基板载置部至教示用基板为止的距离信息,以使虚拟基板与教示用基板一致的形式控制机器臂的动作;及存储部,其将一致时的手的位置作为教示数据存储。
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公开(公告)号:CN120019009A
公开(公告)日:2025-05-16
申请号:CN202380071175.9
申请日:2023-10-03
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
Inventor: 丹治彦 , 赛门·贾帕连 , 艾藢许·阿修可·巴瓦尼 , 林睦凯
Abstract: 根据一个或更多个实施方式的基板处理设备可以包括:基部;升降单元,该升降单元连接至基部以自由升降;臂,该臂以可旋转的方式连接至升降单元;盘状件,该盘状件设置在臂上;以及手部,该手部以可旋转的方式连接至臂,其中,在手部设置在与臂重叠的位置的情况下,盘状件设置在由手部提取的基板下方。
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公开(公告)号:CN114465526B
公开(公告)日:2024-03-15
申请号:CN202210227497.5
申请日:2020-03-10
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H02P3/22
Abstract: 一种能够可靠地将搭载于机器人的关节轴的电动马达制动的马达用的控制装置、具备该控制装置的机器人以及电动马达的控制方法,控制装置用于对搭载于机器人的关节轴的电动马达的动作进行控制,其特征在于,在检测到电气的异常时,通过在逆变器电路内形成短路电路,使能耗制动作用于电动马达,在使能耗制动作用时,交替切换在逆变器电路内形成短路电路的状态和不形成短路电路的状态,调整能耗制动所产生的制动的大小。
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公开(公告)号:CN116472604A
公开(公告)日:2023-07-21
申请号:CN202180076264.3
申请日:2021-11-19
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
IPC: H01L21/68
Abstract: 对准装置(4)具备第一旋转台(41b)、第二旋转台(42b)、以及检测装置(43)。第一旋转台(41b)载置基板(2)且以第一旋转轴线(L1)为旋转中心进行旋转。第二旋转台(42b)载置基板(2)且以位置与第一旋转轴线(L1)的位置不同的第二旋转轴线(L2)为旋转中心进行旋转。检测装置(43)包括检测基板(2)边缘的一个传感器,且传感器的检测范围包括载置于第一旋转台(41b)的基板(2)的边缘、以及载置于第二旋转台(42b)的基板(2)的边缘,用于检测2个基板(2)的边缘。
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公开(公告)号:CN109716500B
公开(公告)日:2023-05-05
申请号:CN201780058115.8
申请日:2017-09-26
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/22 , B25J13/08 , G05B19/42
Abstract: 一种机器人的控制装置,具备:影像数据获取部,其获取藉由相机拍摄的配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及手的基板载置部的影像数据;虚拟基板信息生成部,其在影像数据中生成手的基板载置部上假设性地配置的虚拟基板的信息;操作部,其藉由被操作而生成与该操作对应的操作信息;画面显示部,其将教示用基板及虚拟基板的影像显示于画面;机器人动作控制部,其按照操作信息,控制机器臂的动作;及教示数据记录部,其将虚拟基板与教示用基板一致时的手的位置作为教示数据储存。
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