感光性树脂组合物、图案形成方法、固化膜、层叠体及器件

    公开(公告)号:CN113383273B

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN201980079866.7

    申请日:2019-11-29

    Abstract: 一种感光性树脂组合物、使用由上述感光性树脂组合物形成的感光膜的图案形成方法、由上述感光性树脂组合物形成的固化膜、包含上述固化膜的层叠体及包含上述固化膜或上述层叠体的器件,所述感光性树脂组合物包含选自由聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体组成的组中的至少一种前体、具有亚硫酸酯结构的化合物及光自由基聚合引发剂,且满足下述条件1~条件3中的至少1个,条件1:上述前体包含自由基聚合性基团;条件2:上述具有亚硫酸酯结构的化合物包含自由基聚合性基团;条件3:上述感光性树脂组合物还包含除了上述前体及上述具有亚硫酸酯结构的化合物以外的含有自由基聚合性基团的化合物。

    固化物的制造方法、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法

    公开(公告)号:CN116075777A

    公开(公告)日:2023-05-05

    申请号:CN202180054914.4

    申请日:2021-08-24

    Abstract: 本发明提供一种即使在低温下进行固化的情况下也可以获得断裂伸长率优异的固化物的固化物的制造方法、包括上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法及包括上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法。固化物的制造方法、包括上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法及包括上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法包括:膜形成工序,将特定的感光性树脂组合物适用于基材上而形成膜;曝光工序;显影工序;处理工序,使包含选自碱及产碱剂中的至少1种化合物的含碱处理液与上述图案接触;以及加热工序,上述含碱处理液中的水的含量为50质量%以下。

    固化物、层叠体、半导体器件及它们的制造方法、树脂组合物和化合物

    公开(公告)号:CN115729037A

    公开(公告)日:2023-03-03

    申请号:CN202211051414.8

    申请日:2022-08-30

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够获得可靠性优异的固化物的树脂组合物、使上述树脂组合物固化而成的固化物、含有上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法、上述层叠体的制造方法、包括上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法、及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件。本发明提供一种含有选自由环化树脂及其前体组成的组中的至少1种树脂及由下述式(1‑1)表示的化合物的树脂组合物、使上述树脂组合物固化而成的固化物、含有上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法、上述层叠体的制造方法、包括上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法、及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件。

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