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公开(公告)号:CN112752798A
公开(公告)日:2021-05-04
申请号:CN201980062870.2
申请日:2019-09-24
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: C08L79/08 , B32B15/088 , B32B27/34 , C08G59/32 , C08G73/10 , C08G73/12 , C08K3/011 , G03F7/004 , G03F7/027
Abstract: 本发明提供一种树脂组合物、使用了树脂组合物的固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体组件,所述树脂组合物包含聚酰亚胺前体、热产碱剂和具有多个选自由环氧基、氧杂环丁基、羟甲基、烷氧基甲基、酚基、顺丁烯二酰亚胺基、氰酸酯基及封端异氰酸酯组成的群组中的官能基的热固化性化合物。
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公开(公告)号:CN113614130A
公开(公告)日:2021-11-05
申请号:CN202080022620.9
申请日:2020-03-16
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: C08F283/04 , B32B15/088 , C08F290/14 , C08G73/10 , C08G73/22 , C08F2/44 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/037 , G03F7/20 , G03F7/40
Abstract: 本发明提供一种固化性树脂组合物、通过固化上述固化性树脂组合物而成的固化膜、包含上述固化膜的层叠体、上述固化膜的制造方法及包含上述固化膜或上述层叠体的半导体器件,上述固化性树脂组合物包含选自由聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体组成的组中的至少1种聚合物前体以及具有氢键合性氮原子且具有包含2个以上烯属不饱和基的基团的聚合性化合物,相对于组合物的总固体成分的源自具有分子量2,000以下的自由基聚合性基团的化合物的自由基聚合性基团价为0.25~4.35mmol/g。
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公开(公告)号:CN113614130B
公开(公告)日:2024-05-03
申请号:CN202080022620.9
申请日:2020-03-16
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: C08F283/04 , B32B15/088 , C08F290/14 , C08G73/10 , C08G73/22 , C08F2/44 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/037 , G03F7/20 , G03F7/40
Abstract: 本发明提供一种固化性树脂组合物、通过固化上述固化性树脂组合物而成的固化膜、包含上述固化膜的层叠体、上述固化膜的制造方法及包含上述固化膜或上述层叠体的半导体器件,上述固化性树脂组合物包含选自由聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体组成的组中的至少1种聚合物前体以及具有氢键合性氮原子且具有包含2个以上烯属不饱和基的基团的聚合性化合物,相对于组合物的总固体成分的源自具有分子量2,000以下的自由基聚合性基团的化合物的自由基聚合性基团价为0.25~4.35mmol/g。
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公开(公告)号:CN111919172B
公开(公告)日:2025-02-18
申请号:CN201980022753.3
申请日:2019-03-26
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物、固化膜、层叠体及它们的制造方法、半导体器件及在它们中使用的热产碱剂,上述感光性树脂组合物含有特定的热产碱剂、选自由聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体组成的组中的至少一种聚合物前体及感光剂,上述聚合物前体及上述感光剂中所含有的酸基和酸产生基团的合计含量为0.5mmol/g以下。
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公开(公告)号:CN111936930A
公开(公告)日:2020-11-13
申请号:CN201980021964.5
申请日:2019-03-26
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , C08F2/48 , C08G73/10 , C08G73/12 , G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/037 , G03F7/095 , G03F7/20 , G03F7/32 , G03F7/40 , C07C225/20 , C07C229/18
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件,其中,所述感光性树脂组合物含有含杂环聚合物的前体、热碱产生剂及自由基聚合性化合物,上述含杂环聚合物的前体具有自由基聚合性基团,上述自由基聚合性化合物包括选自如下组中的至少1个自由基聚合性化合物,该组中包含具有4个以上聚合性官能团的化合物及具有3个聚合性官能团并且分子量为400以下的化合物。
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公开(公告)号:CN111919172A
公开(公告)日:2020-11-10
申请号:CN201980022753.3
申请日:2019-03-26
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物、固化膜、层叠体及它们的制造方法、半导体器件及在它们中使用的热产碱剂,上述感光性树脂组合物含有特定的热产碱剂、选自由聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体组成的组中的至少一种聚合物前体及感光剂,上述聚合物前体及上述感光剂中所含有的酸基和酸产生基团的合计含量为0.5mmol/g以下。
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