公开(公告)号：CN110088679B

公开(公告)日：2022-12-23

申请号：CN201780077182.4

申请日：2017-12-12

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 浅川大辅 ,  后藤研由 ,  小岛雅史 ,  加藤启太 ,  王惠瑜 ,  崎田享平

IPC: G03F7/004 ,  C08F220/26 ,  C09K3/00 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  C07C309/12 ,  C07C309/17 ,  C07C309/19 ,  C07C381/12

Abstract: 本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、及光酸产生剂、以及使用这些的感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法，本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有(A)通过光化射线或放射线的照射而产生pKa为‑1.40以上的酸的光酸产生剂、及(B)具有含有酸分解性基的重复单元的树脂，通过具有上述酸分解性基的重复单元的Et h灵敏度为5.64以下的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，尤其在形成超微细的图案时，粗糙性能、曝光宽容度及焦点裕度非常优异。

公开(公告)号：CN115190891B

公开(公告)日：2024-10-15

申请号：CN202180016937.6

申请日：2021-02-25

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 浅川大辅

IPC: C08F290/14 ,  C08G73/10 ,  C08K5/01 ,  C08K5/05 ,  C08L79/08 ,  G03F7/037 ,  G03F7/039

Abstract: 本发明提供一种固化性树脂组合物、将上述固化性树脂组合物固化而成的固化膜、包括上述固化膜的层叠体、上述固化膜的制造方法以及包括上述固化膜或上述层叠体的半导体器件，所述固化性树脂组合物包含：选自包含环状酰亚胺结构及环状异酰亚胺结构中的至少一种的聚酰亚胺前体、包含苯并噁唑结构的聚苯并噁唑前体以及包含环状酰亚胺结构及环状异酰亚胺结构中的至少一种的聚酰胺酰亚胺前体中的至少一种树脂；以及有机金属络合物，上述环状酰亚胺结构、上述环状异酰亚胺结构或上述苯并噁唑结构的含有摩尔量为特定的含量。

公开(公告)号：CN118679426A

公开(公告)日：2024-09-20

申请号：CN202380021217.8

申请日：2023-02-08

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 大工原贤司 ,  青岛俊荣 ,  浅川大辅 ,  尾田和也

IPC: G03F7/004 ,  C08F290/14 ,  C08G73/10 ,  C08K5/56 ,  C08L79/08 ,  C08L101/00 ,  G03F7/027 ,  G03F7/029 ,  G03F7/031 ,  G03F7/037 ,  G03F7/20 ,  G03F7/40 ,  H01L21/312

Abstract: 本发明提供一种保存稳定性优异且所获得的固化物的耐药品性优异的树脂组合物、固化上述树脂组合物而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、固化物的制造方法、层叠体的制造方法、包括层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法、及包含固化物或层叠体的半导体器件。树脂组合物包含树脂、及具有1个以上的含有氮原子的π共轭部位的金属络合物。

公开(公告)号：CN117836715A

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202280057486.5

申请日：2022-08-15

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 浅川大辅

IPC: G03F7/004 ,  C09K3/00 ,  G03F7/027 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  H01L21/312

Abstract: 本发明提供一种可以获得图案矩形性优异的固化物的树脂组合物、固化上述树脂组合物而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、固化物的制造方法、层叠体的制造方法、包括层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法、及包含固化物或层叠体的半导体器件。并且，提供一种新型碱产生剂。树脂组合物包含树脂、碱产生剂及感光剂，碱产生剂具有与特定有机基团键合的2个以上的酰胺基，碱产生剂不包含一末端与芳香环直接键合且另一末端与酰胺基中的羰基直接键合的烯属不饱和键。

公开(公告)号：CN117715982A

公开(公告)日：2024-03-15

申请号：CN202280052243.2

申请日：2022-06-22

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 浅川大辅

IPC: C08L79/08

Abstract: 本发明提供一种可获得耐药品性优异的固化物的树脂组合物、固化上述树脂组合物而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法、上述层叠体的制造方法、包括上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件。树脂组合物包含环化树脂或其前驱体及具有由式(C‑1)表示的结构的热碱产生剂。

公开(公告)号：CN117642442A

公开(公告)日：2024-03-01

申请号：CN202280050004.3

申请日：2022-06-27

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 浅川大辅

IPC: C08F290/06 ,  G03F7/039 ,  G03F7/027 ,  C08L79/04 ,  B32B27/18

Abstract: 本发明提供一种可获得图案矩形性优异的固化物的树脂组合物、固化上述树脂组合物而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法、上述层叠体的制造方法、包括上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件。本发明提供树脂组合物、固化上述树脂组合物而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法、上述层叠体的制造方法、包括上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件，上述树脂组合物包含树脂及碱产生剂，上述碱产生剂在成为所产生的碱的部位具有α，β‑不饱和酮基且所产生的碱在分子内环化成为叔胺。

公开(公告)号：CN117120550A

公开(公告)日：2023-11-24

申请号：CN202280025197.7

申请日：2022-03-24

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 浅川大辅

IPC: C08L79/08

Abstract: 本发明提供一种树脂组合物、固化上述树脂组合物而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件，上述树脂组合物包含借由光或热的作用而产生具有吡啶结构的碱的非离子性碱产生剂、环化树脂的前驱体及光聚合引发剂或光酸产生剂。

公开(公告)号：CN117120513A

公开(公告)日：2023-11-24

申请号：CN202280025205.8

申请日：2022-03-25

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 浅川大辅

IPC: C08G73/10

Abstract: 本发明提供一种树脂组合物、固化上述树脂组合物而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件、以及碱产生剂，所述树脂组合物包含环化树脂的前驱体和碱产生剂，从上述碱产生剂产生的碱是在同一分子内环化而成为叔胺的碱，且从上述碱产生剂产生的碱不是α、β‑不饱和羰基化合物及α、β‑不饱和亚胺化合物中的任一种。

公开(公告)号：CN116888217A

公开(公告)日：2023-10-13

申请号：CN202280014903.8

申请日：2022-02-10

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 浅川大辅 ,  小泉孝德

IPC: C08L101/00

Abstract: 本发明提供一种包含树脂及由下述式(1‑1)表示的碱产生剂的树脂组合物、固化上述树脂组合物而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件、以及碱产生剂。#imgabs0#

公开(公告)号：CN116710282A

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202180087653.6

申请日：2021-11-11

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 浅川大辅 ,  青岛俊荣 ,  小泉孝德

IPC: B32B27/34

Abstract: 本发明提供一种树脂组合物、将上述树脂组合物固化而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件以及新的化合物，该树脂组合物包含选自环化树脂及其前体中的至少1种树脂以及具有经由连接基相互键合的聚合性基团和酰胺键的聚合性化合物，上述酰胺键与上述连接基在羰基侧键合，在使用上述聚合性化合物合成了均聚物的情况下，上述均聚物显示通过250℃的加热而产生从主链游离的碱的性质。