半导体装置
    11.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111052510B

    公开(公告)日:2021-05-25

    申请号:CN201980004079.6

    申请日:2019-02-05

    Abstract: 能够防止接合构件在接触部件的中空孔中爬升。半导体装置(10)具有层叠基板(14)和接触部件(17),层叠基板(14)具备电路板(13a)和形成有电路板(13a)的绝缘板(11),接触部件(17)在内部形成有筒状的中空孔(17f)且其开口端部(17f2)介由接合构件(19)而与电路板(13a)的正面的接合区(A2)接合。而且,在这样的半导体装置(10)中,接触部件(17)的与接合构件(19)的接触区(A1)的对接合构件(19)的润湿性与电路板(13a)的至少接合区(A2)的对接合构件(19)的润湿性大致相等。因此,能够抑制因将接触部件(17)与电路板(13a)接合时的加热导致的接合构件(19)在接触部件(17)的中空孔(17f)中的爬升。

    半导体装置的制造方法
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107431053A

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201680012709.0

    申请日:2016-09-12

    Inventor: 横山岳 齐藤隆

    Abstract: 防止对半导体芯片的损伤而抑制半导体装置的散热性下降。具有:准备散热基座的工序(步骤S101);对散热基座的背面进行喷丸处理的工序(步骤S102);利用金属材料对散热基座的正面和背面进行镀覆的镀覆处理工序(步骤S103);通过加热将进行了喷丸处理的散热基座、隔着焊料配置在散热基座的正面且具有绝缘板和设置在绝缘板的正面的电路板的层叠基板、以及隔着焊料配置在电路板上的半导体芯片进行焊料接合的工序。由此,能够在将半导体芯片、层叠基板、散热基座组装之前,通过喷丸处理对散热基座施加初始翘曲(向下凸起),因此,不会对半导体芯片、焊料带来损伤。

    输送托盘及半导体装置的制造装置

    公开(公告)号:CN217444349U

    公开(公告)日:2022-09-16

    申请号:CN202220895813.1

    申请日:2022-04-18

    Abstract: 本实用新型提供一种输送托盘及半导体装置的制造装置,抑制使用输送托盘而制造的产品组的品质的不均一。输送托盘包括单片托盘组和框。各单片托盘具有托盘部以及下端处于比托盘部的背面高的位置的耳部。框具有上表面和下表面、以及在托盘部配置于开口部的内部的状态下能够与耳部的下端抵接的抵接部。框的从下表面起算到抵接部为止的高度比从托盘部的背面起算到耳部的下端为止的高度低。即使在框的下表面与冷却板的设置面之间存在间隙,托盘部也进行位移,且背面与设置面接触。抑制搭载于输送托盘的处理对象组的接合层、的焊料的冷却速度的不均一、缩孔的产生,并抑制得到的产品组的品质的不均一。

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