一种透明单平面单极性数字微流体芯片及其控制方法

    公开(公告)号:CN102350380A

    公开(公告)日:2012-02-15

    申请号:CN201110288130.6

    申请日:2011-09-26

    Applicant: 复旦大学

    Inventor: 曾祥宇 周嘉

    Abstract: 本发明属于微电子生物芯片技术领域,具体为一种透明单平面单极性数字微流体芯片及其控制方法。数字微流体芯片的结构从下至上依次为透明玻璃基板、第一电极阵列、硅绝缘层、第二电极阵列、表面绝缘层和疏水层。本发明采用透明材料和双层电极阵列,并采用单平面单极性电压的液滴控制方法,仅通过一块单极性的极板即可对液滴进行控制,并能够很好的保持液滴的球型表面,对于生物样本的光学检测,可保持良好的聚光特性。本发明大大拓展了在光学检测方面的应用范围。

    用于体硅微机械加工的局部光刻方法

    公开(公告)号:CN1594065A

    公开(公告)日:2005-03-16

    申请号:CN200410025231.4

    申请日:2004-06-17

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明为一种用于体硅微机械加工的局部光刻方法。它利用一个隔离装置结合局部光刻工艺,实现硅背部腐蚀和正面保护。所述隔离装置由隔离圈和密闭容器和硅片托盘组成,隔离圈将腐蚀液和硅正面隔离。本发明可确保腐蚀液无渗漏,边缘掩膜完好,正面无腐蚀痕迹,大大提高了成品率。

    一种背衬型高频宽带PMUT单元及PMUT阵列

    公开(公告)号:CN113120854B

    公开(公告)日:2024-01-23

    申请号:CN202110235018.X

    申请日:2021-03-03

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明涉及一种背衬型高频宽带PMUT单元及PMUT阵列,PMUT单元包括依次叠层的基底(1)、电隔离层(2)、下电极(3)、压电层(4)、上电极从其底部沿轴向向上开设有一盲孔式空腔形成背腔,所述的背腔中填充背衬材料(8)。PMUT阵列包括若干按行列依次排列的PMUT单元。与现有技术相比,本发明背衬结构可以将PMUT阵列带宽提高一倍以上,并且同时满足相控阵对单元间距的要求。(5)、钝化层(6)和引线层(7),所述的基底(1)上

    一种光控全无机EWOD器件
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113634293B

    公开(公告)日:2023-02-28

    申请号:CN202110907862.2

    申请日:2021-08-09

    Applicant: 复旦大学

    Inventor: 周嘉 刘恩清 刘安

    Abstract: 本发明提供一种光控全无机EWOD器件,包括:衬底以及由下往上依次设置于衬底上的无机光导电层、无机介质层和超疏水表面层,其中,无机光导电层的两端刻蚀有偏置电极。本发明利用具有光电导效应的无机材料作为虚拟电极代替像素化电极,利用高介电常数无机材料作为介质层,利用无机材料制作微纳结构作为超疏水表面,可以实现对EWOD器件的优化。

    介质电润湿数字微流控芯片的液滴检测系统及方法

    公开(公告)号:CN107790199A

    公开(公告)日:2018-03-13

    申请号:CN201710692529.8

    申请日:2017-08-14

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明提供一种介质电润湿数字微流控芯片的液滴检测系统及方法,个人电脑向单片机下发控制命令,由单片机控制驱动电路来提供驱动电压,对介质电润湿数字式微流控芯片的电极上的液滴驱动;检测电阻提取流过微流控芯片的电流信号送入电压跟随器进行跟随;跟随后的信号分两路输入乘法器进行信号自乘;低通滤波器对乘法器输出的信号进行低通滤波,在低通滤波器的输出端得到直流信号;单片机对低通滤波器输出的直流信号采集,并送至个人电脑处理,以显示与液滴状态相关的信息。本发明可对任意位置、任意大小的一个或多个液滴进行驱动及检测,还可通过标定将驱动电压降至正常驱动阈值以下时测得的参数,相应转化成正常驱动阈值下可以使用的参数。

    介质电润湿数字微流控芯片上独立电极的驱动方法

    公开(公告)号:CN107649222A

    公开(公告)日:2018-02-02

    申请号:CN201710692952.8

    申请日:2017-08-14

    Applicant: 复旦大学

    Inventor: 李春桥 周嘉

    Abstract: 本发明的一种介质电润湿数字微流控芯片上独立电极的驱动方法中,个人电脑向单片机下发第一指令,以通过单片机控制驱动系统对介质电润湿数字式微流控芯片上的电极逐一加电;根据单片机采集检测电路对微流控芯片的检测结果形成的检测值,个人电脑对电极上是否有当前驱动液滴或其障碍物进行区分,对当前驱动液滴或其障碍物在电极上的大小及位置进行表征,并对当前驱动液滴从指定的起始位置到指定的终点位置的路径进行规划及显示;个人电脑向单片机下发附带有路径相关信息的第二指令,通过单片机控制驱动系统对微流控芯片上沿路径分布的电极依次加电,以使当前驱动液滴沿路径移动。本发明能对一个或多个液滴的驱动进行灵活控制。

    一种基于介质层上电润湿原理的电解器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN104846400B

    公开(公告)日:2017-10-10

    申请号:CN201510196779.3

    申请日:2015-04-24

    Applicant: 复旦大学

    Inventor: 王伟 曾智 周嘉

    Abstract: 本发明公开了一种基于介质层上电润湿原理的电解器件及其制备方法,该电解器件包含:下极板,其由第一衬底、电极层、介质层、第一疏水层从下到上依次设置构成;及,上极板,其由第二衬底、接地电极和第二疏水层从上到下依次设置构成;待电解液滴D置于第一疏水层与第二疏水层之间;该电极层包含若干电解电极和若干驱动电极,电极两两之间电气隔离;该电解电极嵌入设置在驱动电极中。本发明通过对电解过程及液滴分裂过程的控制,得到含有特定浓度不同极性电解产物的液滴。本发明提供的电解器件具有设计新颖、控制简单、自动化程度高、输出精度高等特点,极大地拓展了数字微流控及现场快速检测等技术的应用范围。

    一种基于微流控沟道系统的海水净化装置及其制备方法

    公开(公告)号:CN106587286A

    公开(公告)日:2017-04-26

    申请号:CN201611176352.8

    申请日:2016-12-19

    Applicant: 复旦大学

    Inventor: 王伟 周嘉

    Abstract: 本发明公开了一种基于微流控沟道系统的海水净化装置及其制备方法,该装置包含:衬底,设置在衬底上的液体沟道,以及设置在液体沟道上用于定义并密封液体沟道的上盖板。液体沟道包含:去离子沟道,设置在去离子沟道两侧的电极对,设置在去离子沟道与电极对之间的介质层,以及与去离子沟道相连通的进口沟道和出口沟道。本发明的装置能够持续、稳定、低能耗、高效能净化海水,同时又能够与现有微流控技术相兼容的集成化微流控芯片,进而在改进现有电容式净水功能器件的基础上扩大微流控技术的应用范围。

    一种能自动调控溶液离子浓度的微流控器件、其制备及使用方法

    公开(公告)号:CN106582901A

    公开(公告)日:2017-04-26

    申请号:CN201611177684.8

    申请日:2016-12-19

    Applicant: 复旦大学

    Inventor: 王伟 周嘉

    Abstract: 本发明公开了一种能自动调控溶液离子浓度的微流控器件、其制备及使用方法,该器件包含:设置在衬底上的沟道系统;及,用于密封该沟道系统的盖板;其中,该沟道系统包含:扩散沟道,及,分别设置在其两端的入口沟道和出口沟道;上述的入口沟道包含若干在扩散沟道的一端交汇的入口;上述的出口沟道包含若干对应上述入口的出口,该出口在扩散沟道的另一端交汇。本发明提供的能自动调控溶液离子浓度的微流控器件具有设计新颖、控制简单、自动化程度高、输出精度高、对溶液内其他物质浓度没有影响等特点,极大地拓展了微流控技术及现场快速检测技术等的集成化程度与应用范围。

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