公开(公告)号：CN113120854B

公开(公告)日：2024-01-23

申请号：CN202110235018.X

申请日：2021-03-03

Applicant: 复旦大学

Inventor： 周嘉 ,  王续博 ,  刘安 ,  任俊彦 ,  马有草

IPC: B81B7/02

Abstract: 本发明涉及一种背衬型高频宽带PMUT单元及PMUT阵列，PMUT单元包括依次叠层的基底(1)、电隔离层(2)、下电极(3)、压电层(4)、上电极从其底部沿轴向向上开设有一盲孔式空腔形成背腔，所述的背腔中填充背衬材料(8)。PMUT阵列包括若干按行列依次排列的PMUT单元。与现有技术相比，本发明背衬结构可以将PMUT阵列带宽提高一倍以上，并且同时满足相控阵对单元间距的要求。(5)、钝化层(6)和引线层(7)，所述的基底(1)上

公开(公告)号：CN113120854A

公开(公告)日：2021-07-16

申请号：CN202110235018.X

申请日：2021-03-03

Applicant: 复旦大学

Inventor： 周嘉 ,  王续博 ,  刘安 ,  任俊彦 ,  马有草

IPC: B81B7/02

Abstract: 本发明涉及一种背衬型高频宽带PMUT单元及PMUT阵列，PMUT单元包括依次叠层的基底(1)、电隔离层(2)、下电极(3)、压电层(4)、上电极(5)、钝化层(6)和引线层(7)，所述的基底(1)上从其底部沿轴向向上开设有一盲孔式空腔形成背腔，所述的背腔中填充背衬材料(8)。PMUT阵列包括若干按行列依次排列的PMUT单元。与现有技术相比，本发明背衬结构可以将PMUT阵列带宽提高一倍以上，并且同时满足相控阵对单元间距的要求。

公开(公告)号：CN110170341B

公开(公告)日：2020-05-12

申请号：CN201811407247.X

申请日：2018-11-23

Applicant: 复旦大学

Inventor： 周嘉 ,  王续博 ,  刘安 ,  杜林 ,  章凯迪 ,  刘宏 ,  王琪 ,  芮西川

IPC: B01L3/00

Abstract: 本发明公开了一种利用声表面波技术实现粒子高通量分选的数字微流控器件，其包含上极板与下极板，该下极板由依次设置的衬底、压电层、电极层、介质层及疏水层构成，电极层包含：对称设置的两个蓄液池区域、液滴精确生成区域、声表面波富集区域。利用本发明的器件可以进行多种生物实验的前处理操作，主要包括分选和富集。通过对第一电极、第二电极、叉指电极及第三电极按照一定顺序和规则施加电压，形成液体不间断的模拟流道，使得液体向需要的方向流动；基于逆压电效应，通过控制叉指电极的电压，有控制的改变声学力和粘滞力的比例，可以对不同尺寸的粒子进行相应的分离操作，从而可以在较高的通量下获得很高的分选效率。

公开(公告)号：CN110170341A

公开(公告)日：2019-08-27

申请号：CN201811407247.X

申请日：2018-11-23

Applicant: 复旦大学

Inventor： 周嘉 ,  王续博 ,  刘安 ,  杜林 ,  章凯迪 ,  刘宏 ,  王琪 ,  芮西川

IPC: B01L3/00

Abstract: 本发明公开了一种利用声表面波技术实现粒子高通量分选的数字微流控器件，其包含上极板与下极板，该下极板由依次设置的衬底、压电层、电极层、介质层及疏水层构成，电极层包含：对称设置的两个蓄液池区域、液滴精确生成区域、声表面波富集区域。利用本发明的器件可以进行多种生物实验的前处理操作，主要包括分选和富集。通过对第一电极、第二电极、叉指电极及第三电极按照一定顺序和规则施加电压，形成液体不间断的模拟流道，使得液体向需要的方向流动；基于逆压电效应，通过控制叉指电极的电压，有控制的改变声学力和粘滞力的比例，可以对不同尺寸的粒子进行相应的分离操作，从而可以在较高的通量下获得很高的分选效率。

公开(公告)号：CN109270807A

公开(公告)日：2019-01-25

申请号：CN201811487907.X

申请日：2018-12-06

Applicant: 复旦大学

Inventor： 周嘉 ,  王续博 ,  刘安 ,  杜林 ,  章凯迪 ,  刘宏 ,  王琪 ,  芮西川

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种双面标记激光曝光设备，其包含：样品台；激光光源；掩膜版，该掩膜版上具有对准标记；分光镜，通过掩膜版的激光经该分光镜分为相互垂直第一激光束、第二激光束；设置在样品正面正上方、样品背面正下方的第一聚焦透镜、第二聚焦透镜；及，若干用于改变光路路径的反射镜；第一激光束经第一光路垂直入射至样品正面；第二激光束经第二光路垂直入射至样品背面。本发明通过设计的光路结构，对分光器分出的两光束进行操作，构建第一光路与第二光路，在样品的正面和背面形成大小、位置、形状完全一致的对准标记，以用于后续紫外光刻过程中的对准。本发明的曝光设备成本低，有效提高现有设备利用效率，几乎不存在机械磨损误差。

公开(公告)号：CN109046482A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201810936224.1

申请日：2018-08-16

Applicant: 复旦大学

Inventor： 周嘉 ,  杜林 ,  芮西川 ,  王续博 ,  章凯迪 ,  王琪 ,  刘宏

IPC: B01L3/00

CPC classification number: B01L3/5027

Abstract: 本发明公开了一种单泵微液滴控制系统及其用途，该系统包含：样品池；进样通道，其入口端与样品池连通；出样通道；互联腔体，其包含：第一存储腔体、第二存储腔体、压力共用接头及液滴产生结构，第一存储腔体、第二存储腔体的入口端通过压力共用接头与进样通道的出口端连接，第一存储腔体、第二存储腔体的出口端通过液滴产生结构与出样通道的入口连通；连接出样通道出口的流量泵，及摄像设备。本发明通过构建共用压力点，使得两相液体在相对压力值恒定的作用下生成液滴，提高了液滴的均匀性和稳定性；通过控制液滴发生结构的几何形状、调节流量泵的速度，控制产生液滴的体积和间距；采用单一泵控制，组成构件简单，体积小，操作简单，易于携带。