一种背衬型高频宽带PMUT单元及PMUT阵列

    公开(公告)号:CN113120854B

    公开(公告)日:2024-01-23

    申请号:CN202110235018.X

    申请日:2021-03-03

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明涉及一种背衬型高频宽带PMUT单元及PMUT阵列,PMUT单元包括依次叠层的基底(1)、电隔离层(2)、下电极(3)、压电层(4)、上电极从其底部沿轴向向上开设有一盲孔式空腔形成背腔,所述的背腔中填充背衬材料(8)。PMUT阵列包括若干按行列依次排列的PMUT单元。与现有技术相比,本发明背衬结构可以将PMUT阵列带宽提高一倍以上,并且同时满足相控阵对单元间距的要求。(5)、钝化层(6)和引线层(7),所述的基底(1)上

    一种光控全无机EWOD器件
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113634293B

    公开(公告)日:2023-02-28

    申请号:CN202110907862.2

    申请日:2021-08-09

    Applicant: 复旦大学

    Inventor: 周嘉 刘恩清 刘安

    Abstract: 本发明提供一种光控全无机EWOD器件,包括:衬底以及由下往上依次设置于衬底上的无机光导电层、无机介质层和超疏水表面层,其中,无机光导电层的两端刻蚀有偏置电极。本发明利用具有光电导效应的无机材料作为虚拟电极代替像素化电极,利用高介电常数无机材料作为介质层,利用无机材料制作微纳结构作为超疏水表面,可以实现对EWOD器件的优化。

    一种光致电润湿芯片中液滴的自动化控制方法

    公开(公告)号:CN114308159A

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN202111641906.8

    申请日:2021-12-29

    Applicant: 复旦大学

    Inventor: 刘安 王翠

    Abstract: 本发明公开了一种光致电润湿芯片中液滴的自动化控制方法,包括以下步骤:首先布置光控电润湿平台;训练深度学习系统中的神经网络模块;使用设备实时拍摄图片,传入深度学习系统做出相应的路径规划并生成对应的光虚拟电极,即光图;将光图投影至所述光控电润湿平台的芯片上,在设定的起始点生成待操作液滴,连续变化光图以驱动液滴。本发明的一种光致电润湿芯片中液滴的自动化检测和反馈控制方法,该方法也适用于各种类型尤其是无电极阵列的数字微流控芯片,具有检测精度高、控制灵活、可以自动进行路径规划躲避障碍物,对人工操作的依赖度低的优势。

    一种用于探测颗粒大小高度的电阻脉冲传感装置及其方法

    公开(公告)号:CN114963954B

    公开(公告)日:2024-09-27

    申请号:CN202210570743.7

    申请日:2022-05-24

    Applicant: 复旦大学

    Inventor: 刘安 王琪

    Abstract: 本发明涉及一种用于探测颗粒大小高度的电阻脉冲传感装置及其方法,该装置包括设置在微通道内的多个共面电极对,其中,多个共面电极对之间的间距互不相同,共面电极对通过焊盘连接有对应的感应电路,感应电路连接有处理器,感应电路用于检测共面电极对的颗粒识别信号幅值;处理器根据多个颗粒识别信号幅值,基于预先训练好的颗粒探测模型,输出得到对应的颗粒大小和高度数据。与现有技术相比,本发明通过在微通道设置非等间距共面电极对,并结合机器学习算法,以进行颗粒大小和高度的探测,能够克服通道中粒子位置对测量信号产生的不良影响,提高对于颗粒大小高度的探测准确性。

    一种光控微流控平台的自动化控制装置及方法

    公开(公告)号:CN114371621B

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202111627615.3

    申请日:2021-12-28

    Applicant: 复旦大学

    Inventor: 刘安 刘恩清 周嘉

    Abstract: 本发明涉及一种光控微流控平台的自动化控制装置及方法,其中装置包括光源、图像采集过滤装置、芯片衬底、图像采集装置和计算机,其中,光源和图像采集装置分别与计算机相连,并由计算机控制,图像采集过滤装置设置在相机前端,芯片衬底放置在光源能照射到的位置。本发明的一种光控微流控平台的自动化控制装置及方法,采用光控虚拟电极代替物理电极,可以精确控制液滴大小、位置及数量,采用基于深度学习的目标检测对液滴进行识别,提高对液滴的成像效果,提高精准度,并采用机器学习的控制方法,根据需求自动规划液滴前进路线,实时改变光虚拟电极的大小、位置和行进路线,提高液滴驱动的成功率。

    光声镊子
    6.
    发明公开
    光声镊子 审中-实审

    公开(公告)号:CN116267017A

    公开(公告)日:2023-06-20

    申请号:CN202180003573.8

    申请日:2021-10-18

    Applicant: 复旦大学

    Inventor: 刘安 王清 周嘉

    Abstract: 本发明公开一种用于实现捕捉和操控粒子的方法和装置,属于声学控制操控领域。针对现有技术中无法实现对粒子无接触的、灵活的、有选择性的、通用的操控方法,本发明公开一种光声镊子,利用双模换能器产生一个强声波和一个弱声波,强声波作为增益介质来放大弱声波的声辐射力,通过该强声波和弱声波的干涉产生增强的声辐射力,实现对粒子的捕捉和操控。本发明可用于多个粒子的同时操控,实现高通量,可操控从1μm至1mm的不同尺寸的粒子。不需要复杂的声学阵列即可产生可重构的声场,实现灵活性操控。通过调节强声波和弱声波之间的相位差,可实现声辐射力的方向的逆转。本发明是一种灵活性、生物兼容性、选择性、高通量的操控方法。

    一种光控全无机EWOD器件
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113634293A

    公开(公告)日:2021-11-12

    申请号:CN202110907862.2

    申请日:2021-08-09

    Applicant: 复旦大学

    Inventor: 周嘉 刘恩清 刘安

    Abstract: 本发明提供一种光控全无机EWOD器件,包括:衬底以及由下往上依次设置于衬底上的无机光导电层、无机介质层和超疏水表面层,其中,无机光导电层的两端刻蚀有偏置电极。本发明利用具有光电导效应的无机材料作为虚拟电机代替像素化电极,利用高介电常数无机材料作为介质层,利用无机材料制作微纳结构作为超疏水表面,可以实现对EWOD器件的优化。

    一种基于液滴的无通道电阻脉冲传感装置及其方法

    公开(公告)号:CN115112951B

    公开(公告)日:2024-09-27

    申请号:CN202210570751.1

    申请日:2022-05-24

    Applicant: 复旦大学

    Inventor: 刘安 王琪

    Abstract: 本发明涉及一种基于液滴的无通道电阻脉冲传感装置及其方法,该装置包括衬底,其中,衬底上设置有共面电极和扬声设备,共面电极上滴附有待测液滴,待测液滴内混合有待测颗粒,共面电极通过焊盘与感应电路连接,扬声设备用于产生声波,以驱动待测颗粒在待测液滴内部按照设定的声流线运动,当待测颗粒运动经过共面电极上方时,将引发电阻脉冲;感应电路则用于检测共面电极上方的电阻脉冲变化。与现有技术相比,本发明利用液滴中声流对颗粒的控制作用来取代微通道的作用,实现了无通道的电阻脉冲传感,从根本上解决了微通道容易被阻塞的问题,同时能保证检测的准确性。

    一种单平面光控电润湿器件上多方向操控液滴的方法

    公开(公告)号:CN114870915B

    公开(公告)日:2023-03-31

    申请号:CN202210434112.2

    申请日:2022-04-24

    Applicant: 复旦大学

    Inventor: 周嘉 刘安 刘恩清

    Abstract: 本发明涉及一种单平面光控电润湿器件上多方向操控液滴的方法,该方法包括:在单平面光控电润湿芯片两端的电极上施加偏置电压;在单平面光控电润湿芯片上投影暗条纹,改变芯片上电场方向和电势梯度;所述的投影暗条纹的起点和终点分别位于两个电极对应端部连线上,所述的投影暗条纹穿过液滴且在液滴处的法线方向与液滴的目标驱动方向平行。与现有技术相比,本发明通过设计驱动图案(投影暗条纹),改变芯片上电流方向和电势梯度,从而实现液滴任意方向的驱动控制,实现液滴的灵活操作。

    一种微液滴阵列芯片及其制造和使用方法

    公开(公告)号:CN109701671A

    公开(公告)日:2019-05-03

    申请号:CN201811611242.9

    申请日:2018-12-27

    Applicant: 复旦大学

    Inventor: 周嘉 刘安 杜林

    Abstract: 本发明公开了一种微液滴阵列芯片及其制造和使用方法,包含:基底;该基底上设置有由若干微孔构成的微孔阵列,该微孔具有三维形状,且微孔开口渐大,微孔侧壁至少一面以一定角度倾斜,该基底与液体的接触角大于80°。本发明利用微孔开口渐大技术,能够有利于微孔内气体排除和微液滴的留下,保证微液滴的生成效率,生成的微液滴体积小、稳定性高、与基底材料接触面积小。制造方法简单,成本低。使用方法简单多样,对外部设备和操作人员技术要求低,适应范围广泛。

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