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公开(公告)号：CN105091908A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510475166.3
申请日：2015-08-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种二次平台动态调平系统，本发明属于平台动态调平的技术领域。它的工控机总成的第一电机驱动器的驱动输出端、第二电机驱动器的驱动输出端、第三电机驱动器的驱动输出端分别与第一带气缸的音圈电机动子的线圈输入端、第二带气缸的音圈电机动子的线圈输入端、第三带气缸的音圈电机动子的线圈输入端连接；工控机总成的第一、第二、第三比例电磁阀控制器的驱动输出端分别与第一带气缸的音圈电机的电控比例调压阀的输入端、第二带气缸的音圈电机的电控比例调压阀的输入端、第三带气缸的音圈电机的电控比例调压阀的输入端连接。本发明在动态调平过程中实时性好，可以准确的检测出平台的倾斜情况，然后迅速调平；调平精度高，可以达到角秒级。
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公开(公告)号：CN105068383A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510474811.X
申请日：2015-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种微动台机械参数误差辨识方法，属于超精密制造领域。为了解决传统间接测量方法受固定参数和固定输入输出维数的限制的问题。本发明通过对微动台的建模，描述方程的建立，通过方程和近似解得一部分机械参数误差，最后引入紧凑式教学优化算法得到剩余其他的参数误差。使参数的测量不受测量的参数和需求参数的维数所限制，不受传统方法解算方程时参数矩阵不能为奇异矩阵的限制，误差参数的个数和需要测量的参数的个数不受限制，同时能满足控制所需的高精度。本发明用于光刻机。
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公开(公告)号：CN105004264A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201510434375.3
申请日：2015-07-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 基于VME总线的多路激光干涉仪数据的同步读取方法，属于高精度运动控制系统的信号采集与数据通信技术领域，本发明为解决读取多路激光干涉仪数据时，相互冲突、未加区分识别以及缺失同步性的问题。本发明应用VME总线通信机制，设计同步传输-存储卡产生同步时钟、数据存储信号、地址信号以及读使能信号，完成单块干涉信号处理卡到同步传输-存储卡的信号交互，用来实现最多四路激光干涉仪数据的同步读取，然后扩展到多块干涉信号处理卡，通过添加高位地址线的方法来区分干涉信号处理卡，从而解决了读取不同卡时地址冲突的问题，最终实现了任意路激光干涉仪数据的同步读取。
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公开(公告)号：CN104935218A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510405399.6
申请日：2015-07-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02P5/52
Abstract: 一种双旋转电机系统的主从控制方法。本发明涉及一种双旋转电机系统的主从控制方法。所述双旋转电机系统包括定旋转电机、动旋转电机、旋转电机连接杆及台体，所述定旋转电机固定在台体上，所述定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接；所述控制方法包括七个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制定旋转电机的旋转角度参数；步骤三：利用双速旋转变压器及其角位变送器来采集定旋转电机的旋转角度数据，将传感器采集的旋转角度数据通过运动控制卡系统进行数据转换，并实时读取定旋转电机旋转角度数据。本发明用于双旋转电机系统的主从控制。
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公开(公告)号：CN104806861A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201510201205.0
申请日：2015-04-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于电容传感器的多轴支撑气浮平台的调平方法，属于光学领域，本发明为解决现有对气浮平台的调节方法对测量环境要求高，应用时局限较大，不能同时达到调节精度高和调节过程复杂程度低的问题。本发明所述调平方法的具体过程为：气源在三个气足的底部充入高压气体，形成气膜面；采用三个电容传感器分别采集三个气足的气膜高度；三个电容传感器分别将采集的气膜高度输出至控制器中；控制器采用神经网络PID控制算法计算控制量；控制量解耦后控制三个气足的调压阀，改变三个气足的出口压力，调整气膜高度，完成调平过程。本发明用于卫星地面仿真中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103345197B
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201310296004.4
申请日：2013-07-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种工件台微动部分六自由度解耦建模方法，主要涉及的是一种光刻机工件台微动部分六自由度解耦建模方法。本发明是要解决光刻机工件台微动部分竖直方向三自由度运动模型与水平方向三自由度运动模型的耦合问题。一、建立工件台微动部分质心驱动力及转矩与音圈电机驱动力之间的转换关系；二、建立曝光中心与工件台微动部分质心之间的位置关系；三、将步骤二得到的位置关系二次求导并忽略一次微分项；四、根据牛顿第二定律得出作用在工件台微动部分质心上的驱动力及转矩与曝光区域中心加速度的关系式；五、利用步骤一和步骤四所得结果列写关于质心驱动力及转矩的等式，得出曝光中心位置和音圈电机驱动力之间的关系式。本发明属于超精密制造领域。
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公开(公告)号：CN103345197A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310296004.4
申请日：2013-07-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种工件台微动部分六自由度解耦建模方法，主要涉及的是一种光刻机工件台微动部分六自由度解耦建模方法。本发明是要解决光刻机工件台微动部分竖直方向三自由度运动模型与水平方向三自由度运动模型的耦合问题。一、建立工件台微动部分质心驱动力及转矩与音圈电机驱动力之间的转换关系；二、建立曝光中心与工件台微动部分质心之间的位置关系；三、将步骤二得到的位置关系二次求导并忽略一次微分项；四、根据牛顿第二定律得出作用在工件台微动部分质心上的驱动力及转矩与曝光区域中心加速度的关系式；五、利用步骤一和步骤四所得结果列写关于质心驱动力及转矩的等式，得出曝光中心位置和音圈电机驱动力之间的关系式。本发明属于超精密制造领域。
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公开(公告)号：CN105160069B
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201510474812.4
申请日：2015-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 一种基于改进的紧凑式教学优化算法的机械参数软测量方法，涉及制造领域的机械安装参数软测量。为了解决系统零件安装完成后用传统的传感器和测量方法常常难于测量其安装机械参数的问题。所述方法包括：建立待测系统模型，确定需测量的机械参数；测量系统模型中可以直接测得的参数，代入系统模型中，建立模型方程；建立优化算法目标函数；测量待测系统的n组输入和对应的n组输出，代入目标函数；采用改进的紧凑式教学优化算法迭代过程；将获得的结果对应到需测量的机械参数。本发明用于机械系统中测量机械参数。
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公开(公告)号：CN105116724A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201510418937.5
申请日：2015-07-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 本发明公开了一种基于遗传算法优化神经网络直线电机定位力辨识方法，其步骤如下：步骤一：由加速度传感器采集直线电机匀速拖动数据并换算为定位力数据。步骤二：确定神经网络拓扑结构。步骤三：初始化神经网络各个参数。步骤四：定义遗传算法适应度函数为预测数据误差。步骤五：将步骤三中的神经网络参数作为个体，执行遗传算法。步骤六：当达到最大进化次数时，结束遗传算法优化过程，得到最优参数，进行步骤七，否则执行步骤五。步骤七：将最优参数赋到神经网络。步骤八：训练神经网络更新参数。步骤九：达到训练次数，则用训练后网络进行辨识，否则执行步骤八。本方法不需要定位力精确数学模型，不会产生由于数学模型不准确而导致的理论误差。
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公开(公告)号：CN105005324A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201510475130.5
申请日：2015-08-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D3/12
Abstract: 一种二次平台的水平跟踪系统，本发明属于平台动态跟踪的技术领域。它的第一滚轮总成、第二滚轮总成、第三滚轮总成和第四滚轮总成都安装在平台的底面上，使第一滚轮总成的滚动方向与第二滚轮总成的滚动方向、第三滚轮总成的滚动方向、第四滚轮总成的滚动方向互相垂直，气垫平台设置在平台的上平面上，陀螺仪传感器设置在气垫平台上，第一激光位移传感器、第二激光位移传感器、第三激光位移传感器、第四激光位移传感器圆周均匀分布在平台上。本发明是利用激光位移传感器测距和陀螺仪传感器测角速度结合的方式，这种测量方法精度高、结构简单，解决了传统的二次平台在跟踪六自由度气浮台-轨道器时，实时性差，结构复杂，精度不够高的问题。
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