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公开(公告)号：CN114112100A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111623400.4
申请日：2021-12-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及温度传感技术领域，尤其涉及一种温度敏感触头及分布式温度传感系统，该温度敏感触头包括金刚石基板、金属衬底和壳体；金刚石基板具有NV色心；金属衬底为周期性纳米金属结构，铺设在金刚石基板一侧的表面上，构成金刚石超表面，用于增强637nm波长等离子体信号；壳体套设在金刚石基板和金属衬底的外部，且设有输入光纤耦合口、输出光纤耦合口和波导耦合口；输入光纤耦合口和输出光纤耦合口均设置在金属衬底远离金刚石基板的一侧，且与金属衬底之间存在谐振空腔；波导耦合口为空心结构，穿入壳体，设于金刚石基板和金属衬底的一端。本发明可实现对温度的精准探测，且集成度高。
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公开(公告)号：CN112281133B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202011172175.2
申请日：2020-10-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C14/54
Abstract: 本发明涉及一种谐振子膜层厚度分布及均匀程度修正方法和半球谐振子制造方法，该谐振子膜层厚度分布及均匀程度修正方法包括：获取镀膜设备和镀膜工件的三维数据；根据获取的三维数据建立镀膜工件及有效镀膜区域的三维模型，对镀膜工件待镀膜的镀膜面沿径向分布划分网格；利用有限元仿真获得不同工艺参数对应的镀膜工件即半球谐振子在镀膜表面的膜层厚度分布及均匀程度数据；在镀膜过程中，采集镀膜厚度参数，动态分析膜层的厚度分布及均匀程度，依据已获得的膜层厚度及均匀程度结果修正镀膜的工艺参数，使膜层厚度分布均匀程度不断提高。采用本发明能够快速实现半球谐振子所需的均匀镀膜，并提高实际镀膜过程中产品的质量。
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公开(公告)号：CN111276277B
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN202010091737.4
申请日：2020-02-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种具有红外透明导电功能的窗口，属于红外光学材料领域及电子材料领域。本发明是要解决现有的红外透明导电功能的窗口无法兼顾电磁屏蔽和高红外透过率性能的技术问题。本发明的具有红外透明导电功能的窗口是由衬底和依次生长于所述衬底上的透明导电层和红外增透层组成。本发明所述的具有红外透明导电功能的窗口在0.78μm～2.5μm波长范围内透过率不低于80％，在2.5μm～5μm波长范围内透过率不低于75％，方块电阻不大于100Ω/sq，对1GHz～18GHz电磁波的屏蔽效率大于10dB。本发明应用于制备一种具有红外透明导电功能的窗口。
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公开(公告)号：CN112281133A
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN202011172175.2
申请日：2020-10-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C14/54
Abstract: 本发明涉及一种谐振子膜层厚度分布及均匀程度修正方法和半球谐振子制造方法，该谐振子膜层厚度分布及均匀程度修正方法包括：获取镀膜设备和镀膜工件的三维数据；根据获取的三维数据建立镀膜工件及有效镀膜区域的三维模型，对镀膜工件待镀膜的镀膜面沿径向分布划分网格；利用有限元仿真获得不同工艺参数对应的镀膜工件即半球谐振子在镀膜表面的膜层厚度分布及均匀程度数据；在镀膜过程中，采集镀膜厚度参数，动态分析膜层的厚度分布及均匀程度，依据已获得的膜层厚度及均匀程度结果修正镀膜的工艺参数，使膜层厚度分布均匀程度不断提高。采用本发明能够快速实现半球谐振子所需的均匀镀膜，并提高实际镀膜过程中产品的质量。
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公开(公告)号：CN112048633A
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN202010982694.9
申请日：2020-09-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种采用增材制造技术制备铝合金金刚石复合材料的方法，属于复合材料制备技术领域。本发明为了解决在制备过程中金刚石、铝合金界面结合差等问题，将天然金刚石依次用去离子水和酒精进行超声清洗，盐酸中搅拌30min，烘干；将金刚石与钛粉按照5‑10：1的摩尔比均匀混合，随后加入氯化钠，在10‑3MPa的真空条件下反应1.5‑2.5小时；将表面处理过的金刚石与铝合金粉体在氩气环境下搅拌混合20‑30min；在氩气保护气氛中，通过选取匹配的激光条件与钨基板预热，进行反应；将样件在300‑350℃下退火2小时，随炉冷却。本发明较好的解决了金刚石和金属之间较差的界面、孔隙率高、金刚石在激光下碳化等问题，实现了铝合金金刚石复合材料的制备。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111690905A
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN202010589832.7
申请日：2020-06-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种多刺激响应型瞬时强光防护复合薄膜及其制备方法，本发明涉及一种瞬时强光防护复合薄膜及其制备方法。本发明解决现有的聚合物/液晶材料及器件在中红外波段防护效果不理想及稳定性较差的问题。复合薄膜由两侧表层及电致变色夹层组成，所述的两侧表层由外至内依次为衬底、热致变色层及透明导电层，所述的电致变色夹层由两侧的液晶分子取向层和中间的聚合物稳定液晶膜层组成；方法：一、制备热致变色层；二、制备透明导电层；三、制备液晶分子取向层；四、制备液晶均相混合液；五、制备电致变色层。本发明用于多刺激响应型瞬时强光防护复合薄膜及其制备。
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公开(公告)号：CN110106496A
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201910537327.5
申请日：2019-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C16/455
Abstract: 一种半球形/共形内外表面异质膜层沉积的原子层沉积系统及其使用方法，涉及一种原子层沉积系统及其使用方法。本发明是要解决现有的原子层沉积系统只能进行平面衬底的膜层制备或非平面衬底所有表面膜层的制备，无法对半球形/共形内外表面进行异质膜层沉积的技术问题。本发明采用了前驱体换向阀、外壁前驱体进气口及内壁前驱体进气口，通过前驱体换向阀的调节，可以使前驱体只进入球形/共形基底内表面或外表面，从而实现在内外表面单独沉积，能够有效解决内外表面无法生长异质膜层的难题。本发明实现了在球形/共形内外表面均匀生长膜层，实现了基体上膜厚的不均匀性小于1％(Al2O3薄膜)。
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公开(公告)号：CN115755258A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211434779.9
申请日：2022-11-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种中远红外宽波段高透过红外窗口及其制备方法，涉及一种红外窗口及其制备方法。本发明是要解决现有的多光谱ZnS红外窗口平均透过率只有60％左右，无法满足应用需求的技术问题。本发明利用高低折射率搭配的原则，选用高折射率ZnS和低折射率YF3为基础的膜系材料，考虑到红外窗口需要具备抗极端环境的高机械性能，在膜系最外层采用高硬膜Y2O3为保护层。本发明的中远红外宽波段高透过红外窗口兼顾了中远红外波段高透过，在3μm～12μm范围内的透过率高于85％，具有良好的中远红外光学性能。该红外窗口的实现可为飞行器宽波段工作提供技术保障，极大程度地提升飞行器的服役性能。
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公开(公告)号：CN114112973A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111476732.4
申请日：2021-12-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/3504
Abstract: 本发明提供了一种基于高载流子浓度导电薄膜的气体传感架构及传感器，该气体传感架构包括：第一气体吸附层、第二气体吸附层、周期微纳米金属层、支撑层和功能层；功能层为透明导电薄膜，透明导电薄膜的载流子浓度≥1×1019cm‑3；第一气体吸附层、周期微纳米金属层、支撑层和功能层依次叠加组成光学模块；光学模块用于利用外部的红外光源与探测器对目标待检测气体的浓度进行检测；其中，光学模块中的功能层用于反射红外光；第二气体吸附层和功能层组成电学模块；其中，电学模块用于根据功能层的阻值变化，利用外部的检测器对目标待检测气体的浓度进行检测。本发明提供的基于气体传感架构的传感器具有高灵敏度和大量程。
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公开(公告)号：CN111560602B
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202010287655.7
申请日：2020-04-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/40 , C23C14/35 , C23C14/08
Abstract: 一种氧化物薄膜表面复合的优化方法，涉及一种氧化物薄膜表面的优化方法。本发明是要解决传统薄膜制备方法不可避免的存在针孔、晶粒与晶粒之间存在缝隙，粗糙度比较大等特点，造成了一定程度上的湿热耐久性差能，而原子层沉积技术存在制备薄膜沉积速度低、成本高等缺点，不适应于完全采用原子层沉积制备厚度较大的薄膜的技术问题。本发明建立复合结构，通过修饰层的制备消除了结构层表面的针孔，使其表面缺陷得到补偿，化学成分更加的均一，表面势分布梯度更小，提高了膜层表面质量。本发明普适性好、设备要求低、制备简单、重复性好的优点，具有较好的推广价值。兼顾现有膜层制备技术的结构功能特性，且价格低廉，适于工业化生产。
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