一种Cu-BTC单晶电阻式湿度传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN118961811A

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202411260884.4

    申请日:2024-09-10

    Abstract: 本发明公开了一种Cu‑BTC单晶电阻式湿度传感器及制备方法,属于MOFs材料传感领域。本发明的Cu‑BTC单晶电阻式湿度传感器由超快激光对Cu‑BTC单晶表面诱导加工产生的平面叉指电极和叉指指间未加工的Cu‑BTC单晶材料组成,平面电极通过以下制备:S1:制备待加工面的长宽均大于等于100μm的Cu‑BTC单晶样品;S2:利用超快激光加工装置在设定激光加工参数下对步骤S1中的Cu‑BTC单晶样品进行超快激光诱导加工,得到平面叉指电极;其中,超快激光波长为1030 nm,脉宽t为1.2 ps≤t≤10 ps,加工功率P为3 mW≤P≤8 mW,扫描速度v为200μm/s≤v≤360μm/s,加工间隔为1μm,聚焦光斑为4μm。本发明的Cu‑BTC单晶电阻式湿度传感器对湿度的检测范围可达5%~90%RH,响应时间最快可达2 s,具有良好的选择性、稳定性和循环性。

    一种耦合组件及含有该组件的水导激光加工装置

    公开(公告)号:CN118926681A

    公开(公告)日:2024-11-12

    申请号:CN202411327457.3

    申请日:2024-09-23

    Abstract: 本发明提供了一种耦合组件及含有该组件的水导激光加工装置,涉及水导激光加工技术领域。通过在耦合组件的主体内部开设沙漏状的匀化腔,并在主体侧壁上开设进气孔,进气孔从两侧将气体通入匀化腔的细腰段,气体受到水射流与腔壁的阻挡后形成两股流向相反的纺锤形涡流,以此削弱气流对水射流的干扰作用。上方涡流紧贴水射流向上流动,抑制水射流的表面波向下传输;下方涡流沿水射流向下运动而后向上回旋,提升对反冲水的压制作用,能够在提升水射流稳定性的同时延长稳定长度。在含有上述耦合组件的水导激光加工装置中,两股气流产生的不同作用同时叠加,使耦合组件在耗能不变的条件下大幅度提高加工质量与效率,以满足大深径比工件的加工需求。

    一种超声振动辅助水助激光加工系统及方法

    公开(公告)号:CN115555704A

    公开(公告)日:2023-01-03

    申请号:CN202211283921.4

    申请日:2022-10-20

    Abstract: 本发明提供了一种超声振动辅助水助激光加工系统及方法。本系统包括:激光发生机构、射流发生机构、水助激光耦合机构、加工工作台和超声振动机构;激光发生机构用于发射激光;射流发生机构用于产生高压水束;激光发生机构和射流发生机构分别连接于水助激光耦合机构,水助激光耦合机构用于将激光与高压水束耦合以形成水助激光复合能束,水助激光复合能束作用于工件上以加工工件;超声振动机构设置于加工工作台上,用于产生超声波,超声波作用于工件上,通过超声振动驱除工件的加工槽内部及工件表面的积水。本技术方案的有益效果是:在工件加工过程中通过超声振动驱除工件内部及表面积水,以达到更好的加工效果。

    一种光纤激光与管电极电解同步复合加工装置及方法

    公开(公告)号:CN115255526A

    公开(公告)日:2022-11-01

    申请号:CN202210942837.2

    申请日:2022-08-08

    Abstract: 本发明涉及精密加工技术领域,具体提供了一种光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置及方法,在其装置中,包括抽吸泵和抽吸式管电极;所述抽吸式管电极包括从外至内依次套接设置的外金属管电极、中空光纤和内金属管电极;所述内金属管电极内部设有电解液流入通道;光源发出的激光束通过所述中空光纤导光。其中,抽吸泵通过连接口与外金属管电极相连接,以便于抽吸泵对外电解液流出通道中的电解液进行抽吸,外电解液流出通道中的电解液少数溢出排出,从而有利于将加工间隙内的废液、产物和气泡及时排出,有效地提高作用于工件表面的激光能量,实现高效高质地去除材料,有利于加工大深径比小孔。

    一种柔性非对称电极的超快激光加工方法

    公开(公告)号:CN114054969A

    公开(公告)日:2022-02-18

    申请号:CN202111446776.2

    申请日:2021-11-30

    Abstract: 本发明提供了一种柔性非对称电极的超快激光加工方法,包括:固定第一电极基底至超快激光加工装置的工作台上;通过所述超快激光加工装置的超快激光器加工所述第一电极基底;固定第二电极基底至所述工作台上;通过所述超快激光器加工所述第二电极基底;组装所述第一电极基底和所述第二电极基底。本发明通过超快激光加工第一电极基底和第二电极基底,并通过组装第一电极基底和第二电极基底得到柔性非对称电极,发挥了激光加工质量高、精度高、效率高等优势,实现了柔性非对称电极加工的高质量、高精度、高效率;且通过先后分别加工第一电极基底和第二电极基底,保证了本方法的顺利实施以及柔性非对称电极的顺利制备。

    一种水导引激光加工工件的方法、系统及其设备

    公开(公告)号:CN110125532B

    公开(公告)日:2021-05-18

    申请号:CN201910403150.X

    申请日:2019-05-15

    Abstract: 本发明提供了一种水导引激光加工工件的方法、系统及其设备,所述水导引激光加工工件的方法包括:以下步骤:将待加工工件置于工作台上;输出水射流导引激光束;对待加工工件进行扫描加工;所述对待加工工件进行扫描加工具体包括以下步骤:将水射流导引激光束在所述工件的待加工位置形成聚焦点;控制所述聚焦点与所述工件产生相对运动,使所述聚焦点沿预设扫描轨迹在所述工件上进行往复进给扫描。本发明的有益效果:采用扫描加工的激光加工方式,并在待加工位置进行往复的进给扫描加工,以此对待加工工件的同一个区域进行多次、分层次的扫描加工,以提高工件的加工精度,实现较高的加工质量,同时能够满足深度较大的加工需求。

    一种水导引激光加工工件的方法、系统及其设备

    公开(公告)号:CN110125540A

    公开(公告)日:2019-08-16

    申请号:CN201910404442.5

    申请日:2019-05-15

    Abstract: 本发明提供了一种水导引激光加工工件的方法、系统及其设备,所述水导引激光加工工件的方法包括:输出激光束;将激光束引导进水流中,形成水射流导引激光束;将所述水射流导引激光束外部包裹气流,形成具有气流保护层的水射流导引激光束;对工件照射具有气流保护层的水射流导引激光束进行激光加工。本发明的有益效果:能够延长在激光加工中水射流导引激光束的稳定工作长度,抑制激光加工过程中产生的热效应的累积,以及防止加工工件中熔渣的堆积和加工区域的水层的淤积。

    一种脉冲组合的飞秒-纳秒激光加工系统及加工方法

    公开(公告)号:CN107953027A

    公开(公告)日:2018-04-24

    申请号:CN201810033949.X

    申请日:2018-01-15

    Abstract: 本发明公开一种脉冲组合的飞秒-纳秒激光加工系统及加工方法,其系统包括,飞秒-纳秒双脉冲激光系统、监视系统、激光工作系统、电源系统,所述飞秒-纳秒双脉冲激光系统产生具有脉冲延迟的飞秒-纳秒双脉冲激光,并传送到所述激光工作系统中对工件进行加工,所述监视系统位于所述飞秒-纳秒双脉冲激光系统和所述激光工作系统之间,用于检测飞秒-纳秒双脉冲激光的实际脉冲延迟,所述电源系统为上述所有系统供电。本发明大幅度提高了半导体材料的加工效率,对具有一定脉冲延迟的飞秒-纳秒双脉冲激光波形和激光光斑的聚焦情况和加工过程进行实时观测,确保加工的精确性和半导体材料的加工质量。

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