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公开(公告)号：CN117754145A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311871353.4
申请日：2023-12-31
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
IPC: B23K26/362 , B23K26/352 , B23K26/0622 , B23K26/064 , B23K26/06
Abstract: 本发明涉及激光加工技术领域，并提供一种基于激光光束时空调制的高效刻蚀方法，控制飞秒激光器输出飞秒激光光束，通过激光偏振调整系统对所述飞秒激光光束进行准直调节；控制脉冲整形器调节所述飞秒激光光束的脉冲延时和能量比参数，以对所述飞秒激光光束进行时域整形，且通过第一激光反射镜组将经过所述脉冲整形器时域整形后的所述飞秒激光光束入射到空间光调制器上；通过所述空间光调制器对所述飞秒激光光束进行空间整形，以形成时空整形飞秒激光脉冲；调整第一激光反射镜组和第二激光反射镜组的空间角度，以将所述时空整形飞秒激光脉冲聚焦到工件的表面；控制机械快门的时间和工作平台的运动，以对所述工件进行激光加工作业。
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公开(公告)号：CN117655508A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202311874047.6
申请日：2023-12-31
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
IPC: B23K26/00 , B23K26/362 , B23K26/064 , B23K26/0622 , B23P23/00
Abstract: 本发明涉及激光加工技术领域，并提供一种纳皮秒双脉冲激光刻蚀与抛光复合加工装置，纳皮秒双脉冲激光刻蚀与抛光复合加工装置，包括脉冲序列调制器、皮秒激光器、皮秒激光偏振调整系统、皮秒激光反射镜组、纳秒激光器、纳秒激光偏振调整系统、偏振合光镜、光路切换系统、光路调整系统和工作台，皮秒激光器和纳秒激光器分别与脉冲序列调制器电连接；皮秒激光器、皮秒激光偏振调整系统和皮秒激光反射镜组沿皮秒激光脉冲光束方向排列设置，皮秒激光反射镜组与所述偏振合光镜相对设置；偏振合光镜、光路切换系统和光路调整系统沿偏振合光镜输出的综合激光光束方向排列设置；本发明可实现不同材料的高质量和高精度的加工作业。
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公开(公告)号：CN114054969A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202111446776.2
申请日：2021-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/60 , B23K26/064 , B23K26/03
Abstract: 本发明提供了一种柔性非对称电极的超快激光加工方法，包括：固定第一电极基底至超快激光加工装置的工作台上；通过所述超快激光加工装置的超快激光器加工所述第一电极基底；固定第二电极基底至所述工作台上；通过所述超快激光器加工所述第二电极基底；组装所述第一电极基底和所述第二电极基底。本发明通过超快激光加工第一电极基底和第二电极基底，并通过组装第一电极基底和第二电极基底得到柔性非对称电极，发挥了激光加工质量高、精度高、效率高等优势，实现了柔性非对称电极加工的高质量、高精度、高效率；且通过先后分别加工第一电极基底和第二电极基底，保证了本方法的顺利实施以及柔性非对称电极的顺利制备。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114054970A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202111446811.0
申请日：2021-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/60 , B23K26/064 , B23K26/03
Abstract: 本发明提供了一种柔性双面电极的超快激光加工方法，包括：固定柔性电极基底至超快激光加工装置的工作台上；开启所述超快激光加工装置的超快激光器以加工要求输出参数输出超快激光；调整所述超快激光至所述柔性电极基底的有效作用位置，对所述柔性电极基底进行同步双面加工。本发明通过超快激光对柔性电极基底进行同步双面加工，以在柔性电极基底上下表面同步构筑电极，从而得到柔性双面电极，以用于制备微储能器件等，实现了柔性双面电极加工的高质量、高精度、高效率；且通过在柔性电极基底上下表面同步构筑电极，有效提升了柔性双面电极及具有柔性双面电极的微储能器件的集成度、加工效率及电极单位面积输出的能量密度。
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公开(公告)号：CN113020798B
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN202110297092.4
申请日：2021-03-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23K26/342 , B23K26/064 , B33Y30/00 , B33Y10/00
Abstract: 本发明提供一种飞秒激光增减材加工系统及加工方法，属于激光加工技术领域，所述飞秒激光增减材加工系统包括激光发射模块和激光工作模块，激光工作模块包括光路调整组件、光路整合组件和工件加工组件，激光发射模块发出的激光依次经过光路整形组件和光路调整组件后到达工件加工组件对工件加工组件内的待加工工件进行激光加工；工件加工组件包括槽体和设置于槽体内部的隔离件，隔离件将槽体分成储液槽和加工槽，且隔离件与槽体的底部设置有连通孔，且加工槽的侧壁设置有适于排液的泄流孔，泄流孔与槽体的底部的距离大于待加工工件与槽体底部的距离。本发明能够获得表面带有功能性涂层的微结构，工件加工区域的表面质量好，且加工效果的稳定性。
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公开(公告)号：CN113020798A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202110297092.4
申请日：2021-03-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23K26/342 , B23K26/064 , B33Y30/00 , B33Y10/00
Abstract: 本发明提供一种飞秒激光增减材加工系统及加工方法，属于激光加工技术领域，所述飞秒激光增减材加工系统包括激光发射模块和激光工作模块，激光工作模块包括光路调整组件、光路整合组件和工件加工组件，激光发射模块发出的激光依次经过光路整形组件和光路调整组件后到达工件加工组件对工件加工组件内的待加工工件进行激光加工；工件加工组件包括槽体和设置于槽体内部的隔离件，隔离件将槽体分成储液槽和加工槽，且隔离件与槽体的底部设置有连通孔，且加工槽的侧壁设置有适于排液的泄流孔，泄流孔与槽体的底部的距离大于待加工工件与槽体底部的距离。本发明能够获得表面带有功能性涂层的微结构，工件加工区域的表面质量好，且加工效果的稳定性。
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公开(公告)号：CN114054969B
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202111446776.2
申请日：2021-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/60 , B23K26/064 , B23K26/03
Abstract: 本发明提供了一种柔性非对称电极的超快激光加工方法，包括：固定第一电极基底至超快激光加工装置的工作台上；通过所述超快激光加工装置的超快激光器加工所述第一电极基底；固定第二电极基底至所述工作台上；通过所述超快激光器加工所述第二电极基底；组装所述第一电极基底和所述第二电极基底。本发明通过超快激光加工第一电极基底和第二电极基底，并通过组装第一电极基底和第二电极基底得到柔性非对称电极，发挥了激光加工质量高、精度高、效率高等优势，实现了柔性非对称电极加工的高质量、高精度、高效率；且通过先后分别加工第一电极基底和第二电极基底，保证了本方法的顺利实施以及柔性非对称电极的顺利制备。
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公开(公告)号：CN114054970B
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202111446811.0
申请日：2021-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/60 , B23K26/064 , B23K26/03
Abstract: 本发明提供了一种柔性双面电极的超快激光加工方法，包括：固定柔性电极基底至超快激光加工装置的工作台上；开启所述超快激光加工装置的超快激光器以加工要求输出参数输出超快激光；调整所述超快激光至所述柔性电极基底的有效作用位置，对所述柔性电极基底进行同步双面加工。本发明通过超快激光对柔性电极基底进行同步双面加工，以在柔性电极基底上下表面同步构筑电极，从而得到柔性双面电极，以用于制备微储能器件等，实现了柔性双面电极加工的高质量、高精度、高效率；且通过在柔性电极基底上下表面同步构筑电极，有效提升了柔性双面电极及具有柔性双面电极的微储能器件的集成度、加工效率及电极单位面积输出的能量密度。
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