-
公开(公告)号:CN102248606A
公开(公告)日:2011-11-23
申请号:CN201110167099.0
申请日:2011-06-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B28D5/00
Abstract: 本发明提供一种利用紫外激光划切蓝宝石晶圆表面的方法,包括以下步骤:将蓝宝石晶圆固定在紫外激光工作台上,将产生外电场的极板置于晶圆之上,并与晶圆保持一定距离;调整工作台,使聚焦镜头与蓝宝石晶圆之间发生相对移动,直至晶圆上表面在显示器上清晰成像;在激光加工开始前,将极板调整为水平,并使激光位于两极板中间;根据紫外激光的参数调整极板间距与电源电压;紫外激光通过聚焦镜,聚焦到蓝宝石晶圆表面,开激光,并沿水平方向扫描蓝宝石晶圆,对晶圆表面进行加工;通过调整直流电源电压及极板的间距产生适当的静电场场强,使加工过程中产生的带电颗粒在静电场的作用下,被吸附到极板上。本发明可以改善蓝宝石衬底的表面质量,提高蓝宝石晶圆的良品率。
-
公开(公告)号:CN106345857B
公开(公告)日:2019-03-08
申请号:CN201610865774.X
申请日:2016-09-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B21D5/00
Abstract: 本发明提供一种平面分段逼近圆弧的方法,其适用于设置激光板材成形、板材局部压弯成形等成形技术中的成形路径。基于正余弦定理及三角几何关系将平面或直线特征分段逼近为给定曲率的圆弧。本发明提供的平面分段逼近圆弧的方法,将平面或直线事先进行分段,分段方式或是均匀的分段或是任意的分段,然后根据要逼近的圆弧的曲率半径,基于正余弦定理及三角几何关系计算出弯曲每一分割段后平面或直线的端部及每个分段节点相对于平面或直线初始位置升高的高度,进而对每一分割段进行弯曲逼近圆弧,最终达到逼近给定曲率的圆弧的目的,可以将激光成形技术与数学理论模型建立联系,对提高成形精度具有很好的指导意义。
-
公开(公告)号:CN108406098A
公开(公告)日:2018-08-17
申请号:CN201810186259.8
申请日:2018-03-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23K26/0622 , B23K26/362 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开一种脉冲调控的飞秒激光-纳秒电解射流复合加工系统及方法,系统包括脉冲序列调节器、飞秒激光子系统、可见光透射激光反射镜、激光束与射流同轴监测子系统、反射式物镜、供液子系统、纳秒脉冲供电子子系统、射流发生装置、工作台、示波器;通过飞秒激光子系统进行激光烧蚀、纳秒脉冲供电子系统进行电解腐蚀、射流发生装置进行射流冲刷;三种作用不同的时序分布对所述工作台上的工件进行加工。本发明可针对不同材料进行加工,且加工出的产品质量高,效率高,满足用户的实际需求。
-
公开(公告)号:CN106345857A
公开(公告)日:2017-01-25
申请号:CN201610865774.X
申请日:2016-09-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B21D5/00
CPC classification number: B21D5/00
Abstract: 本发明提供一种平面分段逼近圆弧的方法,其适用于设置激光板材成形、板材局部压弯成形等成形技术中的成形路径。基于正余弦定理及三角几何关系将平面或直线特征分段逼近为给定曲率的圆弧。本发明提供的平面分段逼近圆弧的方法,将平面或直线事先进行分段,分段方式或是均匀的分段或是任意的分段,然后根据要逼近的圆弧的曲率半径,基于正余弦定理及三角几何关系计算出弯曲每一分割段后平面或直线的端部及每个分段节点相对于平面或直线初始位置升高的高度,进而对每一分割段进行弯曲逼近圆弧,最终达到逼近给定曲率的圆弧的目的,可以将激光成形技术与数学理论模型建立联系,对提高成形精度具有很好的指导意义。
-
公开(公告)号:CN103785956A
公开(公告)日:2014-05-14
申请号:CN201410047588.6
申请日:2014-02-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23K26/382 , B23K26/046
CPC classification number: B23K26/702 , B23K26/046 , B23K26/382
Abstract: 具有自动检测球体最高点位置的激光打孔设备及打孔方法。目前在激光打孔还主要停留在人为的操作下,感知系统检测被加工材料的位置,凭借操作者的视觉来感知聚焦位置进而手动的调整运动控制系统到达指定的位置,进行激光打孔。具有自动检测球体最高点位置的激光打孔设备,包括:打孔机,高分辨同轴CCD传感器、图像采集卡构成自动检测系统,所述的自动检测系统连接计算机,所述的计算机装有高精度运动控制卡,所述的高精度运动控制卡连接所述的打孔机的步进电机,所述的计算机装有图像处理软件,通过自动检测系统迅速精确的聚焦球体的最高点位置。本发明位于球体最高点位置的激光打孔。
-
公开(公告)号:CN101787424A
公开(公告)日:2010-07-28
申请号:CN201010102067.8
申请日:2010-01-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于管道机器人的细长管内表面激光强化处理装置,包括YAG固体激光器(2)、光纤导光系统、管内爬行机器人(5)及计算机控制系统,利用管道机器人带动光纤导光系统对管材内表面进行强化处理,以此来提高细长管内表面在各种情况下的硬度、耐磨性、疲劳强度、耐蚀性。采用轮式行走机构的管道爬行机器人在结构上保证了可靠的自定心性,保证在运行时不出现爬行、卡住不动等现象。
-
公开(公告)号:CN107953027A
公开(公告)日:2018-04-24
申请号:CN201810033949.X
申请日:2018-01-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23K26/062
Abstract: 本发明公开一种脉冲组合的飞秒-纳秒激光加工系统及加工方法,其系统包括,飞秒-纳秒双脉冲激光系统、监视系统、激光工作系统、电源系统,所述飞秒-纳秒双脉冲激光系统产生具有脉冲延迟的飞秒-纳秒双脉冲激光,并传送到所述激光工作系统中对工件进行加工,所述监视系统位于所述飞秒-纳秒双脉冲激光系统和所述激光工作系统之间,用于检测飞秒-纳秒双脉冲激光的实际脉冲延迟,所述电源系统为上述所有系统供电。本发明大幅度提高了半导体材料的加工效率,对具有一定脉冲延迟的飞秒-纳秒双脉冲激光波形和激光光斑的聚焦情况和加工过程进行实时观测,确保加工的精确性和半导体材料的加工质量。
-
公开(公告)号:CN103769755B
公开(公告)日:2016-11-30
申请号:CN201410047593.7
申请日:2014-02-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23K26/402
Abstract: 三明治结构基板的双束激光热裂切割加工方法及装置,激光划槽无法避免在机械施压的过程中产生的碎屑甚至材料的破裂。本发明方法包括:将工件通过专用夹具垂直或水平装夹在工作台上;调整激光光路及激光头转向装置,通过调整两激光头的位置和姿态,保证二路激光束同轴;移动工作台到加工工位,利用同轴指示光束瞄准定位工件,将激光焦斑微调到加工位置;打开光闸使双侧激光对工件同时进行加工;控制工作台带动工件运动,使激光按照预定轨迹加热切割三明治结构基板材料,从而达到所需的加工轨迹;清理加工余料,取下加工表面无裂纹的工件。本发明用于基板的双束激光热裂切割。
-
公开(公告)号:CN106001946A
公开(公告)日:2016-10-12
申请号:CN201610480092.7
申请日:2016-06-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: B23K26/60 , B23K26/00 , B23K26/702
Abstract: 本发明公开了一种轻量化结构板的激光成形方法,包括使用变能量的激光扫描轻量化结构板实现对轻量化结构板的成形。本发明的变能量激光成形方法,使得轻量化结构件成形后回弹小,成形周期短,成形速度快,大大提高了轻量化结构板的弯曲成形效率,并降低了成形成本。
-
公开(公告)号:CN103886166A
公开(公告)日:2014-06-25
申请号:CN201410162153.6
申请日:2014-04-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 一种基于零件结构几何特征分解的增材制造与去除加工混合的高效加工方法,由零件结构几何特征分析与加工工艺分解、加工轨迹规划与仿真和粉末激光烧结的增材制造与数控切削加工混合的复杂结构零件加工一体化制造三个步骤组成。本发明结合数字化制造、数控切削加工及先进增材制造技术,通过零件几何特征分析确定结构复杂度与制造方式,制定分解加工工艺,利用数字化制造技术实现去除与增材制造的加工轨迹规划与仿真,采用先进粉末激光烧结的增材制造与数控切削加工混合的一体化加工实现复杂结构零件的制造,这是一种高效、高精度的复杂结构零件加工制造的新方法。
-
-
-
-
-
-
-
-
-