公开(公告)号：CN117754145A

公开(公告)日：2024-03-26

申请号：CN202311871353.4

申请日：2023-12-31

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)

Inventor： 杨立军 ,  刘亚楠 ,  丁烨 ,  王联甫

IPC: B23K26/362 ,  B23K26/352 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/064 ,  B23K26/06

Abstract: 本发明涉及激光加工技术领域，并提供一种基于激光光束时空调制的高效刻蚀方法，控制飞秒激光器输出飞秒激光光束，通过激光偏振调整系统对所述飞秒激光光束进行准直调节；控制脉冲整形器调节所述飞秒激光光束的脉冲延时和能量比参数，以对所述飞秒激光光束进行时域整形，且通过第一激光反射镜组将经过所述脉冲整形器时域整形后的所述飞秒激光光束入射到空间光调制器上；通过所述空间光调制器对所述飞秒激光光束进行空间整形，以形成时空整形飞秒激光脉冲；调整第一激光反射镜组和第二激光反射镜组的空间角度，以将所述时空整形飞秒激光脉冲聚焦到工件的表面；控制机械快门的时间和工作平台的运动，以对所述工件进行激光加工作业。

公开(公告)号：CN117655535A

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN202311866977.7

申请日：2023-12-31

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)

Inventor： 杨立军 ,  刘豪 ,  丁烨 ,  刘亚楠

IPC: B23K26/352 ,  B23K26/06 ,  B23K26/062 ,  B23K26/0622

Abstract: 本发明涉及激光加工技术领域，并提供一种基于激光光束时空调制的高效抛光方法，包括：控制飞秒激光器输出飞秒激光；调整飞秒激光光路整形系统、飞秒激光偏振调整系统，使得飞秒激光脉冲平行入射到偏振合光镜中心；调整光路调整镜组中的空间角度，使得飞秒激光聚焦到工件的表面；观察示波器上显示的双激光脉冲延时序列与设定是否相同；若示波器上显示双激光脉冲延时序列与设定相同，则移动工作台面使得工件位于加工位置；若不相同，则断开脉冲序列调制器与飞秒激光器的连接，重置延时光反射镜位移台与参考光之间的距离；本发明通过时空调制的方法，得到了具有矩形光斑的双脉冲延时激光，从而实现对加工深度的精准控制。

公开(公告)号：CN117655508A

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN202311874047.6

申请日：2023-12-31

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)

Inventor： 杨立军 ,  王联甫 ,  丁烨

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/362 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0622 ,  B23P23/00

Abstract: 本发明涉及激光加工技术领域，并提供一种纳皮秒双脉冲激光刻蚀与抛光复合加工装置，纳皮秒双脉冲激光刻蚀与抛光复合加工装置，包括脉冲序列调制器、皮秒激光器、皮秒激光偏振调整系统、皮秒激光反射镜组、纳秒激光器、纳秒激光偏振调整系统、偏振合光镜、光路切换系统、光路调整系统和工作台，皮秒激光器和纳秒激光器分别与脉冲序列调制器电连接；皮秒激光器、皮秒激光偏振调整系统和皮秒激光反射镜组沿皮秒激光脉冲光束方向排列设置，皮秒激光反射镜组与所述偏振合光镜相对设置；偏振合光镜、光路切换系统和光路调整系统沿偏振合光镜输出的综合激光光束方向排列设置；本发明可实现不同材料的高质量和高精度的加工作业。

公开(公告)号：CN117655512A

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN202311868936.1

申请日：2023-12-31

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)

Inventor： 杨立军 ,  李靖怡 ,  周赫 ,  丁烨

IPC: B23K26/06 ,  B23K26/70 ,  B23K26/062

Abstract: 本发明提供了一种纳皮秒激光并行多光束加工方法及加工系统,该纳皮秒激光并行多光束加工方法包括如下步骤：打开纳皮秒激光并行多光束加工系统中的各装置；控制光束能量调整系统的空间角度，以将皮秒激光垂直聚焦到两个工件；控制光束能量调整系统的空间角度，以将纳秒激光垂直聚焦到两个工件；控制皮秒激光器和纳秒激光器同时启动，以观察示波器上显示的皮秒‑纳秒激光脉冲序列与设定是否相同；判断示波器上显示皮秒激光脉冲和纳秒激光脉冲的脉冲序列与预设脉冲序列是否相同，并根据判断结果，选择是否移动两个工作台；本发明通过调控多光束动态调制器对皮秒激光和纳秒激光的脉冲能量比例和延迟时间调制，最终实现不同材料的高质高精的加工。

公开(公告)号：CN118961811A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202411260884.4

申请日：2024-09-10

Applicant: 哈尔滨工业大学 ,  河南省科学院激光制造研究所

Inventor： 杨立军 ,  黄东升 ,  江浩庆 ,  郭帅龙 ,  丁烨 ,  武辉军 ,  李维 ,  王超峰

IPC: G01N27/04

Abstract: 本发明公开了一种Cu‑BTC单晶电阻式湿度传感器及制备方法，属于MOFs材料传感领域。本发明的Cu‑BTC单晶电阻式湿度传感器由超快激光对Cu‑BTC单晶表面诱导加工产生的平面叉指电极和叉指指间未加工的Cu‑BTC单晶材料组成，平面电极通过以下制备：S1：制备待加工面的长宽均大于等于100μm的Cu‑BTC单晶样品；S2：利用超快激光加工装置在设定激光加工参数下对步骤S1中的Cu‑BTC单晶样品进行超快激光诱导加工，得到平面叉指电极；其中，超快激光波长为1030 nm，脉宽t为1.2 ps≤t≤10 ps，加工功率P为3 mW≤P≤8 mW，扫描速度v为200μm/s≤v≤360μm/s，加工间隔为1μm，聚焦光斑为4μm。本发明的Cu‑BTC单晶电阻式湿度传感器对湿度的检测范围可达5%~90%RH，响应时间最快可达2 s，具有良好的选择性、稳定性和循环性。

公开(公告)号：CN118926681A

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202411327457.3

申请日：2024-09-23

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 丁烨 ,  王水旺 ,  杨立军 ,  谢万达 ,  冯然 ,  刘豪

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/14 ,  B23K26/146

Abstract: 本发明提供了一种耦合组件及含有该组件的水导激光加工装置，涉及水导激光加工技术领域。通过在耦合组件的主体内部开设沙漏状的匀化腔，并在主体侧壁上开设进气孔，进气孔从两侧将气体通入匀化腔的细腰段，气体受到水射流与腔壁的阻挡后形成两股流向相反的纺锤形涡流，以此削弱气流对水射流的干扰作用。上方涡流紧贴水射流向上流动，抑制水射流的表面波向下传输；下方涡流沿水射流向下运动而后向上回旋，提升对反冲水的压制作用，能够在提升水射流稳定性的同时延长稳定长度。在含有上述耦合组件的水导激光加工装置中，两股气流产生的不同作用同时叠加，使耦合组件在耗能不变的条件下大幅度提高加工质量与效率，以满足大深径比工件的加工需求。

公开(公告)号：CN115555704A

公开(公告)日：2023-01-03

申请号：CN202211283921.4

申请日：2022-10-20

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 杨立军 ,  谢万达 ,  王水旺 ,  霍浩东 ,  丁烨

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/146 ,  B23K26/70 ,  B23K26/064

Abstract: 本发明提供了一种超声振动辅助水助激光加工系统及方法。本系统包括：激光发生机构、射流发生机构、水助激光耦合机构、加工工作台和超声振动机构；激光发生机构用于发射激光；射流发生机构用于产生高压水束；激光发生机构和射流发生机构分别连接于水助激光耦合机构，水助激光耦合机构用于将激光与高压水束耦合以形成水助激光复合能束，水助激光复合能束作用于工件上以加工工件；超声振动机构设置于加工工作台上，用于产生超声波，超声波作用于工件上，通过超声振动驱除工件的加工槽内部及工件表面的积水。本技术方案的有益效果是：在工件加工过程中通过超声振动驱除工件内部及表面积水，以达到更好的加工效果。

公开(公告)号：CN115255526A

公开(公告)日：2022-11-01

申请号：CN202210942837.2

申请日：2022-08-08

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 丁烨 ,  许永波 ,  杨立军 ,  舒高旺 ,  胡韩

IPC: B23H5/00 ,  B23H5/10 ,  B23H5/14 ,  B23H7/38 ,  B23K26/064 ,  B23K26/03

Abstract: 本发明涉及精密加工技术领域，具体提供了一种光纤激光与抽吸式管电极电解同步复合加工装置及方法，在其装置中，包括抽吸泵和抽吸式管电极；所述抽吸式管电极包括从外至内依次套接设置的外金属管电极、中空光纤和内金属管电极；所述内金属管电极内部设有电解液流入通道；光源发出的激光束通过所述中空光纤导光。其中，抽吸泵通过连接口与外金属管电极相连接，以便于抽吸泵对外电解液流出通道中的电解液进行抽吸，外电解液流出通道中的电解液少数溢出排出，从而有利于将加工间隙内的废液、产物和气泡及时排出，有效地提高作用于工件表面的激光能量，实现高效高质地去除材料，有利于加工大深径比小孔。

公开(公告)号：CN114054969A

公开(公告)日：2022-02-18

申请号：CN202111446776.2

申请日：2021-11-30

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 丁烨 ,  杨立军 ,  王联甫

IPC: B23K26/362 ,  B23K26/60 ,  B23K26/064 ,  B23K26/03

Abstract: 本发明提供了一种柔性非对称电极的超快激光加工方法，包括：固定第一电极基底至超快激光加工装置的工作台上；通过所述超快激光加工装置的超快激光器加工所述第一电极基底；固定第二电极基底至所述工作台上；通过所述超快激光器加工所述第二电极基底；组装所述第一电极基底和所述第二电极基底。本发明通过超快激光加工第一电极基底和第二电极基底，并通过组装第一电极基底和第二电极基底得到柔性非对称电极，发挥了激光加工质量高、精度高、效率高等优势，实现了柔性非对称电极加工的高质量、高精度、高效率；且通过先后分别加工第一电极基底和第二电极基底，保证了本方法的顺利实施以及柔性非对称电极的顺利制备。

公开(公告)号：CN110125532B

公开(公告)日：2021-05-18

申请号：CN201910403150.X

申请日：2019-05-15

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 杨立军 ,  丁烨 ,  程柏 ,  李元 ,  李靖怡 ,  徐俊杰

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/146 ,  B23K26/046

Abstract: 本发明提供了一种水导引激光加工工件的方法、系统及其设备，所述水导引激光加工工件的方法包括：以下步骤：将待加工工件置于工作台上；输出水射流导引激光束；对待加工工件进行扫描加工；所述对待加工工件进行扫描加工具体包括以下步骤：将水射流导引激光束在所述工件的待加工位置形成聚焦点；控制所述聚焦点与所述工件产生相对运动，使所述聚焦点沿预设扫描轨迹在所述工件上进行往复进给扫描。本发明的有益效果：采用扫描加工的激光加工方式，并在待加工位置进行往复的进给扫描加工，以此对待加工工件的同一个区域进行多次、分层次的扫描加工，以提高工件的加工精度，实现较高的加工质量，同时能够满足深度较大的加工需求。