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公开(公告)号：CN117133614A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202310921255.0
申请日：2023-07-26
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明涉及一种基于热释电原理的微型离子泵，属于离子泵技术领域。该微型离子泵包括真空室，所述真空室一侧设有射频离子阱模块且另一侧设有热释电电子源；所述热释电电子源包括设于真空室底部的第一热释电晶体和用于调节第一热释电晶体温度的温控模块；所述射频离子阱模块包括密封地固设于真空室顶部的电馈通和对向设置在真空室内部的第一极板和第二极板。本发明的第一极板与第二极板形成离子阱，第一热释电晶体在温度变化的同时放电，通过极板吸收电离产生的离子，离子泵结构简单，体积小巧，能够应用于小型原子系统中，能够去除真空室中的气体且不需要外接高压电源。
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公开(公告)号：CN116571899A
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202310387691.4
申请日：2023-04-12
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种采用飞秒激光在钨箔上打孔并与PDMS结合制备高压漏孔的方法，属于标准漏孔领域，首先利用飞秒激光对钨箔进行打孔，利用丙酮、醋酸和异丙醇去除钨箔表面的氧化物及其他污染物，获得表面清洁的钨箔；然后，将PDMS聚合物层贴到钨箔上即可得到PDMS和钨箔结合制作而成的高压漏孔。本发明制得的新型漏孔流导精确可控，本底漏率低，PDMS方便替换，并具有一定的承压能力，能在更大的压强范围内提供更精确的可控漏率。
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公开(公告)号：CN114953685A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210325911.6
申请日：2022-03-30
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明属于真空隔热玻璃技术领域，具体涉及一种基于交叉叠层真空微腔的柔性真空玻璃结构，由若干叠层组成，每个所述叠层内间隔开设有真空微腔，且相邻所述叠层上的所述真空微腔呈交叉错开布置，所述叠层的材料为柔性聚碳酸酯，相邻所述叠层之间一体成型或粘接贴合；本发明提出的新型柔性真空玻璃具有成本低，便于批量化生产，隔热性能优异，卷状包装，运输方便；柔性真空玻璃结构表面温度均匀性好。传统的真空玻璃封边的铟合金导热系数较高，玻璃边缘的温度远高于中心的温度。新型柔性真空玻璃的支撑结构与真空微腔逐层交叉分布，玻璃表面各点温差很小，温度均匀性更好。
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公开(公告)号：CN114195092A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111515859.2
申请日：2021-11-30
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于玻璃熔融键合的极小漏率真空漏孔封装方法，首先采用MEMS紫外光刻工艺以及硅‑硅直接键合技术制作极小漏率真空漏孔元件，对真空漏孔元件以及抛光处理的玻璃管清洗之后，在室温下对准并一起放入高温炉进行热处理，随着温度升高，抛光处理的玻璃管端面率先发生熔融现象，在热处理最高温度下保持一定时间以保证玻璃管端面与真空漏孔元件键合界面产生足够的材料回流，去应力退火消除玻璃管热处理产生的内部应力后冷却至室温，取出键合成品并用聚四氟乙烯前后卡套将其装夹在带卡套的真空刀口法兰上完成真空漏孔的封装，该方法具备极低漏率，可以应用于超高真空以及极小漏率漏孔的封装。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110085504A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201910383449.3
申请日：2019-05-09
Applicant: 合肥工业大学
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明公开了一种基于小孔原位取样接口的离子源系统及小型化质谱仪，其小型化质谱仪采用本发明离子源系统作为离子源。仅采用真空离子源，其中真空离子源与待测样品通过小孔连接，可适用于气态样品的检测。本发明提供的质谱仪利用小孔作为原位取样接口，其流导在工作时保持恒定，可以对取样过程中的质量歧视效应进行定量标定，取样传输路径短，因此可以快速响应，采用内部电离可以增加检测装置中的离子数量，且可以实现连续进样保证真空度的稳定性，提高质谱仪的扫描速度。
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公开(公告)号：CN117174566A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202311144351.5
申请日：2023-09-06
Applicant: 合肥工业大学 , 费勉仪器科技(上海)有限公司
IPC: H01J41/12
Abstract: 本发明涉及一种用于连接标准真空电馈通的微型离子泵，属于离子泵技术领域。该用于连接标准真空电馈通的微型离子泵包括阴极、阳极和磁环，所述阴极包括阴极柱和阴极锥，所述阳极包括阳极筒和设于阳极筒侧壁上的若干个进气孔，所述阴极锥的尾部与阳极筒的侧壁之间形成环空。本发明通过磁环使电子围绕阴极轴心旋转，阴极与阳极之间形成电场，且由于阴极位于环空的一侧呈工字型，电子可在电磁场作用下，绕阴极轴心螺旋运动并上下起伏，以至于电子能够在极小空间内几乎无限地运动，离子泵能够持续稳定地抽取空气离子，且离子泵的体积足够小，可应用于微型真空系统中。
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公开(公告)号：CN116354623A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202310387838.X
申请日：2023-04-12
Applicant: 合肥工业大学
IPC: C03C27/10
Abstract: 本发明公开了一种实现MgF2窗片与石英管低温封接的方法，属于真空封接和光学领域；首先对石英管端面抛光处理以提高其面形精度，通过清洗活化提高端面亲水性，然后在石英管端面浸润预先配制的氢氧化物水溶液，涂布均匀后将MgF2窗片与石英管端面快速对齐并轻压形成预连接，最后室温静置3‑4周缓慢实现封接或在烘箱低温烘烤快速封接。测试表明，本发明方法封接界面薄且透明、封接强度高、密封性良好；同时解决了传统高温过渡封接时石英管附近应力分布不均和环氧胶不耐高温、高放气率等问题；是一种低成本、工艺简单、可批量生产的低温封接方法，能够满足MgF2窗片与石英管封接组件在紫外光学领域和真空领域的应用。
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公开(公告)号：CN114965152A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210566037.5
申请日：2022-05-20
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01N7/04
Abstract: 本发明介绍了一种基于固定流导元件改进定压法测试NEG吸气性能系统，在进气室和吸气室之间安装纳流控固定流导元件，结合微调针阀，提供可控精确的进气流量，在测试过程中维持吸气室压力恒定。使用的纳流控固定流导元件为玻璃‑硅分子流漏孔或者石墨烯分子流漏孔。通过测量记录进气室内部压力变化，获得瞬时抽速、吸气量、最大吸气量和扩散活化能等NEG吸气性能参数。本发明装置可以用于测试不同吸气压力、工作温度、吸气材料以及吸气能力的NEG吸气性能，也可以用于测试蒸散型吸气剂的吸气性能。
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公开(公告)号：CN218725030U
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202222974491.2
申请日：2022-11-09
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01M3/04
Abstract: 本实用新型公开了一种气体检漏仪，气体检漏仪包括纹影检测组件和支撑组件，纹影检测组件包括：检测支架、纹影镜、成像元件及光源，检测支架包括：第一支架、第二支架及连接件，连接件的两端分别与第一支架和第二支架连接，第一支架和第二支架相对设置于连接件的同侧，纹影镜设于第一支架上，成像元件和光源相邻设于第二支架上；支撑组件连接于检测组件上，以用于移动纹影检测组件。由此，通过该捡漏仪结构可以直观地显示气体流动，针对气体的普适性强，无需特殊示漏气体，对使用环境要求不高，即使是较为逼仄或者昏暗的复杂环境也能顺利进行检测；还可以避免人体与被检测部件的近距离接触，从而极大的保障了检测人员的身体安全。
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