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公开(公告)号：CN113607519B
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202110881193.6
申请日：2021-08-02
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于激光破坏样品的残余气体分析装置，其包括样品室、分析室、全金属角阀、针阀、激光器、全量程真空计、冷阴极电离真空计、残余气体分析仪、分子泵组、带孔无氧铜板、氮气瓶、加热带、调压器、温度计、电源。本发明利用真空系统外置激光器破坏样品，具有准确、便捷、利于维持真空环境的优点。实验通过静态升压法和小孔流导法两种方法对待测样品内残余气体进行气量测试以及成分分析。
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公开(公告)号：CN116864158A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202310932535.1
申请日：2023-07-27
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种用于聚变装置真空室内部管道的远程检漏系统及方法，聚变装置为全超导托卡马克聚变装置，系统包括：检漏模块；多自由度机械臂模块，设于真空室外部，用于安装所述检漏模块并在需要检漏时带动检漏模块伸入真空室内部进行移动扫描检漏；控制模块，用于远程控制检漏模块和多自由度机械臂模块，并获取检漏模块的检漏数据；信号处理模块，用于根据检漏数据判断是否发生泄漏以及确定泄漏位置，并将判断和确定结果发送至用户端。本发明实现了全超导托卡马克聚变装置真空室的远程检漏，提高了检漏工作人员的安全性以及检漏工作的效率。
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公开(公告)号：CN110085504B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN201910383449.3
申请日：2019-05-09
Applicant: 合肥工业大学
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明公开了一种基于小孔原位取样接口的离子源系统及小型化质谱仪，其小型化质谱仪采用本发明离子源系统作为离子源。仅采用真空离子源，其中真空离子源与待测样品通过小孔连接，可适用于气态样品的检测。本发明提供的质谱仪利用小孔作为原位取样接口，其流导在工作时保持恒定，可以对取样过程中的质量歧视效应进行定量标定，取样传输路径短，因此可以快速响应，采用内部电离可以增加检测装置中的离子数量，且可以实现连续进样保证真空度的稳定性，提高质谱仪的扫描速度。
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公开(公告)号：CN110873591A
公开(公告)日：2020-03-10
申请号：CN201911228529.8
申请日：2019-12-04
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01F1/34
Abstract: 本发明涉及一种基于分子流传输的气体微流量传感装置：本发明的目的是为了解决现有气体传感装置无法快速、精确、低成本地测量10-8Pam3s-1-10-3Pam3s-1量级的气体流量的问题，本发明所提供的基于分子流传输的气体微流量传感装置，包括差压变送器、气体微流量传感元件、第一阀门、旁通阀门、旁通管路，气体微流量传感装置的流导C可通过式 确定，测量的气体流量Q可通过式Q＝C×ΔP计算确定，该基于分子流传输的气体微流量传感装置具有在大气压强范围内流导恒定、可控、制作过程简单且流经其的气体流态处于分子流态等优点。本发明还提供了利用上述基于分子流传输的气体微流量传感装置测量气体微流量的方法。
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公开(公告)号：CN114965152B
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202210566037.5
申请日：2022-05-20
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01N7/04
Abstract: 本发明介绍了一种基于固定流导元件改进定压法测试NEG吸气性能系统，在进气室和吸气室之间安装纳流控固定流导元件，结合微调针阀，提供可控精确的进气流量，在测试过程中维持吸气室压力恒定。使用的纳流控固定流导元件为玻璃‑硅分子流漏孔或者石墨烯分子流漏孔。通过测量记录进气室内部压力变化，获得瞬时抽速、吸气量、最大吸气量和扩散活化能等NEG吸气性能参数。本发明装置可以用于测试不同吸气压力、工作温度、吸气材料以及吸气能力的NEG吸气性能，也可以用于测试蒸散型吸气剂的吸气性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114195092B
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202111515859.2
申请日：2021-11-30
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于玻璃熔融键合的极小漏率真空漏孔封装方法，首先采用MEMS紫外光刻工艺以及硅‑硅直接键合技术制作极小漏率真空漏孔元件，对真空漏孔元件以及抛光处理的玻璃管清洗之后，在室温下对准并一起放入高温炉进行热处理，随着温度升高，抛光处理的玻璃管端面率先发生熔融现象，在热处理最高温度下保持一定时间以保证玻璃管端面与真空漏孔元件键合界面产生足够的材料回流，去应力退火消除玻璃管热处理产生的内部应力后冷却至室温，取出键合成品并用聚四氟乙烯前后卡套将其装夹在带卡套的真空刀口法兰上完成真空漏孔的封装，该方法具备极低漏率，可以应用于超高真空以及极小漏率漏孔的封装。
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公开(公告)号：CN114858363A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210587966.4
申请日：2022-05-26
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01M3/26
Abstract: 本发明公开了一种能够对汽车动力电池进行气密性检测的装置与方法，包括分子流传感元件、真空室、真空阀门、真空泵组、真空计、隔热保温系统、温度计和差压计，其特征在于真空室的进样口采用高真空氟橡胶密封，测量系统的关键部件为分子流传感元件，能够在测量过程中提供恒定的流导，分子流传感元件两端连接差压计，测量系统处于一个隔热保温系统中，隔热保温系统上连接一个用于监测温度的温度计，测量系统的另一端连接一真空泵组。本发明相对于传统的差压检漏、氦质谱检漏的方法，无需针对特定的动力电池设计工装夹具，无需在检测时对动力电池内部充入高压气体、示踪气体或抽真空，兼顾了效率与成本，且容易实现自动化。
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公开(公告)号：CN119354648A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411503437.7
申请日：2024-10-25
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种用于密闭微小真空腔体的内部气氛测试装置及标定方法，其测试装置包括依次连接的标定机构、刺穿机构和测试分析机构；其利用刺穿机构破坏样品，获得精准度高和应用范围广的优势；其利用极小漏率漏孔和飞行时间质谱仪搭建测量分析机构，提高了装置测试灵敏度和不同气体成分分辨能力，扩展了装置可测量范围，其标定方法是将已知质量的气体通入测试装置中，用来验证结果准确性，得出测试数据的偏差系数。
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公开(公告)号：CN114953685B
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202210325911.6
申请日：2022-03-30
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明属于真空隔热玻璃技术领域，具体涉及一种基于交叉叠层真空微腔的柔性真空玻璃结构，由若干叠层组成，每个所述叠层内间隔开设有真空微腔，且相邻所述叠层上的所述真空微腔呈交叉错开布置，所述叠层的材料为柔性聚碳酸酯，相邻所述叠层之间一体成型或粘接贴合；本发明提出的新型柔性真空玻璃具有成本低，便于批量化生产，隔热性能优异，卷状包装，运输方便；柔性真空玻璃结构表面温度均匀性好。传统的真空玻璃封边的铟合金导热系数较高，玻璃边缘的温度远高于中心的温度。新型柔性真空玻璃的支撑结构与真空微腔逐层交叉分布，玻璃表面各点温差很小，温度均匀性更好。
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公开(公告)号：CN113607519A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202110881193.6
申请日：2021-08-02
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于激光破坏样品的残余气体分析装置，其包括样品室、分析室、全金属角阀、针阀、激光器、全量程真空计、冷阴极电离真空计、残余气体分析仪、分子泵组、带孔无氧铜板、氮气瓶、加热带、调压器、温度计、电源。本发明利用真空系统外置激光器破坏样品，具有准确、便捷、利于维持真空环境的优点。实验通过静态升压法和小孔流导法两种方法对待测样品内残余气体进行气量测试以及成分分析。
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