公开(公告)号：CN117174566A

公开(公告)日：2023-12-05

申请号：CN202311144351.5

申请日：2023-09-06

Applicant: 合肥工业大学 ,  费勉仪器科技(上海)有限公司

Inventor： 曹青 ,  朱冠卿 ,  王旭迪 ,  邹鹏飞 ,  毕海林 ,  谢斌平 ,  董金奎

IPC: H01J41/12

Abstract: 本发明涉及一种用于连接标准真空电馈通的微型离子泵，属于离子泵技术领域。该用于连接标准真空电馈通的微型离子泵包括阴极、阳极和磁环，所述阴极包括阴极柱和阴极锥，所述阳极包括阳极筒和设于阳极筒侧壁上的若干个进气孔，所述阴极锥的尾部与阳极筒的侧壁之间形成环空。本发明通过磁环使电子围绕阴极轴心旋转，阴极与阳极之间形成电场，且由于阴极位于环空的一侧呈工字型，电子可在电磁场作用下，绕阴极轴心螺旋运动并上下起伏，以至于电子能够在极小空间内几乎无限地运动，离子泵能够持续稳定地抽取空气离子，且离子泵的体积足够小，可应用于微型真空系统中。

公开(公告)号：CN113007077B

公开(公告)日：2022-06-07

申请号：CN202110332348.0

申请日：2021-03-29

Applicant: 合肥工业大学

Inventor： 陈建 ,  程春鹏 ,  周红 ,  高文智 ,  朱冠卿 ,  戴一晖 ,  金艺菲 ,  曾亿山

IPC: F04B43/04

Abstract: 本发明涉及一种阵列式压电隔膜泵，属于压电泵技术领域。包括压电驱动器和两只以上的隔膜泵；压电驱动器的工字型本体的顶板为上驱动臂、底板为下驱动臂、中部为直立板；每只驱动臂的根部上下侧面上分别设有压电片，直立板的两侧面上分别设有压电片，均构成压电双晶片结构；所有压电片通过导线串联或并联；两只以上的隔膜泵分组，分别固定设于直立板两侧的工字型本体内；当交流电源的激励频率为所述压电驱动器的一阶反相弯曲谐振频率时，所述压电驱动器驱动多个隔膜泵以同一谐振频率连续泵送流体。本发明采用一个驱动器驱动多个隔膜泵，只需一路驱动电源，可有效降低阵列式压电隔膜泵驱动电源的复杂性和控制要求，提高输出性能和工作可靠性。

公开(公告)号：CN113007077A

公开(公告)日：2021-06-22

申请号：CN202110332348.0

申请日：2021-03-29

Applicant: 合肥工业大学

Inventor： 陈建 ,  程春鹏 ,  周红 ,  高文智 ,  朱冠卿 ,  戴一晖 ,  金艺菲 ,  曾亿山

IPC: F04B43/04

Abstract: 本发明涉及一种阵列式压电隔膜泵，属于压电泵技术领域。包括压电驱动器和两只以上的隔膜泵；压电驱动器的工字型本体的顶板为上驱动臂、底板为下驱动臂、中部为直立板；每只驱动臂的根部上下侧面上分别设有压电片，直立板的两侧面上分别设有压电片，均构成压电双晶片结构；所有压电片通过导线串联或并联；两只以上的隔膜泵分组，分别固定设于直立板两侧的工字型本体内；当交流电源的激励频率为所述压电驱动器的一阶反相弯曲谐振频率时，所述压电驱动器驱动多个隔膜泵以同一谐振频率连续泵送流体。本发明采用一个驱动器驱动多个隔膜泵，只需一路驱动电源，可有效降低阵列式压电隔膜泵驱动电源的复杂性和控制要求，提高输出性能和工作可靠性。