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公开(公告)号:CN106645323A
公开(公告)日:2017-05-10
申请号:CN201611079255.7
申请日:2016-11-30
Applicant: 南京大学
IPC: G01N27/26
CPC classification number: G01N27/26
Abstract: 本发明公开了一种基于氧化物异质结的极性溶剂化学传感器,在衬底上制备ZnMgO/ZnO异质结构,通过光刻、热蒸发等半导体工艺在异质结构制作电极,形成肖特基‑欧姆接触的非对称无栅高电子迁移率晶体管(HEMT)结构的化学传感器。ZnMgO/ZnO异质界面形成二维电子气(2DEG),吸附于器件传感区域的极性溶剂分子可以影响异质界面二维电子气(2DEG)的浓度,通过器件漏源电流的变化,从而实现对多种极性溶剂的探测。
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公开(公告)号:CN106601881A
公开(公告)日:2017-04-26
申请号:CN201710093149.2
申请日:2017-02-21
Applicant: 南京大学
CPC classification number: H01L33/02 , H01L33/0079
Abstract: 一种ZnO导电协变衬底垂直结构型GaN紫外LED,以纳米图形化(PSS)蓝宝石作为外延基底,使用MOCVD方法生长ZnO低温缓冲层和ZnO高温外延层,以ZnO外延层作为高品质导电衬底,后续生长GaN紫外LED外延,LED芯片经剥离和转移后,形成ZnO导电协变衬底垂直结构型GaN紫外LED。新型的垂直结构型GaN紫外LED,可降低器件成本,并提高GaN紫外LED的出光效率。形成ZnO导电协变衬底垂直结构型GaN紫外LED,剥离工艺简单,成本低,有利于实现柔性衬底的照明工程。
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公开(公告)号:CN105908256A
公开(公告)日:2016-08-31
申请号:CN201610192710.8
申请日:2016-03-30
Applicant: 南京大学
CPC classification number: Y02E60/366 , Y02E70/10 , C30B29/16 , C25B1/003 , C25B1/04 , C25B11/0452 , C30B25/02 , C30B29/64
Abstract: 本发明涉及一种用于高效可见光催化水分解的锌镉氧合金单晶薄膜,所述的ZnCdO合金单晶薄膜的禁带宽度在2.1?3.3eV范围内可调,覆盖大部分太阳光谱,将ZnCdO合金单晶薄膜与铟金属形成欧姆接触。本发明利用有机金属化学气相沉积(MOCVD)方法在蓝宝石或石英等透明衬底上低温制备不同Cd/Zn组分配比的ZnCdO合金单晶薄膜。薄膜的禁带宽度覆盖绝大部分太阳光谱,非常适合用于可见光催化分解水。本发明制备方法适合大规模产业化,制备的ZnCdO薄膜在高效光催化水分解和光伏电池等领域有应用前景。
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公开(公告)号:CN103938183B
公开(公告)日:2016-03-23
申请号:CN201410177089.9
申请日:2014-04-29
Applicant: 南京大学
Abstract: 一种生长高质量氧化锌薄膜材料的方法,选用蓝宝石片作为生长氧化锌薄膜材料的衬底;将清洗过的蓝宝石衬底放在金属有机化学气相外延设备的反应室衬底底座上;将反应室抽真空至3*10-3Pa以下,以排净反应室中的空气;充入氮气和氢气的混合气体对衬底进行高温预处理;高温预处理的温度为1000℃-1200℃,处理时间为3min-8min;将衬底降温到适合ZnO缓冲层薄膜生长的温度,使用高纯二甲基锌作为Zn源,叔丁醇t-BuOH作为O源,在MOCVD设备中生长ZnO缓冲层;ZnO薄膜生长是选用N2作为稀释气体,同时加入适当流量的H2;采用LP-MOCVD技术在ZnO缓冲层上生长ZnO。
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公开(公告)号:CN116288245A
公开(公告)日:2023-06-23
申请号:CN202310328440.9
申请日:2023-03-30
Applicant: 南京大学
IPC: C23C16/27 , C23C16/458 , C23C16/455 , C23C16/511 , C23C16/02
Abstract: 一种实现高效磷掺杂金刚石薄膜制备的装置,包括反应室和气体输入系统,反应室内设有用于掺杂生长的样品托和金刚石衬底,所述样品托呈倾斜状,且所述样品托上设有容纳所述金刚石衬底的凹槽,所述气体输入系统包括第一管路和第二管路,所述第一管路位于所述反应室的顶部,所述第二管路位于所述样品托一侧。所述第二管路可位于所述样品托底部中心,呈圆孔结构;本发明提供的反应室和气体输入系统,能够有效改善磷掺杂金刚石效率低与MPCVD腔室中杂质沾污问题,掺杂效率高,重复性好,质量高,生长速度快,同时样品托倾斜状的设计提升了磷掺杂金刚石薄膜的均匀性,对金刚石的n型掺杂具有重要意义。
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公开(公告)号:CN114089667A
公开(公告)日:2022-02-25
申请号:CN202111373183.8
申请日:2021-11-19
Applicant: 南京大学
IPC: G05B19/042
Abstract: 本发明公开了一种具有太阳追踪效果、有效防盐沉积的水蒸气产生系统,涉及太阳能技术领域,包括底板、塑料水箱、太阳追踪机构、蒸发机构、收集机构和蓄电机构,所述底板的上表面固定连接有塑料水箱,所述塑料水箱内连接有太阳追踪机构,太阳追踪机构包括底座、旋转舵机、蒸发器安装基座和光敏电阻和单片机,塑料水箱的内下表面设置有底座,底座上安装有旋转舵机,旋转舵机的输出端安装有蒸发器安装基座,蒸发器安装基座的一侧面安装有光敏电阻,蒸发器安装基座的下表面还安装有单片机,所述蒸发器安装基座上连接有蒸发机构,本发明既可以实现太阳能的有效水蒸发,同时还可以防止盐沉积在蒸发器件表面上,防止器件工作效率降低。
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公开(公告)号:CN108374153B
公开(公告)日:2021-06-15
申请号:CN201810042756.0
申请日:2018-01-17
Applicant: 南京大学
Abstract: 磁控溅射生长大面积、高度有序纳米颗粒的方法,对衬底进行清洗处理;亲水处理;将聚甲基丙烯酸支撑的多孔氧化铝薄膜模板(PMMA/AAO)转移至丙酮溶液中去除超薄多孔氧化铝的PMMA支撑层;将去除了PMMA支撑层的超薄多孔氧化铝转移至过氧化氢溶液中室温浸泡2至10小时进行亲水处理;将亲水处理后的超薄多孔氧化铝转移至丙酮溶液中,在丙酮溶液中将超薄多孔氧化铝转移至经亲水处理的衬底上并室温风干;将覆盖有多孔氧化铝的衬底固定于平行对着磁控溅射溅射源的衬底托上;采用磁控溅射生长相应材料;蒸镀完金属后,采用聚酰亚胺高温胶带揭除或采用5~10%的NaOH去除多孔氧化铝,获得大面积、高度有序纳米颗粒。
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公开(公告)号:CN105862013B
公开(公告)日:2018-07-06
申请号:CN201610439793.6
申请日:2016-06-17
Applicant: 南京大学
IPC: C23C16/48
Abstract: 一种应用于小型MOCVD系统的高温加热装置,包括加热元件、电炉盘和电极连接线,加热元件上面设有盖板,电炉盘底部预留若干孔洞,连接加热元件的电极连接线有陶瓷管加以保护;加热装置外部由不锈钢外罩所封闭,电炉盘下方有隔热板,隔热板上预留若干和电炉盘底部相对应的孔洞,隔热板上方外罩的侧面设有能通保护气体的不锈钢管,不锈钢管管可供氮气等保护气通入加热元件上部,对加热元件进行双重保护;本发明可实现小型MOCVD系统的高温加热,并能有效阻止高温情况下氧气等对加热元件造成的氧化和腐蚀影响,大幅提升了加热元件使用寿命,也可以屏蔽限制高温条件下加热元件的各种释放,有利于获得性能优异的沉积薄膜材料。
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公开(公告)号:CN105525268A
公开(公告)日:2016-04-27
申请号:CN201610059148.1
申请日:2016-01-28
Applicant: 南京大学
CPC classification number: C23C14/0084 , C23C14/021 , C23C14/0676 , C23C14/35 , C23C14/5806
Abstract: 一种提高ZnON薄膜迁移率和稳定性的方法,包括以下步骤:采用三明治结构的ZnON薄膜,三明治结构基底上的夹层为富氮ZnON薄膜,夹层上部的覆盖层为富氧ZnON薄膜,采用反应射频磁控溅射制备三明治结构的ZnON薄膜,以纯度为99.999%的锌靶为溅射靶材,生长ZnON薄膜前对高纯锌靶材利用氩离子束预溅射5-15分钟;通过两步反应射频磁控溅射生长的方法,第一步生长制备的非晶富氮ZnON薄膜;第二步制备富氧ZnON多晶薄膜;减小了薄膜体内和晶界缺陷密度,从而得到具有高迁移率、高稳定性的ZnON薄膜材料。
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公开(公告)号:CN105173089A
公开(公告)日:2015-12-23
申请号:CN201510638899.4
申请日:2015-09-30
Applicant: 南京大学
Abstract: 一种具有腰垫的座椅,包括坐椅坐板、作为腰垫的向腰部凸出的弧形垫背、颈枕靠背和扶手;所述座椅坐板、弧形靠背和颈枕靠背依次通过第一固定点和第二固定点连接,弧形靠背和颈枕靠背之间的第二固定点为可转动轴连接结构。所述长度可调座椅,通过抽拉式结构实现座椅长度调节。所述颈枕靠背,包含一高度可调的颈枕。所述可转动轴,是当前主流客机座椅中连接靠背与座垫之间的可在一定范围内调节倾斜角度的结构。本发明在保证飞机运力基础上,增加了乘客颈部,腰部,臀部和腿部的支撑,从而提高乘坐舒适度。该发明可以方便移植于现有汽车,火车,飞机等交通运输工具,具有很强的实用性和可转化性。
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