公开(公告)号：CN108374153A

公开(公告)日：2018-08-07

申请号：CN201810042756.0

申请日：2018-01-17

Applicant: 南京大学

Inventor： 卞岳 ,  汤琨 ,  许钟华 ,  沈洋 ,  叶建东 ,  朱顺明 ,  顾书林

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/16 ,  C23C14/58 ,  B82Y30/00

Abstract: 磁控溅射生长大面积、高度有序纳米颗粒的方法，对衬底进行清洗处理；亲水处理；将聚甲基丙烯酸支撑的多孔氧化铝薄膜模板(PMMA/AAO)转移至丙酮溶液中去除超薄多孔氧化铝的PMMA支撑层；将去除了PMMA支撑层的超薄多孔氧化铝转移至过氧化氢溶液中室温浸泡2至10小时进行亲水处理；将亲水处理后的超薄多孔氧化铝转移至丙酮溶液中，在丙酮溶液中将超薄多孔氧化铝转移至经亲水处理的衬底上并室温风干；将覆盖有多孔氧化铝的衬底固定于平行对着磁控溅射溅射源的衬底托上；采用磁控溅射生长相应材料；蒸镀完金属后，采用聚酰亚胺高温胶带揭除或采用5～10％的NaOH去除多孔氧化铝，获得大面积、高度有序纳米颗粒。

公开(公告)号：CN108374153B

公开(公告)日：2021-06-15

申请号：CN201810042756.0

申请日：2018-01-17

Applicant: 南京大学

Inventor： 卞岳 ,  汤琨 ,  许钟华 ,  沈洋 ,  叶建东 ,  朱顺明 ,  顾书林

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/16 ,  C23C14/58 ,  B82Y30/00

Abstract: 磁控溅射生长大面积、高度有序纳米颗粒的方法，对衬底进行清洗处理；亲水处理；将聚甲基丙烯酸支撑的多孔氧化铝薄膜模板(PMMA/AAO)转移至丙酮溶液中去除超薄多孔氧化铝的PMMA支撑层；将去除了PMMA支撑层的超薄多孔氧化铝转移至过氧化氢溶液中室温浸泡2至10小时进行亲水处理；将亲水处理后的超薄多孔氧化铝转移至丙酮溶液中，在丙酮溶液中将超薄多孔氧化铝转移至经亲水处理的衬底上并室温风干；将覆盖有多孔氧化铝的衬底固定于平行对着磁控溅射溅射源的衬底托上；采用磁控溅射生长相应材料；蒸镀完金属后，采用聚酰亚胺高温胶带揭除或采用5～10％的NaOH去除多孔氧化铝，获得大面积、高度有序纳米颗粒。