一种超精密工作台
    11.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102189413B

    公开(公告)日:2013-01-02

    申请号:CN201110090892.5

    申请日:2011-04-12

    Abstract: 本发明公开了一种超精密工作台,它包括宏运动平台与微位移工作台,其中宏运动平台的导轨形式采用气浮导轨,微位移工作台与宏运动平台连接,并随宏运动平台一起沿X向、Y向移动。微位移工作台中包含压电智能结构,其中该压电智能结构既能感知外界对其施加的力、位移等信号,又能主动地对外界施加力、位移等。此外,压电智能结构不仅可以用于超精密工作台的微位移工作台中,而且也可以制成类似弹簧-阻尼系统的俘能机构,应用在超精密工作台中。本发明可以广泛应用于超精密机床、超精密测量、微电子制造等领域。

    一种用于真空环境的减振器

    公开(公告)号:CN101725662B

    公开(公告)日:2012-02-29

    申请号:CN200910273182.9

    申请日:2009-12-10

    Abstract: 本发明提供了一种用于真空环境的减振器,包括一腔体,腔体内设有由气缸和活塞构成的空气弹簧,气缸的侧臂连接高压气源,气缸底部与腔体底部之间、气缸内侧壁分别设有一气浮,腔体的两侧壁中间部分分别嵌入了一密封柔性连接件,其中一侧臂还设有用以连接抽气机的排气孔。本发明在具有优良减振性能的同时,消除了减振器对周围环境的气体排放,维持设备较低的重心提高设备的稳定性,可广泛应用在EUV光刻机、电子束光刻机等对真空要求严格的精密设备及测试平台。

    一种生物/酶促湿地污水处理方法

    公开(公告)号:CN1970467A

    公开(公告)日:2007-05-30

    申请号:CN200610125375.6

    申请日:2006-12-08

    CPC classification number: Y02W10/15 Y02W10/18

    Abstract: 本发明公开了一种生物/酶促湿地污水处理方法,该处理方法集中了生物处理的高效性与生态处理的低能耗性优势,采用特别设计的酶促湿地,湿地的深度为800~1000mm,且采用三级递进布水,使得进水端负荷分配均匀,在湿地中填入酶促填料。本发明增大了床深提高了水力负荷,耐冲击负荷能力强;采用酶促填料提高了可生化性;采用递进布水方式进水减小了湿地首端负荷,延缓了前端堵塞;在生物反应器利用1/2能耗去除2/3的污染负荷,利用1/6能耗去除掉剩余1/3的污染负荷,污染物去除率高、能耗低;出水水质稳定,降低了污水处理的成本,实现了酶促湿地出水达标排放。

    一种包含磁悬浮单元的隔振器

    公开(公告)号:CN102853018B

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:CN201210298969.2

    申请日:2012-08-21

    Abstract: 本发明属于振动隔离领域,为一种包含磁悬浮单元的隔振器,它包括用于负刚度磁悬浮单元,以及用于产生正刚度的机械弹簧阻尼单元,二个部分串联,得到一个理论上具有无限大刚度的大刚度弹簧系统。与传统的机械弹簧串联连接,本发明实现隔振系统的等效刚度大,从而抑制直接作用在精密设备上的振动;同时保证传统的机械弹簧的弹性系数较小,从而隔离地面传至精密设备上的振动,最终同时实现了隔离地面传至精密设备上的振动与抑制直接作用在精密设备上的振动的目的。

    一种提高消光比的方法及装置

    公开(公告)号:CN103399415A

    公开(公告)日:2013-11-20

    申请号:CN201310353384.0

    申请日:2013-08-14

    Abstract: 本发明涉及光学技术领域,公开了一种提高消光比的方法及装置。该方法包括:将光经过分束器输出线偏振光,并入射到衍射光栅;线偏振光从衍射光栅反射出来,经过四分之一波片到达DLP芯片;返回光由DLP芯片反射出来,经过四分之一波片到达衍射光栅;返回光从衍射光栅反射出来,经过分束器射出。本发明基于DLP芯片的全数字化可编程调谐中心波长和带宽的特点,通过偏振分束器和四分之一波片相互配合,使光两次经过四分之一波片,改变返回光的偏振态,返回光到达偏振分束器并被反射输出,实现了滤波的功能。而由于光路中的光学器件的反射光以及杂散光不满足偏振相关性,被偏振分束器直接透射,不会随返回光一起反射输出,从而提高了消光比。

    一种包含磁悬浮单元的隔振器

    公开(公告)号:CN102853018A

    公开(公告)日:2013-01-02

    申请号:CN201210298969.2

    申请日:2012-08-21

    Abstract: 本发明属于振动隔离领域,为一种包含磁悬浮单元的隔振器,它包括用于负刚度磁悬浮单元,以及用于产生正刚度的机械弹簧阻尼单元,二个部分串联,得到一个理论上具有无限大刚度的大刚度弹簧系统。与传统的机械弹簧串联连接,本发明实现隔振系统的等效刚度大,从而抑制直接作用在精密设备上的振动;同时保证传统的机械弹簧的弹性系数较小,从而隔离地面传至精密设备上的振动,最终同时实现了隔离地面传至精密设备上的振动与抑制直接作用在精密设备上的振动的目的。

    一种水平二自由度隔振机构

    公开(公告)号:CN101709763B

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN200910273183.3

    申请日:2009-12-10

    Abstract: 本发明提供一种水平二自由度隔振机构,包括一连接板,连接板中心插有活塞杆,圆盘的沿周均匀安放有四个磁浮单元。利用磁铁(包括电磁铁和永磁体)的同极相斥产生的正刚度特性,以及磁铁异极相吸产生的负刚度特性,将磁浮单元设计为正负刚度并联的水平二自由度隔振系统。由于正负刚度并联使刚度相互抵消,因此,该水平二自由度隔振机构拥有接近零的固有刚度,从而实现超低频水平隔振。

    减振装置及应用其的光刻装置

    公开(公告)号:CN102141733A

    公开(公告)日:2011-08-03

    申请号:CN201010102421.7

    申请日:2010-01-28

    Abstract: 本发明提出一种减振装置,承载有一负载。减振装置包括基座、壳体、活塞、第一气室、活塞和摆机构。壳体用于支撑所述的负载;第一气室刚性连接在基座上,内部充满流体;活塞通过第一气室内的流体所支撑;摆机构安装在活塞和壳体之间,用于在水平方向对活塞和壳体产生低刚度连接。本发明中的减振装置采用双腔室空气弹簧用于隔离垂向的振动,在空气弹簧活塞与负载之间设置了细长的柔性摆杆,在负载与基座之间安装了直线电机用于振动的主动补偿。与原有技术相比,空气弹簧的容积更大,摆机构更长,从而减振装置刚度可降得更低,并且本发明的减振装置结构紧凑,设计简单。

    一种连续数据缓存系统及其数据缓存方法

    公开(公告)号:CN101770412A

    公开(公告)日:2010-07-07

    申请号:CN201010100899.6

    申请日:2010-01-22

    Abstract: 一种连续数据缓存系统及其数据缓存方法,属于计算机数据存储系统和备份方法,解决由于突发I/O与网络性能波动带来的连续数据捕获能力与保护能力不匹配的问题。本发明的系统,由内核缓存区、用户缓存区、内核模块和守护进程模块组成。本发明的方法,包括初始化、内核缓存区数据存储、用户缓存区数据存储以及用户缓存区数据发送步骤。本发明的系统采用内核缓存和用户缓存二级缓存机制,构建在TCP/IP协议上,性能开销小,降低了客户节点复杂性。本发明的方法采用较小的内核缓存区和较大的用户缓存区,降低内核处理的复杂度,并且提出缓存预判算法,及时分配或者回收用户缓存区节点,使得用户缓存区的利用率最优化,节约系统内存资源。

    一种连续数据保护和恢复方法

    公开(公告)号:CN101739313A

    公开(公告)日:2010-06-16

    申请号:CN200910272925.0

    申请日:2009-11-27

    Abstract: 一种连续数据保护和恢复方法,属于计算机数据存储和备份方法,解决现有连续数据保护和恢复方法不易确定合适的恢复时间的问题。本发明包括主机过程和服务器过程,两个过程并行进行,主机过程包括:发起连接、拷贝、主机判断命令、写操作信息记录、全量恢复和增量恢复步骤;服务器过程包括:接受连接、服务器存储拷贝数据、服务器判断命令、服务器存储写操作信息、恢复请求判断和数据恢复步骤。本发明不仅能支持用户的多次将数据恢复到任意时间点的请求,而且能使完成恢复所需的写数据量最小,并支持更方便高效地调整恢复到的时间以寻找合适的恢复点,将数据丢失减至最低。主机与服务器的分离,保证当本地主机硬盘损坏后,仍可进行数据恢复。

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