一种水面无人艇区域保持控制系统及方法

    公开(公告)号:CN111781923A

    公开(公告)日:2020-10-16

    申请号:CN202010549490.6

    申请日:2020-06-16

    Abstract: 本发明公开了一种水面无人艇区域保持控制系统及方法,其中,该系统包括:远端遥控系统、艇端控制系统以及无线通讯链路;其中,远端遥控系统设置无人艇的区域保持控制任务参数,将区域保持控制任务参数通过无线通讯链路下发至艇端控制系统,艇端控制系统实时监测无人艇运动状态,按照区域保持策略判断是否需要进行区域保持,若需要则环境最优定位控制器根据接收的区域保持控制任务参数和采集的无人艇运动状态得到控制输出指令发送至推进器,无人艇的运动状态也将实时回传至远端遥控系统的显控台。本发明通用于全驱动和欠驱动水面无人艇并且不依赖于无人艇模型参数和复杂实验利于工程实现的同时还能有效节省能源。

    一种谐振加速度计的自适应闭环测量系统

    公开(公告)号:CN108519498A

    公开(公告)日:2018-09-11

    申请号:CN201810189872.5

    申请日:2018-03-08

    Abstract: 本发明公开了一种谐振加速度计的自适应闭环测量系统,频率控制采用自适应控制的锁相环结构,可根据外界加速度的变化自动选择环路滤波器的控制方式,解决了现有技术中电路参数固定,无法自适应调节的问题,有效克服了锁相环路响应速度和稳态相差之间的矛盾,进而有效提升加速度计的量程、标度因数线性度和零偏稳定性。同时,实现结构简单,无需复杂算法,具有简单高效、适应性强的优点。其中的PI控制单元采用增量式算法,是对传统的位置式PI算法的改进,可获得更好的控制效果,有助于提升系统的稳定性;幅值控制模块采用交流自动增益控制方法,模块中采用简单有效的幅值解调方法,节省了硬件资源,并可在较大范围内调节驱动信号幅值。

    一种基于阳极键合的全硅MEMS圆片级真空封装方法

    公开(公告)号:CN107963609A

    公开(公告)日:2018-04-27

    申请号:CN201711140014.3

    申请日:2017-11-16

    CPC classification number: B81C1/00269 B81C1/00261 B81C1/00325

    Abstract: 本发明公开了一种基于阳极键合的全硅MEMS圆片级真空封装方法,在MEMS圆片级真空封装工艺中采用2次阳极键合实现了盖板、MEMS器件结构、衬底之间的机械和电信号连接,并形成了压力可控的MEMS密封腔体,和现有的基于硅-硅焊料键合、硅-硅熔融键合等全硅键合工艺相比工艺难度低、成品率高;对盖板玻璃片进行减薄至10~50微米及对衬底玻璃片进行减薄至10~50微米,而现有的全硅键合工艺介质层厚度最大不超过3微米,由于越薄的介质层引入的寄生电容越大,因此,本发明引入的寄生电容小,使得MEMS器件输出的信噪比提高。

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