具有毫米行程的单轴纳米位移执行器

    公开(公告)号:CN106301065B

    公开(公告)日:2018-08-31

    申请号:CN201610604810.7

    申请日:2016-07-28

    Inventor: 高思田 徐胜 李琪

    Abstract: 一种具有毫米行程的单轴纳米位移执行器,在其直线导向底座的一侧设有梯形凹槽,在该梯形凹槽的两个斜面上设有两对剪切压电陶瓷叠堆,在剪切压电陶瓷叠堆的顶端设有光滑支撑块,在该直线导向底座与直线运动负载台之间设有相互吸引的磁力预紧机构;所述的直线运动负载台的截面为与该梯形凹槽配合的梯形台,该梯形台的两个斜面与所述的光滑支撑块顶端接触,该直线运动负载台与该直线导向底座之间通过磁力预紧机构的磁力相互吸引定位。本发明的优点是:采用磁力预紧机构,使得各压电陶瓷所受的正压力基本一致,从而使纳米位移执行器结构简单紧凑、装配简便以及抗干扰能力强;磁力预紧机构与直线运动负载台之间不产生摩擦力,增加了其负载能力。

    具有毫米行程的单轴纳米位移执行器

    公开(公告)号:CN106301065A

    公开(公告)日:2017-01-04

    申请号:CN201610604810.7

    申请日:2016-07-28

    Inventor: 高思田 徐胜 李琪

    CPC classification number: H02N2/02 H02N2/04

    Abstract: 一种具有毫米行程的单轴纳米位移执行器,在其直线导向底座的一侧设有梯形凹槽,在该梯形凹槽的两个斜面上设有两对剪切压电陶瓷叠堆,在剪切压电陶瓷叠堆的顶端设有光滑支撑块,在该直线导向底座与直线运动负载台之间设有相互吸引的磁力预紧机构;所述的直线运动负载台的截面为与该梯形凹槽配合的梯形台,该梯形台的两个斜面与所述的光滑支撑块顶端接触,该直线运动负载台与该直线导向底座之间通过磁力预紧机构的磁力相互吸引定位。本发明的优点是:采用磁力预紧机构,使得各压电陶瓷所受的正压力基本一致,从而使纳米位移执行器结构简单紧凑、装配简便以及抗干扰能力强;磁力预紧机构与直线运动负载台之间不产生摩擦力,增加了其负载能力。

    具有毫米行程的二维纳米位移台

    公开(公告)号:CN106229013A

    公开(公告)日:2016-12-14

    申请号:CN201610605051.6

    申请日:2016-07-28

    Inventor: 高思田 徐胜 李琪

    CPC classification number: G12B9/10 G12B5/00

    Abstract: 一种具有毫米行程的二维纳米位移台,其特征在于,包括剪切压电陶瓷叠堆、负载台、光滑支撑块、磁力预紧机构及底板,在底板的一侧设有三个呈三角形布置的剪切压电陶瓷叠堆,在三角形的中部设有磁力预紧机构,在剪切压电陶瓷叠堆的顶端设有光滑支撑块,在光滑支撑块的顶设有负载台;该底板与该负载台之间通过磁力预紧机构的磁力相互吸引。本发明的优点是:采用磁力预紧机构,使得各压电陶瓷所受的正压力基本一致,从而使纳米位移台结构简单紧凑、装配简便以及抗干扰能力强;并且磁力预紧机构与负载台之间不产生摩擦力,降低了负载台步进时的阻力,增加了其负载能力。无导轨结构使得位移台具有更多的运动自由度。

    一种光学检测系统及装置
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103383247B

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201310323229.4

    申请日:2013-07-30

    Abstract: 本发明公开了一种光学检测系统及装置,所述系统包括由上至下依次排列的激光器、非偏振分光镜、偏振分光镜、透反镜及测量透镜;非偏振分光镜位置水平对应光电接收器A,透反镜与测量透镜之间固定有λ/4波片,偏振分光镜位置水平对应光电接收器B。本发明设计的光学检测系统及装置解决了现有用于表面形貌测量的光学检测装置及非接触式显微测头,抗干扰能力不强、分辨力有限等问题。

    248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜

    公开(公告)号:CN104865689A

    公开(公告)日:2015-08-26

    申请号:CN201510159373.8

    申请日:2015-04-07

    CPC classification number: G02B21/08

    Abstract: 一种248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜,包括设在同一光轴的前部中继镜组及后部成像镜组,该前部中继镜组由前后依次设置的第一至第三透镜组成;该后部成像镜组由前后依次设置的第四至第十二透镜组成,其中第十二透镜为平行平板镜片,在透射深紫外光线的同时用于支撑被测样品;该两个镜组安装在恒温密封套筒内,每一透镜安装在对应的透镜框内。本发明采用高数值孔径的科勒式照明设计,具有亮度均匀、不引入光源伪像、优化像差、抑制杂散光的优点,高数值孔径保证了很高的分辨力。实验证明紫外显微镜下本装置能对100nm线宽产生清晰轮廓像,适用于集成电路光刻掩模版、纳米几何结构栅格和MEMS/NEMS器件关键尺寸的检测照明。

    用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置

    公开(公告)号:CN110208936B

    公开(公告)日:2024-09-13

    申请号:CN201910468723.7

    申请日:2019-05-31

    Abstract: 本发明公开一种用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置,由设置在下基座上的驱动器支撑上基座并对其进行快速、大行程的一级调节,由安装在上基座上的三维精密微位移平台对针孔盘进行三维方向的精密二级调节,通过上述双级调节可有效消除传统手动调节方式所带来的不确定性和不稳定性,以及现有光路调整机构可调行程小和应用范围受限的缺陷,并且上述一级大行程快速调节部分和二级精密微调部分可单独使用,以应用于相应需求场合。本发明通过控制器控制其进行纳米微位移调节,可使装置在工作过程中运行稳定、重复性好,从而使调节精度得到保障,实用性强。

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