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公开(公告)号：CN106229013B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201610605051.6
申请日：2016-07-28
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 一种具有毫米行程的二维纳米位移台，其特征在于，包括剪切压电陶瓷叠堆、负载台、光滑支撑块、磁力预紧机构及底板，在底板的一侧设有三个呈三角形布置的剪切压电陶瓷叠堆，在三角形的中部设有磁力预紧机构，在剪切压电陶瓷叠堆的顶端设有光滑支撑块，在光滑支撑块的顶设有负载台；该底板与该负载台之间通过磁力预紧机构的磁力相互吸引。本发明的优点是：采用磁力预紧机构，使得各压电陶瓷所受的正压力基本一致，从而使纳米位移台结构简单紧凑、装配简便以及抗干扰能力强；并且磁力预紧机构与负载台之间不产生摩擦力，降低了负载台步进时的阻力，增加了其负载能力。无导轨结构使得位移台具有更多的运动自由度。
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公开(公告)号：CN106301065B
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201610604810.7
申请日：2016-07-28
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 一种具有毫米行程的单轴纳米位移执行器，在其直线导向底座的一侧设有梯形凹槽，在该梯形凹槽的两个斜面上设有两对剪切压电陶瓷叠堆，在剪切压电陶瓷叠堆的顶端设有光滑支撑块，在该直线导向底座与直线运动负载台之间设有相互吸引的磁力预紧机构；所述的直线运动负载台的截面为与该梯形凹槽配合的梯形台，该梯形台的两个斜面与所述的光滑支撑块顶端接触，该直线运动负载台与该直线导向底座之间通过磁力预紧机构的磁力相互吸引定位。本发明的优点是：采用磁力预紧机构，使得各压电陶瓷所受的正压力基本一致，从而使纳米位移执行器结构简单紧凑、装配简便以及抗干扰能力强；磁力预紧机构与直线运动负载台之间不产生摩擦力，增加了其负载能力。
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公开(公告)号：CN106301065A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610604810.7
申请日：2016-07-28
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 一种具有毫米行程的单轴纳米位移执行器，在其直线导向底座的一侧设有梯形凹槽，在该梯形凹槽的两个斜面上设有两对剪切压电陶瓷叠堆，在剪切压电陶瓷叠堆的顶端设有光滑支撑块，在该直线导向底座与直线运动负载台之间设有相互吸引的磁力预紧机构；所述的直线运动负载台的截面为与该梯形凹槽配合的梯形台，该梯形台的两个斜面与所述的光滑支撑块顶端接触，该直线运动负载台与该直线导向底座之间通过磁力预紧机构的磁力相互吸引定位。本发明的优点是：采用磁力预紧机构，使得各压电陶瓷所受的正压力基本一致，从而使纳米位移执行器结构简单紧凑、装配简便以及抗干扰能力强；磁力预紧机构与直线运动负载台之间不产生摩擦力，增加了其负载能力。
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公开(公告)号：CN106229013A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201610605051.6
申请日：2016-07-28
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 一种具有毫米行程的二维纳米位移台，其特征在于，包括剪切压电陶瓷叠堆、负载台、光滑支撑块、磁力预紧机构及底板，在底板的一侧设有三个呈三角形布置的剪切压电陶瓷叠堆，在三角形的中部设有磁力预紧机构，在剪切压电陶瓷叠堆的顶端设有光滑支撑块，在光滑支撑块的顶设有负载台；该底板与该负载台之间通过磁力预紧机构的磁力相互吸引。本发明的优点是：采用磁力预紧机构，使得各压电陶瓷所受的正压力基本一致，从而使纳米位移台结构简单紧凑、装配简便以及抗干扰能力强；并且磁力预紧机构与负载台之间不产生摩擦力，降低了负载台步进时的阻力，增加了其负载能力。无导轨结构使得位移台具有更多的运动自由度。
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