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公开(公告)号：CN109539997A
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201811423996.1
申请日：2018-11-27
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/02
Abstract: 本申请提供一种基于图像识别的二维微位移测量系统及检测方法，标定模片安装于被测物体上，通过拍摄装置采集的标定模片的图像，并传输至处理器，处理器对采集到的图像进行图像处理，获取标定模片上的至少一个标记的中心点坐标像素。同时，移动被测物体，再次获取移动后的每个标记的中心点坐标像素，并计算出被测物体移动前后的中心点坐标像素变化量，则可以获得被测物体移动的位移量大小以及位移量方向角度。因此，通过获得被测物体移动前后的中心点坐标像素变化量，即可获知被测物体移动的位移量大小以及方向，使得微位移测量系统结构简单、便携性好，避免了零点漂移、线性度失真不稳定易受电磁干扰等问题，测量精度更高。
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公开(公告)号：CN119153368A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202411640732.7
申请日：2024-11-18
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明提供一种用于半导体制造的片上片下晶圆测温装置，涉及半导体制造技术领域，该装置包括测温晶圆、与测温晶圆连接的传输导线、位于传输导线外侧的真空贯穿带、与传输导线连接的测温晶圆数据采集仪、与测温晶圆数据采集仪远程连接的信号接收装置和上位机；测温晶圆上设有常规测温点位和关键测温点位；常规测温点位处布设有常规热电偶测温传感器；关键测温点位处表面和内部均布设有集成式热电偶测温传感器；关键测温点位内部设有沟槽，集成式热电偶测温传感器通过沟槽设置于关键测温点位内部。本发明解决了热电偶晶圆测温精度不高的问题。
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公开(公告)号：CN106548919B
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201610964438.0
申请日：2016-10-28
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: H01J47/02
Abstract: 本发明实施例涉及一种电离室检测系统，包括多维调节平台装置和滤波片装置；多维调节平台装置包括移动基座、升降装置、第一导轨、第一底座、第二导轨、第二底座和旋转台；升降装置设置于移动基座上；第一导轨安装在运动平台上；第一底座平行第一导轨所在平面滑设在第一导轨上；第二导轨安装在第一底座上；第二底座平行第一底座滑设在第二导轨上；旋转台固定在第二底座上；滤波片装置包括支撑架、滑动导轨和滤波片放置架；滑动导轨安装在支撑架上；滑动导轨上具有位移滑块，位移滑块滑设在滑动导轨上；滤波片放置架包括固定杆、升降调节杆和滤波片夹具。
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公开(公告)号：CN119394474A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411512813.9
申请日：2024-10-28
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明提供一种零热通量核心体温测量装置，涉及温度测量技术领域，该装置包括中间隔热层、设置在中间隔热层上方的加热测温层、设置在中间隔热层下方的底部测温层以及设置在加热测温层上方的顶部隔热层；其中，底部测温层、加热测温层和顶部隔热层通过粘合剂与中间隔热层贴合，加热测温层包括利用加热膜和薄膜温度传感器集成的柔性电路，底部测温层包括柔性薄膜温度传感器，中间隔热层的上表面和下表面分别按照加热测温层轮廓和底部测温层轮廓设有凹槽，加热测温层和底部测温层嵌入在中间隔热层的凹槽中。本发明解决了核心体温难以准确测量的问题。
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公开(公告)号：CN119361489A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411923974.7
申请日：2024-12-25
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明提供一种孪生结构的晶圆温度测量装置，涉及半导体晶圆检测技术领域，该装置包括晶圆和与晶圆连接的检测子装置；其中，检测子装置包括温度传感元件、温度采集处理器和电池：温度传感元件为孪生结构，其导线贴装于晶圆表面刻蚀线槽中，用于测量晶圆温度，得到温度采集数据；温度采集处理器与温度传感元件连接，用于对温度采集数据进行处理，得到温度测量结果；电池与温度传感元件和温度采集处理器连接，用于为温度传感元件和温度采集处理器供电。本发明解决了晶圆的多点位测量时的温度难以准确测量的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113237574B
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202110497796.6
申请日：2021-05-08
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01K15/00
Abstract: 本发明涉及一种温度计的非唯一性的评测方法，包括：将精密测温电桥的Rs端接入标准电阻，借助转换开关使精密测温电桥的Rt端分别接入温度计，测量每支温度计在标准电阻为Rs下对应的阻值；之后，将精密电桥Rs端接入一支温度计，将Rt端分别接入其余温度计，测量这些温度计在该Rs下对应的阻值；完成一轮至多轮循环后，计算每支温度计在作为被测温度计时测得的所有阻值平均值作为该温度计阻值，利用ITS‑90温标将阻值换算成温度，比较各个温度计温度差可实现该温度下温度计的非唯一性测量。
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公开(公告)号：CN109539997B
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN201811423996.1
申请日：2018-11-27
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/02
Abstract: 本申请提供一种基于图像识别的二维微位移测量系统及检测方法，标定模片安装于被测物体上，通过拍摄装置采集的标定模片的图像，并传输至处理器，处理器对采集到的图像进行图像处理，获取标定模片上的至少一个标记的中心点坐标像素。同时，移动被测物体，再次获取移动后的每个标记的中心点坐标像素，并计算出被测物体移动前后的中心点坐标像素变化量，则可以获得被测物体移动的位移量大小以及位移量方向角度。因此，通过获得被测物体移动前后的中心点坐标像素变化量，即可获知被测物体移动的位移量大小以及方向，使得微位移测量系统结构简单、便携性好，避免了零点漂移、线性度失真不稳定易受电磁干扰等问题，测量精度更高。
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公开(公告)号：CN106483549B
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201610967027.7
申请日：2016-10-28
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01T1/185
Abstract: 本发明实施例涉及一种基于电离室系统的检测方法,包括：将X光机设置于X光机平台上；将附加滤过片插接于滤过装置上；调节滤过装置，使附加滤过片中心与X光机的X光出射位置在同一水平位置；驱动第一底座在第一导轨上运动至工作位置；并且驱动第二底座在第二导轨上运动至工作位置；调节升降装置和升降装置上的旋转台，使设置于旋转台上的电离室装置的接收射线位置与附加滤过片中心、X光机的X光出射位置在同一条直线上；X光机产生初始X射线束；初始X射线束经过附加滤过片后，对低于第一阈值能量的射线进行滤除；过滤后的X射线束使电离室装置内的空气发生电离，产生电离电流；静电计对电离电流进行检测，得到电离电流值。
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公开(公告)号：CN106548919A
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201610964438.0
申请日：2016-10-28
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: H01J47/02
CPC classification number: H01J47/02 , H01J47/022
Abstract: 本发明实施例涉及一种电离室检测系统，包括多维调节平台装置和滤波片装置；多维调节平台装置包括移动基座、升降装置、第一导轨、第一底座、第二导轨、第二底座和旋转台；升降装置设置于移动基座上；第一导轨安装在运动平台上；第一底座平行第一导轨所在平面滑设在第一导轨上；第二导轨安装在第一底座上；第二底座平行第一底座滑设在第二导轨上；旋转台固定在第二底座上；滤波片装置包括支撑架、滑动导轨和滤波片放置架；滑动导轨安装在支撑架上；滑动导轨上具有位移滑块，位移滑块滑设在滑动导轨上；滤波片放置架包括固定杆、升降调节杆和滤波片夹具。
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公开(公告)号：CN106547015A
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201610964364.0
申请日：2016-10-28
Applicant: 中国计量科学研究院
CPC classification number: G01T1/29 , H01J47/001
Abstract: 本发明公开了一种探测器，包括：阴极板，用于入射X射线；多孔板，X射线打在工作气体上发生电离，阳离子在电场作用下向阴极板运动，电子在电场作用下向多孔板运动；阳极板，经过雪崩放大后的电子打在阳极板上；阳极板包括：第一阳极板，具有第一信号阵列；第二阳极板，具有第二信号阵列；第一ASIC芯片，当电子打在第一阳极板时，检测第一阳极板产生的第一信号；第二ASIC芯片，当电子打在第二阳极板时，检测第二阳极板产生的第二信号；电子学处理器，根据第一信号和第二信号得到电子打在第一阳极板或者第二阳极板的位置。本发明探测器利用两块不同的阳极板，实现不同精度的电子位置检测。
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