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公开(公告)号：CN119153369A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202411641031.5
申请日：2024-11-18
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明提供一种基于堆栈式热电偶的晶圆测温装置，涉及半导体制造技术领域，该装置包括测温晶圆、通过测温点位布置于所述测温晶圆外表面设置的一个或多个堆栈式热电偶测温传感器和常规热电偶测温传感器、与堆栈式热电偶测温传感器和常规热电偶测温传感器连接的传输导线、位于传输导线外侧的真空贯穿带、与传输导线连接的测温晶圆数据采集仪、与测温晶圆数据采集仪远程连接的信号接收装置和上位机。本发明解决了热电偶晶圆测温精度不高的问题。
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公开(公告)号：CN115060672B
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202210648506.8
申请日：2022-06-09
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种微结构光纤传感网络及构建方法，一个DWDM对应待测物质的两个吸收峰波长，DWDM的利用率更高，当通道数量较多时网络搭建成本大幅降低。另外，本发明选取待测物质最强的两个吸收峰波长进行传感，实现了全部通道的高灵敏度传感。本发明的通道数量不受待测物质吸收峰波长数量的限制，可根据需求拓展通道数量。
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公开(公告)号：CN117824879A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202410063851.4
申请日：2024-01-17
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种高精度海水恒温槽装置，恒温槽主体内设置有大功率加热器、低功率加热丝和搅拌叶轮；冷水机组用于直接对恒温槽主体内的水进行冷却并送回至恒温槽主体的内部；循环浴用于利用冷却介质对恒温槽主体内的水进行换热冷却，为恒温槽主体提供恒温、恒流量的冷源；恒温槽主体的表面还嵌套有微型工控机，微型工控机包括人机交互界面、控温电路板、高精度热敏电阻温度计和总开关。本发明的高精度海水恒温槽装置能够自动调控水温，并且实现亚mK级别的精准温控，保证海洋温度计或温盐深测量仪等设备校准过程中所需要的恒温环境，可以解决现有恒温海水槽存在的控温波动性与温场均匀性差、工作区域小、控温实验时间长与自动化程度较低等问题。
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公开(公告)号：CN117647333A
公开(公告)日：2024-03-05
申请号：CN202311646428.9
申请日：2023-12-04
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01K15/00
Abstract: 本发明公开了一种船载温度标准器，包括外壳，外壳内设有方形控温区和圆腔工作区；方形控温区包括方腔外壳、方腔加热膜、方腔风道风扇、方腔外壳、高精度热敏电阻温度传感器二、温度传感器组和方腔换热器；圆腔工作区包括圆腔换热盘管、圆腔外壳、圆腔风道风扇、高精度热敏电阻温度传感器一、夹具和圆腔PTC加热器；外壳内还设有主控模块、多路温度测量模块、双通道高精密测温电路、PWM调节器、固态继电器、压缩机一、冷凝器、冷凝器散热风扇一、冷凝器散热风扇二和压缩机二。本发明可以选择采用比较法或固定点法来实现海洋温度传感器的校准，可满足不同海洋温度传感器的校准需求，可以更好地适应环境变化，确保在不稳定的条件下仍能获得准确的校准结果。
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公开(公告)号：CN117647321A
公开(公告)日：2024-03-05
申请号：CN202311646537.0
申请日：2023-12-04
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于孪生温度传感器的多路表面测温系统，包括多路数据采集系统和孪生温度探头；多路数据采集系统可连接多路孪生温度探头；孪生温度探头包括软结构封装、导线和两支电阻温度计；两支电阻温度计被放置于软结构封装内；每支电阻温度计分别连接有导线，导线伸出软结构封装外并连接于多路数据采集系统。本发明创新性地提出了在一个探头中设置孪生电阻温度计实现单点位、双传感，不仅能交叉验证单点温度测量的准确性，还可用于应对其中一支电阻温度计发生损坏的情况，保证多通道测量数值准确可靠。另外，本发明的温度探头可以轻松在待测表面上放取，也能提高和待测表面的热接触，使测量精度更高，并可以降低环境对温度探头工作的影响。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106547015B
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201610964364.0
申请日：2016-10-28
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种探测器，包括：阴极板，用于入射X射线；多孔板，X射线打在工作气体上发生电离，阳离子在电场作用下向阴极板运动，电子在电场作用下向多孔板运动；阳极板，经过雪崩放大后的电子打在阳极板上；阳极板包括：第一阳极板，具有第一信号阵列；第二阳极板，具有第二信号阵列；第一ASIC芯片，当电子打在第一阳极板时，检测第一阳极板产生的第一信号；第二ASIC芯片，当电子打在第二阳极板时，检测第二阳极板产生的第二信号；电子学处理器，根据第一信号和第二信号得到电子打在第一阳极板或者第二阳极板的位置。本发明探测器利用两块不同的阳极板，实现不同精度的电子位置检测。
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公开(公告)号：CN106483549A
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201610967027.7
申请日：2016-10-28
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01T1/185
Abstract: 本发明实施例涉及一种基于电离室系统的检测方法,包括：将X光机设置于X光机平台上；将附加滤过片插接于滤过装置上；调节滤过装置，使附加滤过片中心与X光机的X光出射位置在同一水平位置；驱动第一底座在第一导轨上运动至工作位置；并且驱动第二底座在第二导轨上运动至工作位置；调节升降装置和升降装置上的旋转台，使设置于旋转台上的电离室装置的接收射线位置与附加滤过片中心、X光机的X光出射位置在同一条直线上；X光机产生初始X射线束；初始X射线束经过附加滤过片后，对低于第一阈值能量的射线进行滤除；过滤后的X射线束使电离室装置内的空气发生电离，产生电离电流；静电计对电离电流进行检测，得到电离电流值。
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公开(公告)号：CN117647332A
公开(公告)日：2024-03-05
申请号：CN202311646299.3
申请日：2023-12-04
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01K15/00
Abstract: 本发明公开了一种便携式温度固定点复现装置，外壳内设有工作区，所述工作区包括壳体以及设于壳体内的传感器模组、循环风道风扇、固定点组和反馈传感器；所述壳体的外表面还设有换热器和加热膜；外壳内还设有主控模块、多通道温度测量仪、功率控制模组和压缩机，所述外壳的表面嵌装有上位机交互屏。本发明装置结构紧凑轻便，方便携带和移动，适用于实验室内外的各种环境。本发明结合温度传感和温控技术，可以实现工作区内的精确温度控制，提高固定点复现的准确性和稳定性。本发明中，用户可以直接设置目标温度，并实时监控装置的状态，操作简便。本发明中，可以通过更换不同的固定点材料，实现灵活的固定点复现，从而降低成本并提高装置的利用率。
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公开(公告)号：CN110763362B
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201911110546.1
申请日：2019-11-14
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01K7/18
Abstract: 本发明涉及一种控压双绞铂电阻温度计，其包括：测温杆，其下端为封闭状态，上端为开口状态；手柄部，所述手柄部与所述测温杆的上端开口相配合；支撑架和铂电阻丝；所述铂电阻丝的第一端连接到第一连接点，在所述第一连接点连接到第一引线和第二引线；所述铂电阻丝的第二端连接到第二连接点，在所述第二连接点连接到第三引线和第四引线；所述第一引线和第三引线相互缠绕螺旋延伸到所述测温杆的上端开口处，所述第二引线和第四引线相互缠绕螺旋延伸到所述测温杆的上端开口处；在所述手柄部设置有通气孔。本发明的控压双绞铂电阻温度计通过引线之间的电磁抵消以及控压气体的消除电阻丝的自发热问题，进而实现了铂电阻温度计的高精度度测量。
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公开(公告)号：CN110763362A
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201911110546.1
申请日：2019-11-14
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01K7/18
Abstract: 本发明涉及一种控压双绞铂电阻温度计，其包括：测温杆，其下端为封闭状态，上端为开口状态；手柄部，所述手柄部与所述测温杆的上端开口相配合；支撑架和铂电阻丝；所述铂电阻丝的第一端连接到第一连接点，在所述第一连接点连接到第一引线和第二引线；所述铂电阻丝的第二端连接到第二连接点，在所述第二连接点连接到第三引线和第四引线；所述第一引线和第三引线相互缠绕螺旋延伸到所述测温杆的上端开口处，所述第二引线和第四引线相互缠绕螺旋延伸到所述测温杆的上端开口处；在所述手柄部设置有通气孔。本发明的控压双绞铂电阻温度计通过引线之间的电磁抵消以及控压气体的消除电阻丝的自发热问题，进而实现了铂电阻温度计的高精度度测量。
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