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公开(公告)号：CN105353170B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN201510873126.4
申请日：2015-12-04
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明涉及一种纳米步进样品扫描计量型扫描电子显微镜，二维激光干涉仪包括两个干涉仪，干涉仪分别位于测量样品在X方向和Y方向的位置，干涉仪的光源通过光纤从激光器引入，穿过玻璃窗的真空窗口片，在电镜内分成两束，分别入射到两个干涉镜；超声电机粗调位移台做扫描运动时，一个出射干涉光经真空窗入射到光电探测器作为位移台X轴位移数据信号；另一束干涉光经平面反射镜反射后入射靠近舱门的干涉仪，出射干涉光由另一个探测器接收作为位移台Y轴位移数据信号；所述X、Y轴位移数据配合电镜采集样品表面由电子束激发的二次电子信号，得到经过激光干涉仪溯源的测量数据。提供一种能够将其测量值直接溯源到米定义国家基准的标准的电子显微镜。
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公开(公告)号：CN111721677A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010460736.2
申请日：2020-05-27
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01N15/02
Abstract: 本申请涉及一种颗粒粒径测量方法、装置、计算机设备和存储介质。基于多个角度与多个角度颗粒粒径、多个样品浓度与多个第一颗粒粒径，分别对多个角度颗粒粒径、多浓度条件下颗粒粒径采用多项式拟合的数学方法进行拟合，获得颗粒粒径随角度、浓度变化的趋势，进行回归分析预测，可以根据实际样本数据建立自变量与因变量的关系，进而预测出0°散射角和0样品浓度条件下对应的颗粒粒径。通过所述颗粒粒径测量方法可以消除颗粒间长程作用力、大颗粒自身散射信号互相干涉带来的粒径测量误差，解决了单一角度测量无法分析和消除误差的问题，并且解决了不同仪器、不同浓度和类型样品测量结果偏差大的问题。
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公开(公告)号：CN111366108A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN202010298483.3
申请日：2020-04-16
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/30
Abstract: 本发明公开了一种垂直式表面粗糙度测头及表面粗糙度仪，垂直式表面粗糙度测头包括固定架、移动架、位移测量模块、针杆、触针和导向装置，移动架竖向滑动连接于固定架上，移动架上设置针杆，移动架的底板上设有导向装置，导向装置能够用于对针杆进行竖向导向以防止针杆摆动，针杆的底端固定设置有触针，针杆穿过导向装置，触针贯穿移动架的底板，位移测量模块用于测量针杆竖直方向上的移动距离；表面粗糙度仪包括架体、移动装置和上述的垂直式表面粗糙度测头。本发明中，触针与针杆在导向装置的作用下，测量过程中始终与工件表面垂直，操作简便、测量精准程度高。
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公开(公告)号：CN108917655B
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201810818139.5
申请日：2018-07-24
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明公开一种旋转平台，包括固定基座、转台和两个驱动器，固定基座的上表面开设有与转台形状相匹配的凹槽，转台可转动嵌置安装在凹槽内；转台包括中心圆形转子，中心圆形转子的两侧对称设置有两个旋转臂，两个驱动器以中心圆形转子的圆心为中心呈中心对称分布，两个驱动器用于同时驱动两个旋转臂同向旋转；该旋转平台在转动时可避免中心产生平移。本发明还提供一种结构紧凑、受环境影响小、角度分辨率高的多倍程平面干涉角度测量系统，包括上述旋转平台、被测平面镜和测角干涉仪，被测平面镜放置在中心圆形转子的上表面，测角干涉仪设置在旋转平台的一侧。
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公开(公告)号：CN110967527A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201811161314.4
申请日：2018-09-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本申请提供一种扫描探针针尖的制备装置，通过所述第一密封板与所述第二密封板对所述反应器进行密封，可以为制备扫描探针提供一个密闭环境。并且，所述反应器的管壁周围设置有冷淋结构，用以确保所述反应器内的温度恒定。所述扫描探针针尖的制备装置通过所述电极、所述电源控制模块以及所述采样电阻，可以实时监测腐蚀时的电解电流，直至腐蚀电流响应跳变，将腐蚀后的所述探针前躯体移出所述电腐蚀液，即可获得扫描探针。通过实时监测腐蚀时的电解电流是否发生突变，可以更加精准的获得所需扫描探针，重现性好，针尖形貌及关键尺寸精确可控。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110967526A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201811161139.9
申请日：2018-09-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本申请提供一种扫描探针针尖的制备方法，将探针前驱体以倾斜角度浸入电腐蚀液中，并可依据针尖面型需求驱动探针前驱体在电腐蚀液中做不同方向纳米级移动。在电腐蚀液中静态腐蚀探针前驱体，并实时监测腐蚀时的电解电流，直至腐蚀电流响应跳变，将腐蚀后的探针前躯体以一定倾斜角度移出电腐蚀液。通过扫描探针针尖的制备方法制备扫描探针方便快捷、成本低，特征尺寸及探针针尖几何面型可控。通过实时监测腐蚀时的电解电流是否发生突变，可以更加精准的获得所需纳米功能化的扫描探针，重现性好。
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公开(公告)号：CN110967330A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201811162987.1
申请日：2018-09-30
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01N21/65
Abstract: 本申请提供一种微区共焦拉曼光谱探测系统，通过第一分光单元以及第二分光单元实现了透射式的光路结构，使得拉曼散射光经过透射，传输至第一光谱探测单元与第二光谱探测单元进行拉曼光谱探测。经第一分光单元与第二分光单元可以分离出的第一路散射光与第二路散射光沿原路返回，沿光路传输至第一棱镜。并且，通过扫描探针可以增强拉曼散射，用以激发出样品的散射光，使得样品表面或近表面的电磁场的增强导致吸附分子的拉曼散射信号比普通拉曼散射信号大大增强，实现了在微区拉曼光谱中精确共焦、高空间分辨率以及高拉曼光谱分辨率的探测。
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公开(公告)号：CN110455690A
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201910773638.1
申请日：2019-08-21
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01N15/02
Abstract: 本申请提供一种纳米颗粒粒径测量系统。在匹配液中放置有第一光阻断结构和第二光阻断结构。第一光阻断结构设置于入射光束正向延长线上，用以吸收和反射光束，使其无法到达匹配池壁面与空气交界处发生反射。第二光阻断结构设置于多个散射光通孔接收的散射光束的反向延长线上，用于吸收和反射测量接收角互补角上的散射光束，使其无法到达匹配池壁面与空气交界处发生反射。通过匹配液、第一光阻断结构以及第二光阻断结构可以极大程度上减少传统纳米颗粒粒径测量系统中样品池壁面反射光的影响，并避免多个散射光通孔接收自身角度的散射光信号中混入反射光信息，从而大幅提高了测量结果的准确性。
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公开(公告)号：CN104865689B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201510159373.8
申请日：2015-04-07
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G02B21/08
Abstract: 一种248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜，包括设在同一光轴的前部中继镜组及后部成像镜组，该前部中继镜组由前后依次设置的第一至第三透镜组成；该后部成像镜组由前后依次设置的第四至第十二透镜组成，其中第十二透镜为平行平板镜片，在透射深紫外光线的同时用于支撑被测样品；该两个镜组安装在恒温密封套筒内，每一透镜安装在对应的透镜框内。本发明采用高数值孔径的科勒式照明设计，具有亮度均匀、不引入光源伪像、优化像差、抑制杂散光的优点，高数值孔径保证了很高的分辨力。实验证明紫外显微镜下本装置能对100nm线宽产生清晰轮廓像，适用于集成电路光刻掩模版、纳米几何结构栅格和MEMS/NEMS器件关键尺寸的检测照明。
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公开(公告)号：CN105157557A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201510584024.0
申请日：2015-09-14
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 公开了一种基于前凸针尖原子力显微镜针尖对顶的线条三维形貌测量方法和线宽测量方法，所述线条包括顶部以及相对的第一侧壁和第二侧壁，所述三维形貌测量方法包括：采用第一探针扫描所述线条，以得到第一形貌曲线，所述第一形貌曲线至少包括第一侧壁的形貌；采用第二探针扫描所述线条，以得到第二形貌曲线，所述第二形貌曲线至少包括第二侧壁的形貌；将所述第一形貌曲线和第二形貌曲线合成第三形貌曲线，其中，所述采用第一探针扫描的路径和采用第二探针扫描的路径重叠；在所述线条的不同位置重复上述步骤以获得线条的三维形貌。
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