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公开(公告)号：CN115684275A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211424769.7
申请日：2022-11-14
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种具备防尘功能的氢气传感器，包括衬底，以及设置在所述衬底上的钯镍合金薄膜，且所述衬底上设置有用于连接钯镍合金薄膜的两个第一引线电极，微纳防尘罩，其与所述衬底键合形成腔室，所述钯镍合金薄膜位于所述腔室内，且所述微纳防尘罩对应所述衬底垂直开设有微米级的多个小通孔。本发明，将防尘罩尺寸缩小，同时通过在防尘罩上加工特殊结构可完全防止尺寸在数十微米量级上灰尘颗粒沾污，在大幅缩减封装体积的同时确保器件性能不受影响，具有保障响应速度、保障探测精度、延长使用寿命的有益效果。
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公开(公告)号：CN106298577A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610906199.3
申请日：2016-10-18
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Inventor： 沈昌乐 , 蒋涛 , 王雪敏 , 吴卫东 , 黎维华 , 李佳 , 杨奇 , 湛治强 , 彭丽萍 , 王新明 , 樊龙 , 邓青华 , 赵妍 , 张颖娟 , 阎大伟 , 肖婷婷 , 孙亮
Abstract: 一种单晶薄膜沉积速率在线测定的方法及应用，属于薄膜材料领域。该方法在缓冲层生长完成后，用主挡板隔绝III族元素束源炉和衬底，既给了缓冲层充分的稳定时间，又保持III族元素束源炉始终处于开启状态，维持其内外温度的稳定，从而有效避免了过冲效应带来的测定误差，以获得更高的测定精度。本发明还提供一种上述方法在单晶薄膜沉积工艺中的应用，其采用上述的单晶薄膜沉积速率在线测定的方法对薄膜生长速率进行精确测定，并以此为依据调整薄膜生长相关的仪器参数，让薄膜在最适生长速度下生长，从而优化薄膜产品质量。
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公开(公告)号：CN113932843B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202111445202.3
申请日：2021-11-30
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种对温湿度及压力进行控制的传感器测试腔体及应用方法，包括：测试腔，其内设置有放置待测传感器样品的平台；设置在与测试腔上方的盖体，其在与平台相配合的位置上设置有透明窗口；设置在平台下方的第一加热机构；设置在测试腔内以获取对应湿度、温度、压力相关参数的传感器组；与传感器组通信连接的控制器；与测试腔相配合的真空泵；与测试腔相配合的加湿器、机械泵、空气压缩机。本发明提供一种对温湿度及压力进行控制的传感器测试腔体及应用方法，提供多个环境场景的在线检测需要，保证检测信号的稳定性和可靠性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114062447B
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202111442683.2
申请日：2021-11-30
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N27/22
Abstract: 本发明公开了一种应用于低湿度环境的超薄湿敏传感器，所述超薄湿敏传感器的结构从下至上包括：厚度100μm左右的石英衬底；设置在石英衬底一侧的感湿膜层；设置在石英衬底上并与感湿膜层相邻接的转换电路芯片倒装区；用于与外部控制电路板连接的软导线；其中，所述软导线在与感湿膜层、转换电路芯片倒装区相配合的位置上设置有开口；所述石英衬底上设置有与感湿膜层相配合的叉指电极，所述叉指电极、转换电路芯片、软导线通过刻蚀在石英衬底上的连接电路实现连接。本发明提供一种检测低湿度环境的湿敏传感器，可以对无法进入人或者设备的狭小空间内的低湿度环境变化进行检测，适应性更好。
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公开(公告)号：CN114910828A
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202210527311.8
申请日：2022-05-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种判断量子级联激光器快速退火效果的方法，采用示波器测量量子级联激光器在脉冲工作模式下的电压波形，通过调整电流脉冲宽度，获得不同电流脉冲宽度下的电压波形，根据电压波形前端是否出现明显尖峰，从而判断量子级联激光器快速退火效果，即金属电极是否达到良好的欧姆接触；本发明克服了依据电流‑电压关系曲线判断量子级联激光器金属电极快速退火是否达到欧姆接触比较复杂的问题，具有简单、方便、快捷等优点，同时，也可以推广到其它半导体激光器、光电传感器金属电极快速退火效果的判断。
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公开(公告)号：CN113873738A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202111128002.5
申请日：2021-09-26
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种自支撑碳基电容器靶及其制备方法，包括：利用直流磁控溅射技术在硅基底上制备Cr膜，再制备铜膜作为牺牲层，以此为衬底，制备微米厚度的α‑C膜，利用光刻工艺、射频磁控溅射工艺、氧等离子体刻蚀工艺、湿法刻蚀工艺制备具有表面结构的α‑C膜；利用脉冲激光沉积技术在抛光铜箔上制备DLC膜；将DLC膜的抛光铜箔熔去，并在去离子水中清洗多次；用有表面结构的α‑C膜去捞漂浮在水面的DLC膜，然后溶解铜膜，得到碳基双层膜；把碳基双层膜在去离子水中清洗多次，用带圆孔的靶架捞出碳基双层膜，自然挥发干，得到自支撑碳基电容器靶。本发明能有效地实现自支撑碳基双层结构靶，操作方便，且该自支撑碳基电容器靶，有望在物理实验中取得预期结果。
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公开(公告)号：CN206793238U
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：CN201720486595.5
申请日：2017-05-04
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本实用新型提供了一种粉尘过滤器以及半导体材料制备设备，属于半导体材料制备技术领域，包括过滤组件以及机械真空泵，过滤组件包括壳体以及滤芯，壳体设置有进气口、出气口以及位于进气口和出气口之间的流动通道，滤芯安装在流动通道内，机械真空泵安装在出气口处。该粉尘过滤器在使用过程中，在出气口处能够产生负压，进而加快粉尘在过滤器中的流动速度，能够有效的对粉尘进行过滤，且粉尘不易堆积在过滤器中，使用更加安全可靠。
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公开(公告)号：CN206804578U
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：CN201720499163.8
申请日：2017-05-08
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N27/12
Abstract: 本实用新型提供了一种检测装置，属于氢气传感器检测技术领域，用于氢气传感器的稳定性和重复性的检测，检测装置包括壳体、机械真空泵以及盛装有氢气的氢气瓶，壳体设置有储存腔，机械真空泵用于抽离储存腔内的气体，氢气瓶用于向储存腔内注入氢气。该检测装置体积小，结构简单，易于操作，安全性好，能够快速检测氢气传感器在不同氢气气压和不同时间下的稳定性和重复性，检测过程安全可靠，整个检测装置的成本低。
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