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公开(公告)号：CN111235527B
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202010164265.0
申请日：2020-03-10
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 一种制作光学薄膜的方法、膜系结构、镀膜方法、激光反射镜，属于光学设备领域。该方法包括：在基板之上，制作满足光谱指标的第一膜堆；在第一膜堆之上，制作满足面形指标的第二膜堆；在所述第二膜堆之上，制作满足损伤指标的第三膜堆。通过上述方法获得光学薄膜可以实现高综合指标的激光反射膜的高合格率制备。
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公开(公告)号：CN109401173B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201811307162.4
申请日：2018-11-05
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种高性能真空增透膜及其制备方法，属于光学材料技术领域。本发明将原硅酸四乙酯与改性剂全氟三甘醇二甲醚反应得到第一溶胶，将聚甲基丙烯酸正丁酯嵌段聚合物溶解后加入至所述第一溶胶中反应得到第二溶胶，用所述第二溶胶成膜，制得所述真空增透膜。本发明的真空增透膜具有较低的表面自由能，不易吸附水汽等污染物，在紫外激光(351nm左右)波段具有高的透射率(>99％)，可实现强激光装置中三倍频激光的高能输出，并且在真空环境中放置数天后透射率基本保持不变。
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公开(公告)号：CN106289727B
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201610599309.6
申请日：2016-07-27
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明提供一种元件激光损伤测量方法及装置。测量时，对每一个预设测试点采用基本相同的能量和能量密度的激光脉冲进行逐次多发次辐照，并实时监测测试点的光学图像以判断该测试点是否产生功能性损伤，同时在线获取每一次辐照时的激光能量密度值；然后根据测试点的功能性损伤判定结果及在线激光能量密度值计算生成元件的功能性损伤测量曲线。这种元件激光损伤测量方法的测量结果准确度高、收敛速度快，多次测量所得测量曲线之间的偏差较小，还能有效降低不同测量人员之间及测量次序等人为因素对最终测量结果的影响。
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公开(公告)号：CN109401173A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811307162.4
申请日：2018-11-05
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种高性能真空增透膜及其制备方法，属于光学材料技术领域。本发明将原硅酸四乙酯与改性剂全氟三甘醇二甲醚反应得到第一溶胶，将聚甲基丙烯酸正丁酯嵌段聚合物溶解后加入至所述第一溶胶中反应得到第二溶胶，用所述第二溶胶成膜，制得所述真空增透膜。本发明的真空增透膜具有较低的表面自由能，不易吸附水汽等污染物，在紫外激光(351nm左右)波段具有高的透射率(>99％)，可实现强激光装置中三倍频激光的高能输出，并且在真空环境中放置数天后透射率基本保持不变。
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公开(公告)号：CN114414502A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202210016317.9
申请日：2022-01-07
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明涉及光谱透过率测量技术领域，具体公开了一种变角度透过率测量装置、测量系统及测量方法，测量装置包括光阑、光陷阱以及转动组件，其中：转动组件包括电机，以及与电机输出端传动连接的旋转台；旋转台位于光陷阱的中心轴线上；光陷阱上开设有入光孔和出光孔，入光孔和出光孔所在的连接线与光陷阱的中心轴线相交；光阑安装于光陷阱的前侧，光阑上设有入射孔，且入射孔位于入光孔和出光孔所在的连接线上。本发明实现在所需角度区间下对测试样品的光透过率进行测量，节约了手动测量所花费的大量时间，提高了测试准确度与精度，非常适用于实验测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111286699B
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202010222435.6
申请日：2020-03-25
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本申请提供一种挡板修正方法、镀膜方法和装置，用于对平面行星式旋转镀膜工艺中挡板的形状进行修正，所述方法包括：获取待镀膜元件上多个待遮挡点的镀膜轨迹，以及获取每一待遮挡点对应的原始膜厚，以及获取待修正挡板中与多个待遮挡点对应的遮挡角；根据所述遮挡角确定所述待修正挡板的外形；根据每一待遮挡点对应的镀膜轨迹和所述待修正挡板的外形，计算得到所述待遮挡点对应的实际遮挡膜厚，所述实际遮挡膜厚为根据模拟所述待修正挡板进行遮挡后得到的；根据所有待遮挡点的原始膜厚以及对应的实际遮挡膜厚，对所述待修正挡板进行修正，得到目标挡板。通过理论计算的方式对挡板进行修正，可以提高挡板修正的精确和效率。
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公开(公告)号：CN113267454A
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN202110581657.1
申请日：2021-05-26
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本申请提供涉及一种薄膜品质检测方法、装置、电子设备及存储介质，涉及薄膜品质控制领域。上述薄膜品质检测方法包括：根据薄膜样品的物理数学模型和所述薄膜样品经椭偏检测获得的椭偏检测曲线，以薄膜材料的本征折射率色散表达式为特征参数，反演生成所述薄膜样品的椭偏模拟曲线；计算所述椭偏检测曲线与所述椭偏模拟曲线的拟合度；在所述拟合度接近或大于预设拟合度阈值时，确定所述薄膜样品的品质达到预设标准。能够解决现有技术中对薄膜品质检测精度低，检测工序复杂以及评判标准缺乏量化指标等问题。
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公开(公告)号：CN111041413A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911268270.X
申请日：2019-12-11
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种提高大口径反射镜镀膜面形精度的方法，采用了镀膜过程基片面形和高低折射率膜层的综合控制方法：镀膜前针对基片在镀膜过程的形变，采用基片预先翻面退火的方法控制抵消镀膜过程中的基片面形受热引起的变化；采用调节充氧量结合离子辅助沉积的方法控制反射镜中膜层的残余应力，使各膜层的残余应力基本接近零应力。本发明公开了一种提高大口径反射镜镀膜面形精度的方法，该方法具有面形精度高，简单易行，使用范围广，适用不同膜层以及基底组合的反射镜面形控制。
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公开(公告)号：CN106289727A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610599309.6
申请日：2016-07-27
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01M11/00
Abstract: 本发明提供一种元件激光损伤测量方法及装置。测量时，对每一个预设测试点采用基本相同的能量和能量密度的激光脉冲进行逐次多发次辐照，并实时监测测试点的光学图像以判断该测试点是否产生功能性损伤，同时在线获取每一次辐照时的激光能量密度值；然后根据测试点的功能性损伤判定结果及在线激光能量密度值计算生成元件的功能性损伤测量曲线。这种元件激光损伤测量方法的测量结果准确度高、收敛速度快，多次测量所得测量曲线之间的偏差较小，还能有效降低不同测量人员之间及测量次序等人为因素对最终测量结果的影响。
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公开(公告)号：CN119411081A
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202411564174.0
申请日：2024-11-05
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种大面积粒子流增减材均匀性控制方法，包括以下步骤：按照粒子流在真空环境下的流场行进方向，调整粒子流产生源、粒子流机械调控装置、粒子流气体流场调控装置和基板夹持装置在真空腔室内的相对位置；将基板装载到基板夹持装置上；抽运空气，形成真空环境；启动基板装夹装置进行自转或行星运动；通过气体导管向粒子流气体流场调控装置充入气体；启动粒子流机械调控装置；启动粒子流产生源，对基板表面进行增减材处理；完成对基板表面的增减材处理后，用采样法检验增减材的均匀性效果，得到增减材效果达标的基板。基于粒子流与气体流场之间的相互作用原理，提高了大口径光学元件增减材效果的微观属性均匀性、元件性能和合格率。
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