公开(公告)号：CN106289727A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201610599309.6

申请日：2016-07-27

Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

Inventor： 张哲 ,  潘峰 ,  刘志超 ,  郑轶 ,  汤鹏 ,  唐明 ,  罗晋 ,  吴倩 ,  卫耀伟 ,  张飞 ,  王震

IPC: G01M11/02

CPC classification number: G01M11/00

Abstract: 本发明提供一种元件激光损伤测量方法及装置。测量时，对每一个预设测试点采用基本相同的能量和能量密度的激光脉冲进行逐次多发次辐照，并实时监测测试点的光学图像以判断该测试点是否产生功能性损伤，同时在线获取每一次辐照时的激光能量密度值；然后根据测试点的功能性损伤判定结果及在线激光能量密度值计算生成元件的功能性损伤测量曲线。这种元件激光损伤测量方法的测量结果准确度高、收敛速度快，多次测量所得测量曲线之间的偏差较小，还能有效降低不同测量人员之间及测量次序等人为因素对最终测量结果的影响。

公开(公告)号：CN105714252B

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201610272054.2

申请日：2016-04-28

Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

Inventor： 王震 ,  张清华 ,  吴倩 ,  罗晋 ,  卫耀伟 ,  潘峰 ,  唐明 ,  刘志超 ,  郑轶 ,  李树刚 ,  张哲 ,  欧阳升 ,  汤鹏

IPC: C23C14/30 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明实施例提供了一种光学薄膜沉积扫描控制方法及系统，属于光学薄膜沉积扫描控制技术领域。所述方法包括：光电探测器将采集到的预设扫描区域内镀膜材料在电子束光斑扫描下熔化或升华时发出的光信号转化为电信号发送到数据处理装置；数据处理装置根据接收到的电信号优化电子束镀膜设备的电子枪发出的电子束光斑在坩埚内的扫描轨迹；电子束镀膜设备控制电子束光斑在坩埚内以优化后的扫描轨迹扫描镀膜材料，以使镀膜材料蒸发或升华并沉积在待镀元件表面。本发明实施例有效地提高了镀膜材料蒸发速度的稳定性以及扫描完成后镀膜材料的表面平整度，相对于现有的经验式优化调整方法，可控性更好、效率更高。

公开(公告)号：CN105714252A

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201610272054.2

申请日：2016-04-28

Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

Inventor： 王震 ,  张清华 ,  吴倩 ,  罗晋 ,  卫耀伟 ,  潘峰 ,  唐明 ,  刘志超 ,  郑轶 ,  李树刚 ,  张哲 ,  欧阳升 ,  汤鹏

IPC: C23C14/30 ,  C23C14/54

CPC classification number: C23C14/30 ,  C23C14/54 ,  C23C14/543

Abstract: 本发明实施例提供了一种光学薄膜沉积扫描控制方法及系统，属于光学薄膜沉积扫描控制技术领域。所述方法包括：光电探测器将采集到的预设扫描区域内镀膜材料在电子束光斑扫描下熔化或升华时发出的光信号转化为电信号发送到数据处理装置；数据处理装置根据接收到的电信号优化电子束镀膜设备的电子枪发出的电子束光斑在坩埚内的扫描轨迹；电子束镀膜设备控制电子束光斑在坩埚内以优化后的扫描轨迹扫描镀膜材料，以使镀膜材料蒸发或升华并沉积在待镀元件表面。本发明实施例有效地提高了镀膜材料蒸发速度的稳定性以及扫描完成后镀膜材料的表面平整度，相对于现有的经验式优化调整方法，可控性更好、效率更高。

公开(公告)号：CN107132604B

公开(公告)日：2020-01-14

申请号：CN201710498955.8

申请日：2017-06-26

Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

Inventor： 卫耀伟 ,  刘浩 ,  蔡清元 ,  王震 ,  潘峰 ,  张哲 ,  刘志超 ,  吴倩 ,  罗晋 ,  欧阳升

IPC: G02B5/28

Abstract: 本发明提供了一种渐变折射率薄膜制备参数获取方法、制备方法及滤光片，属于薄膜制备工艺技术领域。所述制备参数获取方法包括：获取待制备的渐变折射率薄膜的制备数据，其中，所述制备数据包括所述渐变折射率薄膜的每个膜层的折射率和膜层厚度；获取基准对应关系，所述基准对应关系为混合膜层的折射率与膜层浓度之间的关系；根据所述基准对应关系以及所述制备数据，得到所述渐变折射率薄膜的制备参数。通过本方法有利于较准确地得到待制备的渐变折射率薄膜的制备参数，从而制备出性能更符合需求的渐变折射率薄膜以及滤光片。

公开(公告)号：CN107132604A

公开(公告)日：2017-09-05

申请号：CN201710498955.8

申请日：2017-06-26

Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

Inventor： 卫耀伟 ,  刘浩 ,  蔡清元 ,  王震 ,  潘峰 ,  张哲 ,  刘志超 ,  吴倩 ,  罗晋 ,  欧阳升

IPC: G02B5/28

Abstract: 本发明提供了一种渐变折射率薄膜制备参数获取方法、制备方法及滤光片，属于薄膜制备工艺技术领域。所述制备参数获取方法包括：获取待制备的渐变折射率薄膜的制备数据，其中，所述制备数据包括所述渐变折射率薄膜的每个膜层的折射率和膜层厚度；获取基准对应关系，所述基准对应关系为混合膜层的折射率与膜层浓度之间的关系；根据所述基准对应关系以及所述制备数据，得到所述渐变折射率薄膜的制备参数。通过本方法有利于较准确地得到待制备的渐变折射率薄膜的制备参数，从而制备出性能更符合需求的渐变折射率薄膜以及滤光片。

公开(公告)号：CN106289727B

公开(公告)日：2019-03-15

申请号：CN201610599309.6

申请日：2016-07-27

Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

Inventor： 张哲 ,  潘峰 ,  刘志超 ,  郑轶 ,  汤鹏 ,  唐明 ,  罗晋 ,  吴倩 ,  卫耀伟 ,  张飞 ,  王震

IPC: G01M11/02

Abstract: 本发明提供一种元件激光损伤测量方法及装置。测量时，对每一个预设测试点采用基本相同的能量和能量密度的激光脉冲进行逐次多发次辐照，并实时监测测试点的光学图像以判断该测试点是否产生功能性损伤，同时在线获取每一次辐照时的激光能量密度值；然后根据测试点的功能性损伤判定结果及在线激光能量密度值计算生成元件的功能性损伤测量曲线。这种元件激光损伤测量方法的测量结果准确度高、收敛速度快，多次测量所得测量曲线之间的偏差较小，还能有效降低不同测量人员之间及测量次序等人为因素对最终测量结果的影响。