一种抗污染真空减反膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN109164514A

    公开(公告)日:2019-01-08

    申请号:CN201811307553.6

    申请日:2018-11-05

    Abstract: 本发明公开了一种抗污染真空减反膜及其制备方法,属于光学材料技术领域。本发明通过在溶胶合成完成后加入改性剂2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7-全氟-1,8-辛二醇,对生成的二氧化硅表面进行氟化改性,改性剂为全氟取代的二醇,同时采用六氟-2-甲基异丙基丙烯酸酯聚合物作为填充剂,从而在真空装置中也能保证该增透膜具有很高的性能。本发明制备的真空减反膜其表面自由能低,油脂或者水汽不易吸附于表面,在351nm的紫外波段具有>99%的高透射率,可实现强激光装置中三倍频激光的高能输出,在含有有机污染源的真空环境中放置数天后透射率基本保持不变。

Patent Agency Ranking