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公开(公告)号：CN107806933A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：CN201711295075.7
申请日：2017-12-08
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01J11/00
CPC classification number: G01J11/00
Abstract: 本发明提供一种基于双束时间分辨泵浦探测技术的激光诱导光学材料体内冲击波波速的测量方法。光学材料激光诱导冲击波波速的测量方法，该方法包括以下步骤：1)双束探测成像系统获取泵浦激光脉冲激发待测样品内部冲击波某一时刻的相同位置、设定时间间隔的两幅图像；2)基于图像处理算法，比较两幅图像中冲击波波峰包络位置变化量，计算获取某一时刻的冲击波波速。本发明建立双束探测成像系统，一路泵浦激光脉冲作用于光学材料并激发诱导冲击波现象，双路探测激光脉冲以一定的时间间隔辐照至激发区域，携带冲击波位置信息的双路探测光分别由探测捕获，通过改变泵浦激光脉冲与探测激光脉冲之间的延时量，可精确测得任意时刻的激光诱导冲击波波速。
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公开(公告)号：CN105714252B
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201610272054.2
申请日：2016-04-28
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明实施例提供了一种光学薄膜沉积扫描控制方法及系统，属于光学薄膜沉积扫描控制技术领域。所述方法包括：光电探测器将采集到的预设扫描区域内镀膜材料在电子束光斑扫描下熔化或升华时发出的光信号转化为电信号发送到数据处理装置；数据处理装置根据接收到的电信号优化电子束镀膜设备的电子枪发出的电子束光斑在坩埚内的扫描轨迹；电子束镀膜设备控制电子束光斑在坩埚内以优化后的扫描轨迹扫描镀膜材料，以使镀膜材料蒸发或升华并沉积在待镀元件表面。本发明实施例有效地提高了镀膜材料蒸发速度的稳定性以及扫描完成后镀膜材料的表面平整度，相对于现有的经验式优化调整方法，可控性更好、效率更高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105714252A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201610272054.2
申请日：2016-04-28
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
CPC classification number: C23C14/30 , C23C14/54 , C23C14/543
Abstract: 本发明实施例提供了一种光学薄膜沉积扫描控制方法及系统，属于光学薄膜沉积扫描控制技术领域。所述方法包括：光电探测器将采集到的预设扫描区域内镀膜材料在电子束光斑扫描下熔化或升华时发出的光信号转化为电信号发送到数据处理装置；数据处理装置根据接收到的电信号优化电子束镀膜设备的电子枪发出的电子束光斑在坩埚内的扫描轨迹；电子束镀膜设备控制电子束光斑在坩埚内以优化后的扫描轨迹扫描镀膜材料，以使镀膜材料蒸发或升华并沉积在待镀元件表面。本发明实施例有效地提高了镀膜材料蒸发速度的稳定性以及扫描完成后镀膜材料的表面平整度，相对于现有的经验式优化调整方法，可控性更好、效率更高。
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公开(公告)号：CN107806933B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN201711295075.7
申请日：2017-12-08
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01J11/00
Abstract: 本发明提供一种基于双束时间分辨泵浦探测技术的激光诱导光学材料体内冲击波波速的测量方法。光学材料激光诱导冲击波波速的测量方法，该方法包括以下步骤：1)双束探测成像系统获取泵浦激光脉冲激发待测样品内部冲击波某一时刻的相同位置、设定时间间隔的两幅图像；2)基于图像处理算法，比较两幅图像中冲击波波峰包络位置变化量，计算获取某一时刻的冲击波波速。本发明建立双束探测成像系统，一路泵浦激光脉冲作用于光学材料并激发诱导冲击波现象，双路探测激光脉冲以一定的时间间隔辐照至激发区域，携带冲击波位置信息的双路探测光分别由探测捕获，通过改变泵浦激光脉冲与探测激光脉冲之间的延时量，可精确测得任意时刻的激光诱导冲击波波速。
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公开(公告)号：CN106289727B
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201610599309.6
申请日：2016-07-27
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明提供一种元件激光损伤测量方法及装置。测量时，对每一个预设测试点采用基本相同的能量和能量密度的激光脉冲进行逐次多发次辐照，并实时监测测试点的光学图像以判断该测试点是否产生功能性损伤，同时在线获取每一次辐照时的激光能量密度值；然后根据测试点的功能性损伤判定结果及在线激光能量密度值计算生成元件的功能性损伤测量曲线。这种元件激光损伤测量方法的测量结果准确度高、收敛速度快，多次测量所得测量曲线之间的偏差较小，还能有效降低不同测量人员之间及测量次序等人为因素对最终测量结果的影响。
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公开(公告)号：CN106289727A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610599309.6
申请日：2016-07-27
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01M11/00
Abstract: 本发明提供一种元件激光损伤测量方法及装置。测量时，对每一个预设测试点采用基本相同的能量和能量密度的激光脉冲进行逐次多发次辐照，并实时监测测试点的光学图像以判断该测试点是否产生功能性损伤，同时在线获取每一次辐照时的激光能量密度值；然后根据测试点的功能性损伤判定结果及在线激光能量密度值计算生成元件的功能性损伤测量曲线。这种元件激光损伤测量方法的测量结果准确度高、收敛速度快，多次测量所得测量曲线之间的偏差较小，还能有效降低不同测量人员之间及测量次序等人为因素对最终测量结果的影响。
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公开(公告)号：CN207472432U
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201721705505.3
申请日：2017-12-08
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01J11/00
Abstract: 本实用新型提供一种基于双束时间分辨泵浦探测技术的激光诱导光学材料体内冲击波波速的测量装置。光学材料激光诱导冲击波波速的测量装置，包括：激光发生装置：发出双束激光脉冲并控制双束激光脉冲之间的延时量；光学延迟系统：控制两束探测子光束之间的延时量；信号采集分析系统：对冲击波瞬态阴影图像采集和分析。本实用新型建立双束探测成像系统，一路泵浦激光脉冲作用于光学材料并激发诱导冲击波现象，双路探测激光脉冲以一定的时间间隔辐照至激发区域，携带冲击波位置信息的双路探测光分别由探测捕获，通过图像处理算法获得时间间隔内冲击波的位移矢量，进而获得冲击波的瞬态波速。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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