一种用于等离子体检测的多模光纤焦平面调节装置

    公开(公告)号:CN106550528B

    公开(公告)日:2019-03-26

    申请号:CN201610973016.X

    申请日:2016-10-28

    Inventor: 杨义勇 韩传锟

    Abstract: 本发明提供了一种用于等离子体检测的多模光纤焦平面调节装置,其用于将多模光纤的入射平面与切尼‑特纳光路结构的出射焦平面调节至重合,其包括多模光纤调整座、以及并列设置的第一调整装置和第二调整装置,其中,所述切尼‑特纳光路结构安装在第一调整装置上,所述多模光纤调整座安装在第二调整装置上,所述第一调整装置和所述第二调整装置各自具有多个自由度,所述多模光纤容置在所述多模光纤调整座中,使得多模光纤的入射面朝向所述切尼‑特纳光路结构的出口。本发明的调节装置能够实现将多模光纤的入射平面与切尼‑特纳光路结构的出射焦平面调节至重合,而且可以实现快速柔性地调节,从而提高等离子体光谱信息采集的灵敏度和精确度。

    等离子体反应腔室电极间隙调整装置及等离子体反应腔室

    公开(公告)号:CN103972014B

    公开(公告)日:2016-05-18

    申请号:CN201410219012.3

    申请日:2014-05-22

    Abstract: 本发明涉及一种电极间隙调整装置,所述电极位于等离子体反应腔室内,所述电极包括上电极和下电极,其特征在于,包括上电极升降装置,所述上电极升降装置包括上固定板、升降板、下固定板、导向支撑杆、螺杆和滑动杆,所述上固定板和下固定板相对平行设置,所述升降板平行的设置在所述上固定板和下固定板之间;所述导向支撑杆和所述螺杆垂直安装在所述上固定板和下固定板之间,并均匀分布在以所述上固定板的中心为圆心、以一定距离为半径的圆上;所述滑动杆设置在所述升降板和上电极之间。本发明的等离子体反应腔室电极间隙调整装置及等离子体反应腔室能够根据刻蚀工艺需求,精确控制电极间距,达到最佳的放电位置,可以更好的实现工艺的精度。

    一种多功能等离子体腔室处理系统

    公开(公告)号:CN104538334A

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201410785587.1

    申请日:2014-12-17

    CPC classification number: H01L21/67161 H01J37/32

    Abstract: 本发明涉及一种多功能等离子体腔室处理系统,其特征在于,包括CCP设备、ICP设备和配气系统,所述配气系统与所述CCP设备和ICP设备连接,用于将所述CCP设备及ICP设备内抽成真空,同时还用于向所述CCP设备及ICP设备内通入混合气体,所述配气系统与所述CCP设备及ICP设备的连接处均设置有阀门。本发明提供的等离子处理系统,通过腔室结构变化可实现CCP和ICP两种放电模式,在一套设备中实现两种操作;通过改变CCP的上电极位置可以对等离子体的行程进行改变;通过更换ICP的线圈可实现对不同尺寸的晶片进行处理,且可以获得较均匀的等离子体分布;通过真空控制系统可实现对不同放电模式的操作。

    离子体反应腔室电极间隙调整装置及离子体反应腔室

    公开(公告)号:CN103972014A

    公开(公告)日:2014-08-06

    申请号:CN201410219012.3

    申请日:2014-05-22

    Abstract: 本发明涉及一种电极间隙调整装置,所述电极位于等离子体反应腔室内,所述电极包括上电极和下电极,其特征在于,包括上电极升降装置,所述上电极升降装置包括上固定板、升降板、下固定板、导向支撑杆、螺杆和滑动杆,所述上固定板和下固定板相对平行设置,所述升降板平行的设置在所述上固定板和下固定板之间;所述导向支撑杆和所述螺杆垂直安装在所述上固定板和下固定板之间,并均匀分布在以所述上固定板的中心为圆心、以一定距离为半径的圆上;所述滑动杆设置在所述升降板和上电极之间。本发明的等离子体反应腔室电极间隙调整装置及等离子体反应腔室能够根据刻蚀工艺需求,精确控制电极间距,达到最佳的放电位置,可以更好的实现工艺的精度。

    气浮旋分耦合工艺中的气泡发生器

    公开(公告)号:CN101549257A

    公开(公告)日:2009-10-07

    申请号:CN200910076584.X

    申请日:2009-01-09

    Abstract: 本发明公开了一种气浮旋分耦合分离工艺中的气泡发生器,它包括外管、微孔膜管,外管上设有充气接口,微孔膜管插入外管中并与外管密封连接,微孔膜管与外管之间构成一环形空腔结构,充气接口与环形空腔相通。这种结构简单,拆装方便,利用了由外向内充气,使气泡在管内产生并与液体混合,增加了气泡与颗粒的接触时间,气浮效果好,利用微孔膜管内的高速液流对微孔膜管壁进行反冲洗。

    液冷装置及液冷服系统
    17.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113907463B

    公开(公告)日:2022-09-06

    申请号:CN202110773545.6

    申请日:2021-07-08

    Inventor: 张应帅 杨义勇

    Abstract: 本发明提供了一种用于液冷服系统的液冷装置及液冷服系统,外箱体包括底部、侧部、连接于侧部外的卡扣孔和转动连接于卡扣孔的卡环,底部和侧部连接,形成具有顶部开口的容置腔;散热器安装于外箱体的顶部,其外侧设置有能够与所述卡环卡接配合的卡扣;风机组件安装于散热器的顶部,且与散热器之间留有间隙;回弹板、冷却容器导热垫以及半导体制冷器件依次设置于外箱体的底部与散热器之间,回弹板与外箱体的底部之间设置有弹性件,以使冷却容器、半导体制冷器件以及散热器依次贴合;隔热件位于散热器与外箱体的侧部之间。本发明能够提高冷却装置的冷却效率和穿戴者舒适性的持续时间。

    一种用于垂直井测井仪器下放与回收的传送装置中的推靠装置

    公开(公告)号:CN111396029B

    公开(公告)日:2021-06-25

    申请号:CN202010197982.3

    申请日:2020-03-19

    Abstract: 本发明提供一种用于垂直井测井仪器下放与回收的传送装置中的推靠装置,其包括驱动装置、传动机构和固定装置,该驱动装置上设有固定结构用于固定在一支撑装置上,该固定装置通过该传动机构与驱动装置连接,固定装置上设有箝位固定装置以固定仪器,该传动机构通过驱动装置,以使得固定在所述固定装置上的仪器被推向井壁和收回;测井仪器箝位和固定在推靠装置的固定装置上,以通过驱动装置被推到井壁上实施测量作业和退回到支撑管旁边。本发明提供的该推靠装置能够很好的实现测井仪器贴靠井壁。

    一种智能柔性调控光源方法及系统

    公开(公告)号:CN111898562A

    公开(公告)日:2020-11-06

    申请号:CN202010770469.9

    申请日:2020-08-04

    Abstract: 本发明具体涉及一种智能柔性调控光源方法及系统,属于灯光智能调节技术领域,包括大数据图像采集模块、智能学习与调控模块及高密度点阵光源及柔性基底方向驱动模块三大部分组成。大数据图像采集模块:视觉系统对图像进行高速的大数据量采集;智能学习与调控模块:对视觉系统的大数据图像进行自主学习与判断,将其数字化,并智能调控高密度点阵光源驱动模块;高密度点阵光源及柔性基底方向驱动模块:执行智能学习与调控模块的决策,高速智能的驱动区域光强与柔性基底的方向调控,实现被测物体表面亮度一致性需求。本发明解决了由光照环境、物体表面形状以及物体表面反光等因素所引起的光照不均的问题,进而为高质量的图像采集工作提供重要保障。

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