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公开(公告)号:CN106501279A
公开(公告)日:2017-03-15
申请号:CN201611097780.1
申请日:2016-12-02
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 本发明涉及一种硬脆光学材料的低亚表面损伤检测方法,该方法通过测试仪器准备、样品表面损伤的检测来获得待测样品的布儒斯特角,并进一步利用该布儒斯特角表征样品的表界面粗糙度。其中,测试仪器包括刻度盘、载物台、激光器、第一偏振片、光强度计及第二偏振片,结构简单、成本低,利用线偏振光准确地测出了入射到样品上的光线的布儒斯特角大小,并以此表征样品的表界面粗糙度,可将测量偏差保持在1/100以内,检测结果准确率高,且检测方法简单、快速,对待检测样品的表面无损伤;同时,本发明的方法还可以用于测量光学元件其他的微表面结构,并能达到纳米量级的表面微结构的检测,为制备出高质量的高损伤阈值薄膜提供了条件。
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公开(公告)号:CN105234772A
公开(公告)日:2016-01-13
申请号:CN201510661587.5
申请日:2015-10-14
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
IPC: B24B13/00 , B24B13/005 , B24B41/02
CPC classification number: B24B13/00 , B24B13/0031 , B24B13/0055 , B24B41/02
Abstract: 一种真空室光学元件升降定位装置,其特征在于包括架体、电机、托盘、丝杆及导向机构,架体包括至少两块立板及设于立板上的顶板;电机的动力输出端上连接有一蜗杆,托盘包括至少两个纵梁及设于纵梁之间的横梁,每个纵梁上均设于端面朝上的第一定位球,前述横梁上也设有端面朝上的第二定位球,并且,前述的两个第一定位球和第二定位球处于非直线上并能重复定位光学元件;丝杆竖直地设置于前述托盘的横梁上,上端具有转动配合的旋转螺母,该旋转螺母外壁具有与前述蜗杆转动配合的蜗齿。与现有技术相比,本发明的优点在于:整体结构简单、使用方便,控制精确并容易调整提升距离;具有精确的三点定位机构使得重复定位误差较小。
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公开(公告)号:CN104624854A
公开(公告)日:2015-05-20
申请号:CN201410835718.2
申请日:2014-12-29
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
CPC classification number: B21D53/84 , B21D43/003
Abstract: 一种用于高强韧钢连杆盖与连杆体脆化胀断夹紧装置,其特征在于包括底板、定位套、定位销、定胀套、定夹头、滑台、动胀套、胀杆、动夹头及复位机构,定位套纵向设置于前述的底板的上端面;定位销设于前述定位套上并具有供连杆的小头套设的外围面;滑台能水平移动地设于前述底板上;动胀套内侧具有第一楔面并设于前述的滑台上,该动胀套与前述的定胀套配合组成一胀套合件,该胀套合件纵向中空并具有供定位连杆的大头套设的外围面;胀杆纵向设于前述胀套合件内并具有与前述动胀套第一楔面配合的第二楔面。与现有技术相比,本发明的优点在于:同时整个夹紧装置结构简单,容易制造,成本较低。
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公开(公告)号:CN120080261A
公开(公告)日:2025-06-03
申请号:CN202510310429.9
申请日:2025-03-17
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 一种双面抛光机床上抛光盘装置,包括有:基座;抛光组件包括有旋转杆、抛光盘安装组件及抛光盘,纵向布置的旋转杆的下端连接有抛光盘;旋转驱动组件包括有抛光电机,驱动和连接旋转杆;升降组件包括溜板,溜板上设有安装座,可上下移动的固定在基座上;其特征在于安装座上设有压力调节装置,第一滑杆的一端固定在安装座上,另一端穿过移动座固定在压力缸安装座的底部,活塞杆下端连接可旋转连接结构,推动抛光盘升降并施加抛光压力;移动座设于安装座和压力缸安装座之间,移动座与第一滑杆滑动连接,压力传感器布置在可旋转连接结构的顶部;控制器根据测量值对抛光压力进行调节,从而实现对抛光盘抛光压力的精准测量和控制。
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公开(公告)号:CN117116735A
公开(公告)日:2023-11-24
申请号:CN202311149316.2
申请日:2023-09-07
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
IPC: H01J37/32
Abstract: 一种可实现间歇刻蚀的离子源装置,包括放电室、离子源光学系统、冷却装置,冷却装置中设有中和器、放电室的上部设有离子源光学系统,放电室的顶部固定有冷却装置,其特征在于所述冷却装置的一侧设有直流电机,冷却装置的中间设有离子源通孔,并且冷却装置的顶部与底部分别设有顶部隔离金属板与底部隔离金属板,对应的,顶部隔离金属板与底部隔离金属板也分别设有离子源出孔和进孔,顶部隔离金属板的上端设有阻挡机构,底部隔离金属板的底部与放电室相连接。它能对光学元件表面的精确修形,能够根据具体需要,通过驱动阻挡机构,限制离子束对光学零件的刻蚀,结构简单,成本低,冷却快速,减少温度对零件的影响。
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公开(公告)号:CN114851023A
公开(公告)日:2022-08-05
申请号:CN202210471182.5
申请日:2022-04-28
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 本发明涉及一种用于大尺寸非球面光学元件研抛机床的在位检测方法,包括:步骤1、获取待研抛元件的初始面形;步骤2、根据待研抛元件的初始面形生成加工代码;步骤3、对待研抛元件进行初定位:步骤4、使用第一传感器对初定位的待研抛元件进行基准在位检测,获得待研抛元件的实际位置;步骤5、对待研抛元件进行一次研抛;步骤6、对研抛后的元件进行面形在位检测,获得元件研抛后的面形数据;步骤7、判断步骤6中获取的元件研抛后的面形数据是否合格,如是,则进入终检,结束;如否,则转入到步骤5。本方法不仅操作方便,而且精度高、加工效率高,应用于大尺寸非球面光学元小磨头数控研抛机床的在位检测。
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公开(公告)号:CN114804011A
公开(公告)日:2022-07-29
申请号:CN202210476300.1
申请日:2022-04-29
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明涉及一种聚合物微结构的超精密制造方法,步骤S1、采用金刚石铣削接触式工艺对聚合物表面进行加工,以实现对微结构的毫微级控形;步骤S2、对步骤S1得到的聚合物微结构采用激光束非接触式工艺,实现微米级调形;步骤S3、在步骤S2得到的聚合物外设置导电层,导电层具有使聚合物的微结构外露的镂空部,然后采用非接触式离子束加工,离子束直接对聚合物微结构进行纳米级精调。最终产品可以达到需要的精度要求及表面质量要求,并且加工效率较高。
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公开(公告)号:CN114742767A
公开(公告)日:2022-07-12
申请号:CN202210267849.X
申请日:2022-03-17
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 本发明涉及一种光学元件表面缺陷识别方法,包括以下步骤:步骤1、图像采集;步骤2、对所有光学元件的子孔径缺陷图像进行拼接,得到光学元件完整的全口径缺陷图像;步骤3、采用全局阈值对光学元件完整的全口径缺陷图像进行预处理分割,使灰度图像背景与缺陷分割开;步骤4、对缺陷灰度图进行预处理,并对缺陷的特征和形态参数进行提取;步骤5、对根据缺陷的特征和形态参数进行分类,得到缺陷分类结果。本发明的优点在于:通过全局阈值对光学元件完整的全口径缺陷图像进行预处理分割,使灰度图像背景与缺陷分割开,因此该方法无需人为识别缺陷,通过灰度将背景和缺陷分割开来,提高了缺陷识别的准确率,且通过自动化操作,提高了缺陷识别速度。
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公开(公告)号:CN110216548B
公开(公告)日:2021-06-01
申请号:CN201910444411.2
申请日:2019-05-27
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
IPC: B24B13/00 , B24B13/005 , B24B1/00 , B24B41/00
Abstract: 一种用于离子束加工的多品种大口径光学元件复合装置,包括基体、用于输送光学元件的输送夹紧装置以及提升定位装置,其中提升定位装置可上下移动地设置在基体上,基体的底部左右两侧设有滑轨,输送夹紧装置可前后滑动地设置在滑轨上,滑轨上设有用于定位输送夹紧装置的定位块,基体上设有定位套,输送夹紧装置的上端设有对应的定位销,当输送夹紧装置沿滑轨移动到定位块时,输送夹紧装置正好位于提升定位装置的正下方,输送夹紧装置通过提升定位装置的提升向上移动与基体定位。本发明结构简单合理紧凑,不仅可实现多品种光学元件的装夹,且定位精确,同时方便与外部运输装置对接。
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公开(公告)号:CN108051184A
公开(公告)日:2018-05-18
申请号:CN201711242519.0
申请日:2017-11-30
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
IPC: G01M11/00
CPC classification number: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了一种扩束准直光检测方法,涉及图像处理技术领域。包括:通过剪切干涉方法获取干涉图像,对所述干涉条纹进行空间滤波得到滤波干涉条纹;将所述滤波干涉条纹通过傅里叶变化获取所述滤波干涉条纹的频谱图;通过设置的滤波窗口对所述频谱图进行频域滤波处理,得到滤波频谱图;对所述滤波频谱图进行反傅里叶变化,得到所述干涉图像的包裹相位,采用最小二乘法对所述包裹相位进行解包得到所述干涉图像的相位解包图;所述相位解包图通过整面消倾斜得到通过所述剪切干涉得到的所述干涉图像的真实相位;对所述真实相位采用Zernike波前重构处理,得到所述涉图像的波面信息。
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