公开(公告)号：CN110643956B

公开(公告)日：2022-01-07

申请号：CN201910547442.0

申请日：2019-06-24

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 武井纯一 ,  曾根浩 ,  铃木直行 ,  居本伸二

IPC: C23C14/34

Abstract: 本发明提供一种能够容易地改变开口部的形状的技术。本发明的一个方式的溅射装置包括：收纳基片的处理容器；和缝隙板，其将上述处理容器内划分为设置靶材的第一空间和设置上述基片的第二空间，上述缝隙板包括：内侧部件，其具有在板厚方向将该缝隙板贯通的开口部；和设置在上述内侧部件的周围的外侧部件，上述内侧部件相对于上述外侧部件是可拆装的。

公开(公告)号：CN111710623A

公开(公告)日：2020-09-25

申请号：CN202010165216.9

申请日：2020-03-11

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 中川西学 ,  铃木直行 ,  居本伸二 ,  横原宏行

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明提供一种能够以高精度稳定地测定旋转的载物台的温度的温度测定机构、温度测定方法以及载物台装置。一种温度测定机构，其用于测定载物台的温度，该载物台载置被处理基板，并设置成能够旋转，该温度测定机构具有：温度检测用接触部，其设置于载物台的不成为被处理基板的载置的障碍的位置；和温度检测部，其具有温度传感器，在温度测定时以外设置于与所述温度检测用接触部分离开的位置，在测定载物台的温度之际，在载物台未旋转的状态下，使温度检测用接触部与温度检测部接触。

公开(公告)号：CN106976051B

公开(公告)日：2020-03-06

申请号：CN201611095507.5

申请日：2016-12-02

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 海濑拓也 ,  曾根浩 ,  铃木直行

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种处理装置，抑制多个升降销相对于处理装置的载置台的相对移动所引起的颗粒的产生，且提高被加工物向载置台上的搬送精度。一实施方式的处理装置中，在处理容器内设置有载置台。在载置台形成有多个升降销用的多个贯通孔。多个升降销经由支承体被花键轴支承。花键轴由花键轴承可上下移动地支承。多个升降销被弹簧部件经由花键轴向上方施力。花键轴、花键轴承和弹簧部件设置在从处理容器内的可减压的空间分离了的处理容器的外部的空间。

公开(公告)号：CN110783242A

公开(公告)日：2020-02-11

申请号：CN201910675192.9

申请日：2019-07-25

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 元村祐己 ,  曾根浩 ,  加贺谷靖之 ,  铃木直行

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明提供载置台装置、处理装置和载置台装置的操作方法，相比于现有技术能够抑制由剩余电荷导致的基片的偏移和破损。上述载置台装置包括：静电吸盘，其正面形成有能够与基片的背面电接触的导电膜；迂回至上述静电吸盘的背面的导电部件，该导电部件与上述导电膜电连接；和移动部件，其经由连接部件与上述导电部件电连接，并能够在与接地电位连接的位置和不与接地电位连接的位置之间移动。