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公开(公告)号：CN102243441B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201010172670.3
申请日：2010-05-12
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明提出一种温度控制装置，用以控制一元件的温度。温度控制装置沿气体流向包括减压阀、涡流管、喷嘴。减压阀连接至气体输入接口，气体经过气体输入接口进入温度控制装置，减压阀调节气体气压并输出。涡流管包括入口、冷端和热端，入口连接至减压阀，涡流管处理气体后，分别从冷端和热端输出气体。喷嘴连接至冷端，输出气体对元件进行喷吹。控制器电性连接至减压阀，用以控制减压阀的输出的气体气压。一种具有温度控制装置的投影曝光装置及温度控制方法也一并提出。本发明提出的温度控制装置能够控制任何利用冷气流进行温度控制的元件，方法简洁，应用灵活。
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公开(公告)号：CN102954639A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201110247640.9
申请日：2011-08-25
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: F25B49/02
Abstract: 本发明提出一种温控装置和温控方法，用于控制流经外部装置的循环液的温度。温控装置包括制冷装置、循环液回路单元和控制器。制冷装置包括蒸发装置和冷凝装置。循环液回路单元包括电动三通阀和温度传感器。循环液通过电动三通阀进入蒸发装置和冷凝装置。当温度传感器感测到循环液的温度高于设定值，控制器控制电动三通阀增大循环液流经冷凝装置的比例，当循环液的温度低于设定值，减少循环液流经冷凝装置的比例。本发明提出的温控装置和温控方法，既避免了为防止压缩机排气温度过高而采取的两路旁通回路引起的控制复杂性，又因减少采用压缩机制冷系统而达到节能的目的。
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公开(公告)号：CN103091994B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201110341896.6
申请日：2011-11-02
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出一种气体温度控制装置，包括：气体侧管路，液体侧管路，以及控制器；所述液体侧管路由第一回路与第二回路组成，所述液体侧管路连接于所述热交换器；其中所述第二回路包括电动双通阀，手动调压阀，循环泵与温度传感器；所述第一回路则包括球阀，过滤器与温度传感器。本发明提出了气体温度控制装置，此装置采用两级液体循环控温系统，且对冷却或加热的循环液体无精度要求，通过控制进入回路内的液体流量，进行冷热补偿，可获得较高的气体温控精度，从而保证光刻机内温度的稳定性和均匀性指标。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102243441A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN201010172670.3
申请日：2010-05-12
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明提出一种温度控制装置，用以控制一元件的温度。温度控制装置沿气体流向包括减压阀、涡流管、喷嘴。减压阀连接至气体输入接口，气体经过气体输入接口进入温度控制装置，减压阀调节气体气压并输出。涡流管包括入口、冷端和热端，入口连接至减压阀，涡流管处理气体后，分别从冷端和热端输出气体。喷嘴连接至冷端，输出气体对元件进行喷吹。控制器电性连接至减压阀，用以控制减压阀的输出的气体气压。一种具有温度控制装置的投影曝光装置及温度控制方法也一并提出。本发明提出的温度控制装置能够控制任何利用冷气流进行温度控制的元件，方法简洁，应用灵活。
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公开(公告)号：CN201401997Y
公开(公告)日：2010-02-10
申请号：CN200920070378.3
申请日：2009-04-14
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本实用新型提供了可精确控制制冷量的制冷系统。本实用新型提供了一种可精确控制制冷量的制冷系统，通过把涡流管设置在压缩机和冷凝器之间，涡流管冷端把低温低压的制冷剂蒸气旁通到蒸发装置进口，从而实现了在不使用压缩机变频或数码及不使用其它旁通技术的条件下精确调节制冷系统的制冷量，提高了制冷系统的效率。
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公开(公告)号：CN201368617Y
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200920067420.6
申请日：2009-01-23
Applicant: 上海微电子装备有限公司 , 上海微高精密机械工程有限公司
IPC: F25B21/02
Abstract: 本实用新型公开了一种半导体制冷器的散热装置，包括一进液口和一出液口，还包括一散热体和一密封板，所述散热体和密封板构成可容纳液体冷却介质的内腔，散热体的顶部设有至少两个凸台，所述进液口和出液口设于散热体的一侧端面。本实用新型还公开了一种半导体制冷器，包括制冷腔体和所述的散热装置。本实用新型的散热装置结构简单、耐压密封性佳、易于装配，且生产效率高。
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公开(公告)号：CN201344672Y
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：CN200820158352.X
申请日：2008-12-30
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本实用新型提供了一种制冷系统，所述制冷系统包括：压缩机、冷凝器、蒸发装置、第一膨胀装置、第一气液分离装置、第二气液分离装置以及连接管，还包括：热气旁通回路以及喷射器，所述热气旁通回路包括：电磁阀以及第二膨胀装置，所述喷射器与所述第一气液分离装置、所述第二气液分离装置以及所述压缩机吸气口连接。本实用新型提供的制冷系统应用了喷射器，可回收高压制冷剂的膨胀能，提高压缩机的吸气压力和蒸发装置的换热效率，进而提高了制冷系统的效率，并采用了热气旁通技术，使整机结构更紧凑，成本更低。
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公开(公告)号：CN201344924Y
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：CN200820158341.1
申请日：2008-12-30
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G01N33/00
Abstract: 本实用新型提供了一种气体湿度测量装置，所述气体湿度测量装置包括过滤器和湿度传感器，所述湿度传感器嵌入在所述过滤器中，所述湿度传感器与所述过滤器通过连接件连接，所述湿度传感器与连接件以可拆卸方式连接或者一体成型，所述过滤器与连接件以可拆卸方式连接或者一体成型，所述过滤器与连接件通过螺纹连接，所述湿度传感器与所述过滤器以可拆卸方式连接。与现有气体湿度测量装置相比，本实用新型提供的气体湿度测量装置通过将待测气体引入至该气体湿度测量装置的过滤器中进行过滤再进行测量，气体的温度和压强变化幅度小，可以直接在第一时间进行测量，从而更能精确稳定测量出气体的湿度信息，而且结构简单，方便安装和拆卸。
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